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Investigation on Breakdown Characteristics of Various Surface Terminal Structures for GaN-Based Vertical P-i-N Diodes
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作者 Song Shi Guanyu Wang +5 位作者 Yingcong Xiang Chuan Guo Xing Wang Yinlin Pu Huilan Li Zhixian Li 《Journal of Applied Mathematics and Physics》 2024年第2期554-568,共15页
GaN-based vertical P-i-N diode with mesa edge terminal structure due to electric field crowding effect, the breakdown voltage of the device is significantly reduced. This work investigates three terminal structures, i... GaN-based vertical P-i-N diode with mesa edge terminal structure due to electric field crowding effect, the breakdown voltage of the device is significantly reduced. This work investigates three terminal structures, including deeply etched, bevel, and stepped-mesas terminal structures, to suppress electric field crowding effects at the device and junction edges. Deeply-etched mesa terminal yields a breakdown voltage of 1205 V, i.e., 89% of the ideal voltage. The bevel-mesa terminal achieves about 89% of the ideal breakdown voltage, while the step-mesa terminal is less effective in mitigating electric field crowding, at about 32% of the ideal voltage. This work can provide an important reference for the design of high-power, high-voltage GaN-based P-i-N power devices, finding a terminal protection structure suitable for GaNPiN diodes to further enhance the breakdown performance of the device and to unleash the full potential of GaN semiconductor materials. 展开更多
关键词 GaN p-i-N Mesa Edge Terminal Electric Field Crowding
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P-I-R分型和Laennec分级与乙型肝炎肝硬化患者抗病毒治疗后组织学和预后的关系 被引量:1
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作者 吕采红 宋铮 +2 位作者 罗婧 常秀娟 杨永平 《临床肝胆病杂志》 CAS 北大核心 2023年第3期580-589,共10页
