PD-1静电探针等离子体诊断系统

本文简述了静电探针等离子诊断的基本原理，并且详细介绍了新型微机化的探针系 统。在该系统中，计算机代替人来完成探针特性的测试以及全部复杂运算，因而简化了 操作并大大加快了诊断速度。