ITO成膜法与离子成膜装置

ITO(Indium Tin Oxide)膜，广泛地应用于个人电脑、手机、液晶电视机等平板显示器的液晶显示装置上，而且其需求量呈越发增加之趋势。特别在最近，作为应用在有机EL显示器上的透明电极膜，ITO膜更加受到观注。