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投影光刻机中PDP-11主控制计算机系统的替换
1
作者
曾美芹
《电子工业专用设备》
2011年第8期38-40,共3页
介绍了针对早期的投影光刻机存在PDP-11计算机速度慢,控制系统难操作的问题,利用普通PC机通过GPIB卡替换了PDP-11计算机,使用VB语言编写的程序替换了主控制系统程序。
关键词
pdp-11计算机
GPIB卡
投影光刻机
VB
下载PDF
职称材料
题名
投影光刻机中PDP-11主控制计算机系统的替换
1
作者
曾美芹
机构
上海微高精密机械工程有限公司
出处
《电子工业专用设备》
2011年第8期38-40,共3页
文摘
介绍了针对早期的投影光刻机存在PDP-11计算机速度慢,控制系统难操作的问题,利用普通PC机通过GPIB卡替换了PDP-11计算机,使用VB语言编写的程序替换了主控制系统程序。
关键词
pdp-11计算机
GPIB卡
投影光刻机
VB
Keywords
pdp-
11
computer
GPIB card
Step-and-Repeat lithography machine
VB
分类号
TP303 [自动化与计算机技术—计算机系统结构]
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作者
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1
投影光刻机中PDP-11主控制计算机系统的替换
曾美芹
《电子工业专用设备》
2011
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