目的研究P-I-R分型和Laennec分级评价乙型肝炎肝硬化患者接受抗病毒治疗后的组织学改变,及两种评价系统与临床预后的关系。方法连续筛选2013年10月—2014年10月来自14个中心的218例患者,病理(Ishak评分≥5分)诊断肝硬化接受抗病毒治疗7... 目的研究P-I-R分型和Laennec分级评价乙型肝炎肝硬化患者接受抗病毒治疗后的组织学改变,及两种评价系统与临床预后的关系。方法连续筛选2013年10月—2014年10月来自14个中心的218例患者,病理(Ishak评分≥5分)诊断肝硬化接受抗病毒治疗72周完成2次肝组织活检,并符合P-I-R分型标准。218例患者分为无肝细胞癌(HCC)组(n=186)和HCC组(n=32)。计数资料组间比较采用χ^(2)检验和Fisher精确检验。比较抗病毒治疗后HCC发生情况时,连续变量采用非参数检验Mann-Whitney U检验;比较P-I-R分型与Laennec分级不同组间差异时,连续变量采用非参数检验Kruskal-Wallis H检验。采用单因素和多因素Cox比例风险回归分析并计算风险比(HR)和95%CI。采用Kaplan-Meier法计算HCC的累积发生率。结果抗病毒治疗72周后无HCC组和HCC组间P-I-R分型情况比较差异有统计学意义(P<0.001)。抗病毒治疗前后Laennec分级和P-I-R分型的分布均有统计学差异(P值均<0.001)。抗病毒治疗后,按照Laennec分级分为4A组(n=33)、4B组(n=71)、4C组(n=114),3组间PLT(H=36.429,P<0.001)、LSM(H=13.983,P=0.004)、Ishak评分(χ^(2)=23.060,P<0.001)、HAI评分(P<0.001)比较差异均有统计学意义。抗病毒治疗72周后,按照P-I-R分型分为R组(n=70)、I组(n=52)和P组(n=96),3组间PLT(H=7.193,P=0.028)、LSM(H=6.238,P=0.045)、Ishak评分(χ^(2)=7.986,P<0.001)、HAI评分(P=0.002)、HCC发生情况(P<0.001)比较,差异均有统计学意义。P-I-R分型P组和R组HCC发生率有显著差异(HR=24.21;95%CI:0.46~177.99,P=0.002)。经过调整其他混杂因素后,P-I-R分型是预测HCC发生的独立指标(HR=12.69;95%CI:4.63~34.80,P=0.002)。结论P-I-R分型和Laennec分级均能反应患者抗病毒治疗前后纤维化的特征及改变情况,其中P-I-R分型对抗病毒治疗后纤维化的改变更敏感。P-I-R分型(治疗后)可用于预测抗病毒治疗后患者HCC发生的风险。 展开更多
关键词 乙型肝炎 肝硬化 肝细胞 p-i-R分型 Laennec分级
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高压非穿通P-i-N二极管等离子体抽取渡越振荡集总电路模型及封装抑制方法研究
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作者 朱安康 包鑫康 +4 位作者 陈宇 周宇 罗皓泽 李武华 何湘宁 《中国电机工程学报》 EI CSCD 北大核心 2023年第1期263-273,共11页
高压非穿通P-i-N二极管反向恢复阶段产生等离子抽取渡越时间(plasma extraction transit time,PETT)振荡,对功率模块的驱动电路和设备EMC性能造成严重干扰。文中根据二极管PETT振荡阶段载流子运行特征将器件内部分为等离子区、漂移区和... 高压非穿通P-i-N二极管反向恢复阶段产生等离子抽取渡越时间(plasma extraction transit time,PETT)振荡,对功率模块的驱动电路和设备EMC性能造成严重干扰。文中根据二极管PETT振荡阶段载流子运行特征将器件内部分为等离子区、漂移区和无源区3个区域并将各区域等效成电阻、电感和电容等集总电路参数,利用二极管等效电路与外围电路参数构建了PETT振荡集总电路模型。该模型可计算得到振荡阶段回路各阻抗的动态变化,复现PETT振荡失稳–自稳振荡现象。该集总电路模型表明PETT振荡出现根本原因是回路出现负阻,而负阻出现的原因是空穴渡越角位于π~2π之间,基于该模型解析得到回路寄生电感的优化范围,通过优化封装布局的方式可将空穴渡越角移出负阻出现的区间。最后,在模块内部通过优化绑定线布局将回路寄生电感调整至优化范围内,从而避免回路负阻以抑制PETT振荡的出现,实验证明了该封装抑制方法的有效性。 展开更多
关键词 焊接式模块 非穿通p-i-N二极管 等离子抽取渡越时间振荡 集总电路模型 封装抑制方法
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Toll样受体4对人牙周膜成纤维细胞表达p-IRAK1和p-IкB-α的影响 被引量:2
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作者 孙颖 束蓉 +1 位作者 张明珠 李超伦 《上海口腔医学》 CAS CSCD 2007年第6期632-635,共4页
