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PMOS OTP的器件结构、工作原理以及实现方法
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作者 胡晓明 《集成电路应用》 2017年第5期58-63,共6页
OTP(one time programmable memory)是常见的一种NVM,在有限密度有限性能的嵌入式NVM方面有较多的应用,传统的EEPROM、S0NOS、E-Flash NVM成本昂贵。OTP与CMOS相容的嵌入式NVM技术是当前工业界的成功解决方案,并在诸如模拟技术微调应用... OTP(one time programmable memory)是常见的一种NVM,在有限密度有限性能的嵌入式NVM方面有较多的应用,传统的EEPROM、S0NOS、E-Flash NVM成本昂贵。OTP与CMOS相容的嵌入式NVM技术是当前工业界的成功解决方案,并在诸如模拟技术微调应用中的位元级一直到数据或代码储存的千位元等级取得越来越广泛的应用。其特点在于与CMOS工艺相容,工艺步骤简单、无须额外的光照,成本低廉,可以增强片上系统的功能和灵活性。作者介绍了工业界对于OTP开发的主流类型-利用PMOS来设计OTP的器件结构、基本工作原理。重点分析了在技术研发中遇到的独特的挑战及其解决方案。 展开更多
关键词 OTp 热载流子 p型mos—fet 浮栅 选择栅 SILICIDE Block
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