PCM在MEMS陀螺工艺中的应用

PCM作为工艺过程监控手段,是半导体制造过程中的一个重要的监测工具。它主要是加工过程中的电参数测量,反映出产品在制作过程中的异常和一致性。本论文针对MEMS陀螺的生产过程,设计符合前道工艺线的PCM结构,然后运用SPC统计控制技术对数据进行分析,可以有效提高工艺能力,反映出产品质量。