目的:观察Toll样受体4(toll-like receptors 4,TLR4)对人牙周膜成纤维细胞(human periodontal ligamentcells,HPDLCs)在内毒素脂多糖(lipopolysaccharides,LPS)刺激下表达磷酸化IRAK1(phospho-IRAK1,p-IRAK1)和磷酸化IкB-α(phospho-I... 目的:观察Toll样受体4(toll-like receptors 4,TLR4)对人牙周膜成纤维细胞(human periodontal ligamentcells,HPDLCs)在内毒素脂多糖(lipopolysaccharides,LPS)刺激下表达磷酸化IRAK1(phospho-IRAK1,p-IRAK1)和磷酸化IкB-α(phospho-IкB-α,p-IкB-α)的影响。方法:采用Western印迹和图像分析技术,检测HPDLCs受大肠杆菌LPS(1μg/ml)刺激2.5、5、10和15min后表达p-IRAK1和p-IkB-α的水平;同时检测1∶100滴度的抗TLR4单克隆抗体对HPDLCs在1μg/mlLPS刺激下表达p-IRAK1和p-IкB-α的影响。采用SPSS10.0软件包对结果进行单因素方差分析。结果:LPS刺激HPDLCs 5min后,HPDLCs表达p-IRAK1和p-IкB-α的水平最高,条带灰度与3-磷酸甘油醛脱氢酶(GAPDH)条带的比值分别由0.054、0.19增加到0.785、0.809(P<0.05)。抗TLR4单克隆抗体预处理的HPDLCs在LPS刺激下表达p-IRAK1和p-IкB-α的水平均降低,条带灰度与GAPDH条带的比值分别由0.82、0.874降低到0.099、0.201(P<0.05)。结论:TLR4参与了HPDLCs受LPS刺激后的信号传导过程,可能介导了牙周病的发生和发展。 展开更多
关键词 TOLL样受体4 牙周膜成纤维细胞 内毒素 p-iRAK1 p-iκB-α
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高性能背照式GaN/AlGaN p-i-n紫外探测器的制备与性能 被引量:7
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作者 陈亮 张燕 +3 位作者 陈俊 郭丽伟 李向阳 龚海梅 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2007年第6期928-931,共4页
研究了GaN/AlGaN异质结背照式p-i-n结构可见盲紫外探测器的制备与性能。GaN/AlGaN外延材料采用金属有机化学气相沉积(MOCVD)方法生长,衬底为双面抛光的蓝宝石,缓冲层为AlN,n型层采用厚度为0.8μm的Si掺杂Al0.3Ga0.7N形成窗口层,i型层为0... 研究了GaN/AlGaN异质结背照式p-i-n结构可见盲紫外探测器的制备与性能。GaN/AlGaN外延材料采用金属有机化学气相沉积(MOCVD)方法生长,衬底为双面抛光的蓝宝石,缓冲层为AlN,n型层采用厚度为0.8μm的Si掺杂Al0.3Ga0.7N形成窗口层,i型层为0.18μm的非故意掺杂的GaN,p型层为0.15μm的Mg掺杂GaN。采用Cl2、Ar和BCl3感应耦合等离子体刻蚀定义台面,光敏面面积为1.96×10-3 cm2。可见盲紫外探测器展示了窄的紫外响应波段,响应区域为310~365 nm,在360 nm处响应率最大,为0.21 A/W,在考虑表面反射时,内量子效率达到82%;优质因子R0A为2.00×108Ω.cm2,对应的探测率D=2.31×1013 cm.Hz1/2.W-1;且零偏压下的暗电流为5.20×10-13 A。 展开更多
关键词 GaN/AIGaN p-i-N 紫外探测器 响应光谱
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高量子效率前照式GaN基p-i-n结构紫外探测器 被引量:5
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作者 游达 汤英文 +3 位作者 赵德刚 许金通 徐运华 龚海梅 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第5期896-899,共4页
研究了Al0.1-Ga0.9N/GaN异质结p-i-n结构可见盲紫外探测器的制备与性能,P区采用Al组分含量为0.1的AlGaN外延材料形成窗口层,使340-365nm波段的紫外光可以直接透过P区到达i区并被吸收,有效提高了这个波段的响应率与量子效率,并且研... 研究了Al0.1-Ga0.9N/GaN异质结p-i-n结构可见盲紫外探测器的制备与性能,P区采用Al组分含量为0.1的AlGaN外延材料形成窗口层,使340-365nm波段的紫外光可以直接透过P区到达i区并被吸收,有效提高了这个波段的响应率与量子效率,并且研究了不同P区AlGaN外延层厚度对探测器性能的影响,制备了两种不同P区厚度(0.1μm和0.15μm)的器件,测试结果表明,P区的厚度对200-340nm波段光吸收的量子效率影响较大,而i区的晶体质量的提高可以有效提高340-365nm波段光吸收的量子效率,并且当P区AlGaN厚度为0.15μm时,器件的峰值响应率达到0.214A/W,在考虑表面反射时外量子效率高达85.6%,接近理论极限,并且在零偏压时暗电流密度为3.16nA/cm^2,表明器件具有非常高的信噪比。 展开更多
关键词 p-i-N AlGaN量子效率 响应光谱 紫外探测器
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基于宽带隙P-I-N结构的高效有机小分子太阳电池 被引量:3
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作者 郭文阁 郑建邦 +1 位作者 任驹 张延曹 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第6期530-534,共5页
研制了一种采用混合的P-I-N异质结结构、基于混合ZnPc和C60的有机小分子太阳电池。该有机太阳电池光电转换由ZnPc和C60异质结混合成膜完成,电子和空穴分别通过n掺杂和P掺杂的宽带有机层传输至阴极和阳极,不同掺杂的电子或空穴传输层... 研制了一种采用混合的P-I-N异质结结构、基于混合ZnPc和C60的有机小分子太阳电池。该有机太阳电池光电转换由ZnPc和C60异质结混合成膜完成,电子和空穴分别通过n掺杂和P掺杂的宽带有机层传输至阴极和阳极,不同掺杂的电子或空穴传输层由精确控制两种有机小分子的蒸镀速率来实现;其中空穴传输层采用N,N,N’,N’-Tetrakis(4-methoxyphenyl)-benzidine(MeO-TPD)为基底材料和Tetrafluoro-tetracyano-quinodimethane(F4-TCNQ)为掺杂材料,电子传输层采用C60为基底材料,而掺杂材料为Leuco Crystal violet(LCV)。实验发现:可以通过改变光电转换层和电子传输层的厚度,优化器件的结构;与未掺杂的有机薄膜相比,掺杂的宽带有机传输层导电率提高了3~4个数量级,并且它们几乎不吸收太阳光;电子传输层的厚度直接影响太阳电池的转换效率,这与薄膜光学的预期结果相符;当增大光电转换层的厚度,不仅增加了光吸收,同时电子空穴的复合率也随之增加,因此器件的填充因子降低。实验结果表明:该有机太阳电池的光电转换效率可达2.4%。 展开更多
关键词 有机太阳电池 有机小分子 p-i-N异质结 转换效率
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丹参注射液对骨性关节炎模型兔膝关节软骨细胞p-IκBα表达影响的实验研究 被引量:9
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作者 徐西林 张晓峰 +5 位作者 吕航 夏联恒 李小东 宿慧 刘沛然 王顺 《中国中医药科技》 CAS 2017年第4期438-440,共3页
目的:观察丹参注射液对体外培养骨性关节炎模型兔膝关节软骨细胞p-IκBα表达的影响。方法:取12只6月龄新西兰大白兔关节软骨作体外细胞培养,培养后软骨细胞随机分为正常组、模型组、玻璃酸钠组、丹参组4组。采用NO诱导凋亡,各组给予相... 目的:观察丹参注射液对体外培养骨性关节炎模型兔膝关节软骨细胞p-IκBα表达的影响。方法:取12只6月龄新西兰大白兔关节软骨作体外细胞培养,培养后软骨细胞随机分为正常组、模型组、玻璃酸钠组、丹参组4组。采用NO诱导凋亡,各组给予相应处理24 h,Western blot法检测各组软骨细胞p-IκBα的表达。结果:与正常组比较,模型组软骨细胞p-IκBα蛋白明显增强,差异有显著统计学意义(P<0.01);玻璃酸钠组、丹参组p-IκBα蛋白相对表达量明显低于模型组,差异有显著统计学意义(P<0.01);丹参组IκBα蛋白相对表达量明显低于玻璃酸钠组,差异有显著统计学意义(P<0.01)。结论:丹参注射液可以通过抑制IκBα磷酸化,从而抑制NF-κB信号通路的激活,保护软骨下骨及软骨细胞,有效防治OA。 展开更多
关键词 骨性关节炎 丹参注射液 软骨细胞 p-iκBα 体外研究
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单片集成硅光接收器中p-i-n硅光电探测器的进展 被引量:2
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作者 郭辉 郭维廉 +1 位作者 吴霞宛 陈迪平 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2001年第10期52-57,共6页
介绍了单片集成硅光接收器的研究背景、硅光电探测器工作机理以及它对实现高性能单片集成硅光接收器的影响,回顾总结了近年来的研究进展,并报道了我们的研究结果,展望了今后的发展。
关键词 单片集成电路 p-i-n硅光电探测器 SOI 单片集成硅光接收器
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背照射和正照射p-i-n结构GaN紫外探测器的i-GaN和p-GaN厚度设计 被引量:2
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作者 周梅 李春燕 赵德刚 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第9期1034-1040,共7页
研究了i-Ga N和p-Ga N厚度对背照射和正照射p-i-n结构Ga N紫外探测器响应光谱的影响。模拟计算发现:对于背照射结构,适当地减小i-Ga N厚度有利于提高探测器的响应,降低i-Ga N层的本底载流子浓度也有利于提高探测器的响应;p-Ga N的欧姆... 研究了i-Ga N和p-Ga N厚度对背照射和正照射p-i-n结构Ga N紫外探测器响应光谱的影响。模拟计算发现:对于背照射结构,适当地减小i-Ga N厚度有利于提高探测器的响应,降低i-Ga N层的本底载流子浓度也有利于提高探测器的响应;p-Ga N的欧姆接触特性好坏对探测器的响应影响不大,适当地增加p-Ga N厚度可以改善探测器性能。而正照射结构则不同,i-Ga N厚度对探测器的响应度影响不大,但欧姆接触特性差将严重降低探测器的响应,适当地减小p-Ga N厚度可以大幅度改善探测器的响应特性。能带结构和入射光吸收的差别导致了正照射和背照射探测器结构中i层和p层厚度的选择和设计不同。 展开更多
关键词 GAN p-i-n结构 紫外探测器 量子效率
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p-InGaN层厚度对p-i-n结构InGaN太阳电池性能的影响及机理 被引量:3
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作者 周梅 赵德刚 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第5期534-538,共5页
研究了p-In Ga N层厚度对p-i-n结构In Ga N太阳电池性能的影响。模拟计算发现,随着p-In Ga N层厚度的增加,In Ga N太阳电池效率降低。较差的p-In Ga N欧姆接触特性会破坏In Ga N太阳电池性能。计算结果还表明,无论欧姆接触特性好坏,随着... 研究了p-In Ga N层厚度对p-i-n结构In Ga N太阳电池性能的影响。模拟计算发现,随着p-In Ga N层厚度的增加,In Ga N太阳电池效率降低。较差的p-In Ga N欧姆接触特性会破坏In Ga N太阳电池性能。计算结果还表明,无论欧姆接触特性好坏,随着p-In Ga N层厚度的增加,短路电流下降是导致In Ga N电池效率降低的主要原因。选择较薄的p-In Ga N层有利于提高p-i-n结构In Ga N太阳电池的效率。 展开更多
关键词 INGAN 太阳电池 p-i-n结构
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腹腔注射脂多糖对幼鼠癫痫发作及海马TLR4/HMGB1/P-IκB-α表达的影响 被引量:6
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作者 禚志红 张静 +1 位作者 李国栋 王怀立 《中国实用神经疾病杂志》 2018年第2期117-123,共7页
目的探讨脂多糖(LPS)预处理对幼鼠癫痫发作及海马炎症介质Toll样受体4/高迁移率族蛋白1/磷酸化核因子抑制蛋白α(TLR4/HMGB1/P-IκB-α)表达的影响。方法出生21d的SD鼠随机分为生理盐水组(对照组),模型Ⅰ组和模型Ⅱ组,模型Ⅰ组采用海人... 目的探讨脂多糖(LPS)预处理对幼鼠癫痫发作及海马炎症介质Toll样受体4/高迁移率族蛋白1/磷酸化核因子抑制蛋白α(TLR4/HMGB1/P-IκB-α)表达的影响。方法出生21d的SD鼠随机分为生理盐水组(对照组),模型Ⅰ组和模型Ⅱ组,模型Ⅰ组采用海人酸(KA)诱导癫痫发作,模型Ⅱ组在应用KA前2h腹腔注射LPS,观察幼鼠癫痫发作的行为学表现,荧光定量PCR检测癫痫持续状态(SE)后3h和24h各组海马TLR4和HMGB1基因的表达,Westernblot法检测SE后3h、24h各组海马TLR4、HMGB1、P-IκB-α蛋白的表达。结果与对照组相比:模型Ⅰ组、模型Ⅱ组海马TLR4基因在SE后3h表达均显著增加(t=4.806,P<0.05;t=4.954,P<0.05),SE后24h也显著增加(t=3.924,P<0.05;t=3.792,P<0.05),模型Ⅰ组、模型Ⅱ组海马TLR4蛋白表达在SE后3h均显著增加(t=7.804,P<0.05;t=8.385,P<0.05),SE后24h也显著增加(t=4.256,P<0.05;t=4.262,P<0.05);模型Ⅰ组、模型Ⅱ组海马HMGB1基因在SE后3h表达均显著增加(t=3.626,P<0.05;t=5.255,P<0.05),SE后24h也显著增加(t=4.046,P<0.05;t=2.836,P<0.05),模型Ⅰ组、模型Ⅱ组海马HMGB1蛋白在SE后3h均无显著性增加(t=0.389,P>0.05;t=0.213,P>0.05),SE后24h也无显著性增加(t=0.106,P>0.05;t=0.279,P>0.05)。模型Ⅰ组、模型Ⅱ组海马P-IκB-α蛋白表达在SE后3h均显著增加(t=4.383,P<0.05;t=6.627,P<0.05),SE后24h也显著增加(t=14.521,P<0.05;t=19.458,P<0.05)。模型Ⅱ组与模型Ⅰ组相比,LPS预处理可显著增加海马TLR4基因在SE后3h的水平(t=2.362,P<0.05),及SE后3hTLR4蛋白表达(t=4.284,P<0.05);且显著增加SE后3h、24hPIκB-α蛋白表达(t=4.249,P<0.05;t=9.120,P<0.05);但对SE后3h、24hHMGB1基因水平无显著性影响(t=0.569,P>0.05;t=0.691,P>0.05),对SE后3h、24hHMGB1蛋白表达也无显著性影响(t=0.168,P>0.05;t=0.385,P>0.05)。结论LPS预处理加重幼鼠癫痫发作,使TLR4/P-IκB-α表达升高,对HMGB1表达无显著改变。 展开更多
关键词 脂多糖 海人酸 癫痫 高迁移率族蛋白1 Toll样受体4 p-iκB-α 大鼠
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基于LabVIEW的半导体光源P-I特性测试系统 被引量:2
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作者 李强 曾显光 张永林 《光学与光电技术》 2010年第2期39-41,共3页
采用PCI-6251数据采集卡和LabVIEW平台,设计了一套半导体光源的P-I特性测试系统。该系统通过软件驱动数据采集卡为发光器件提供合适的驱动电压,采集发光器件的光功率和驱动电流,实现了P-I特性曲线的测量、分析和存储等功能。测试结果表... 采用PCI-6251数据采集卡和LabVIEW平台,设计了一套半导体光源的P-I特性测试系统。该系统通过软件驱动数据采集卡为发光器件提供合适的驱动电压,采集发光器件的光功率和驱动电流,实现了P-I特性曲线的测量、分析和存储等功能。测试结果表明该系统设计成本低、测量效率高、人机界面友好、操作简单、扩展性强,适用于教学、实验及科研等领域。 展开更多
关键词 虚拟仪器 数据采集 半导体光源 p-i 特性
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变速箱中比例电磁阀P-I控制算法的研究 被引量:2
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作者 邓勇 沙庆康 +1 位作者 向玉德 田飞 《液压与气动》 北大核心 2018年第9期38-43,共6页
在分析比例电磁阀工作原理的基础上,建立比例电磁阀电流控制模型进行仿真。仿真表明,电磁阀控制频率过低会使比例阀占空比与输出电流间的比例性变差,产生控制误差,因此要选取合适的PWM频率减小控制误差;根据感性负载的电流响应特性,以... 在分析比例电磁阀工作原理的基础上,建立比例电磁阀电流控制模型进行仿真。仿真表明,电磁阀控制频率过低会使比例阀占空比与输出电流间的比例性变差,产生控制误差,因此要选取合适的PWM频率减小控制误差;根据感性负载的电流响应特性,以及混合动力汽车变速箱中比例电磁阀的工作频率要求,提出P-I控制算法并进行实验验证,试验结果表明该算法可以根据比例电磁阀电流动态响应要求计算出相应参数值,且满足控制需求。 展开更多
关键词 比例电磁阀 p-i控制算法 控制特性 动态响应
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a-SiC_x:Hp-i结的电致发光
15
作者 岳瑞峰 姚永昭 刘理天 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第4期259-262,共4页
在以ITO薄膜为正极的透明导电玻璃上,利用PECVD方法进行B掺杂制备出具有p-i结的a-SiCx:H薄膜,然后在其上溅Al作为负电极形成“三明治”器件结构,并对它的I-V特性和发光特性进行了研究。结果表明,器件具有整流效应,正反向电压分别为8 V和... 在以ITO薄膜为正极的透明导电玻璃上,利用PECVD方法进行B掺杂制备出具有p-i结的a-SiCx:H薄膜,然后在其上溅Al作为负电极形成“三明治”器件结构,并对它的I-V特性和发光特性进行了研究。结果表明,器件具有整流效应,正反向电压分别为8 V和12 V;在正向电压高于8 V时,观测到了电致发光。最后,根据我们提出的能带模型很好地解释了实验结果。 展开更多
关键词 a-SiCx:H薄膜 p-i PECVD 电致发光
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AlGaN/GaN P-I-N紫外探测器的电子辐照效应
16
作者 白云 邵秀梅 +2 位作者 张燕 李向阳 龚海梅 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2007年第9期867-869,873,共4页
制备了Al0.1Ga0.9N/GaN异质结P-I-N结构可见盲正照射紫外探测器。用能量为0.8MeV的电子对器件依次进行注量为5×1014,5×1015和5×1016n/cm2的辐照。通过测量辐照前后器件的I-V曲线和光谱响应曲线,讨论了不同注量的电子辐照... 制备了Al0.1Ga0.9N/GaN异质结P-I-N结构可见盲正照射紫外探测器。用能量为0.8MeV的电子对器件依次进行注量为5×1014,5×1015和5×1016n/cm2的辐照。通过测量辐照前后器件的I-V曲线和光谱响应曲线,讨论了不同注量的电子辐照对Al0.1Ga0.9N/GaN异质结P-I-N器件性能的影响。实验表明,小注量的电子辐照对器件的反向暗电流影响不大,当电子注量≥5×1016n/cm2时才使器件的暗电流增大一个数量级。为了分析器件的辐照失效机理,制备SiN/GaN的MIS结构,并对其进行电子辐照,发现SiN/GaN之间的界面态随着电子辐照注量的增加而增加。这表明,器件的暗电流的增大的原因之一为钝化层与GaN材料之间因为辐照诱生的界面态。辐照前后器件的光谱响应曲线表明,电子辐照对器件的响应率没有产生明显的影响。 展开更多
关键词 ALGAN p-i-N 电子辐照 MIS结构
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GaN基p-i-n结构紫外光探测器
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作者 谢雪松 吕长志 +2 位作者 张小玲 李志国 冯士维 《半导体光电》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第1期33-35,共3页
用反应分子束外延(RMBE)方法在蓝宝石衬底上制备了GaN p-i-n结构,应用常规的半导体工艺制成了紫外光探测器,测试结果显示其正向导通电压为4.6 V,反向击穿电压大于40V;室温下反偏3 V时的暗电流为6.68 pA,峰值响应度0.115 A/W出现在367 nm... 用反应分子束外延(RMBE)方法在蓝宝石衬底上制备了GaN p-i-n结构,应用常规的半导体工艺制成了紫外光探测器,测试结果显示其正向导通电压为4.6 V,反向击穿电压大于40V;室温下反偏3 V时的暗电流为6.68 pA,峰值响应度0.115 A/W出现在367 nm处;400 nm处的响应度为6.59×10-5A/W,比峰值响应度低四个量级。 展开更多
关键词 GAN p-i-n结构 紫外探测器
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4H-SiCp-i-n紫外光电探测器的电容-电压特性研究
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作者 蔡加法 陈厦平 +1 位作者 吴少雄 吴正云 《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心 2016年第6期770-774,共5页
分析并比较了4H-SiC p-i-n紫外光电探测器的电容-电压(C-V)特性随温度和偏置电压的变化情况,观测到4H-SiC p-i-n结构中的深能级缺陷。结果表明:由于近零偏压时探测器i型层已处于耗尽状态,其高频(1 MHz)C-V特性几乎不随反向偏压变化.随... 分析并比较了4H-SiC p-i-n紫外光电探测器的电容-电压(C-V)特性随温度和偏置电压的变化情况,观测到4H-SiC p-i-n结构中的深能级缺陷。结果表明:由于近零偏压时探测器i型层已处于耗尽状态,其高频(1 MHz)C-V特性几乎不随反向偏压变化.随着温度升高,被热离化的自由载流子数量增多导致高频结电容随之增大;探测器的低频(100 kHz)结电容比高频结电容具有更强的电压和温度依赖性,原因在于被深能级缺陷俘获的载流子随反向偏压增大或随温度升高而被离化,从而对结电容产生影响. 展开更多
关键词 光电子学 4H-SIC p-i-n紫外光电探测器 电容-电压 深能级缺陷
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ICP刻蚀在GaAs p-i-n工艺中的应用
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作者 张力江 幺锦强 +1 位作者 崔玉兴 付兴昌 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2010年第8期503-506,共4页
基于GaAs p-i-n器件的制造工艺,介绍了器件制造过程中关键工艺步骤p-i层的去除方法,并总结分析了在p-i层去除过程中不同的方法对工艺结果造成的影响。分别采用了湿法腐蚀和干法刻蚀的方法制作了器件,结果表明采用湿法腐蚀的方法去除p-i... 基于GaAs p-i-n器件的制造工艺,介绍了器件制造过程中关键工艺步骤p-i层的去除方法,并总结分析了在p-i层去除过程中不同的方法对工艺结果造成的影响。分别采用了湿法腐蚀和干法刻蚀的方法制作了器件,结果表明采用湿法腐蚀的方法去除p-i层时,由于腐蚀的各项异性造成的影响无法消除,会影响器件的性能。阐述了影响干法刻蚀的设备因素和工艺因素,讨论分析了不同的气体、腔体的真空度以及不同的功率对最终结果的影响。最终得到刻蚀均匀、稳定的干法刻蚀条件,将ICP干法刻蚀工艺引入GaAs p-i-n器件制造。 展开更多
关键词 GAAS 感应耦合等离子体 p-i-N二极管 湿法腐蚀 干法刻蚀
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A Solar-Blind AlGaN-Based p-i-n Back-Illuminated Photodetector with a High Temperature AlN Template Layer
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作者 邹泽亚 杨谟华 +4 位作者 刘挺 赵文伯 赵红 罗木昌 王振 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第1期20-23,共4页
The growth, fabrication, and characterization of a solar-blind A1GaN-based p-i-n back-illuminated photodetector with a high temperature A1N template are reported for the first time. The photodetector was fabricated fr... The growth, fabrication, and characterization of a solar-blind A1GaN-based p-i-n back-illuminated photodetector with a high temperature A1N template are reported for the first time. The photodetector was fabricated from multilayer AIx Gal-xN films grown by MOCVD on double-polished c-plane (0001) sapphire substrates. Crack free, high A1 content (0.7) A1GaN multilayer structure,designed for the solar-blind p-i-n back-illuminated photodetector,was grown on a high temperature A1N template without a nuclear layer. The high quality of the epitaxial layers is demonstrated by in-situ optical reflectance monitoring curve, triple-axis X-ray diffraction, and atomic-force microscope. At a 1.8V bias, the processed p-i-n photodetector exhibits a solar-blind photoresponse with a maximum responsivity of 0. 0864A/W at 270nm. The photodetector exhibits a forward turn-on voltage at around 3.5V and a reverse breakdown voltage above 20V, and the leakage current is below 20pA for 2V reverse bias. 展开更多
关键词 solar-blind high temperature A1N template back-illuminated photodetector p-ion
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