基于虚拟仪器的真空计参数自动测试系统

针对真空计参数测试过程中数据采集实时性差、自动化程度不高、测试点真空度调节困难等问题,设计出一套真空计参数自动测试系统。以LabVIEW为软件开发平台,采用RS485通信方式实现对真空计、气体质量流量控制器数据的实时自动采集;采用自整定PID算法调节气体质量流量控制器的通气量,实现对测试点真空度的自动调节。测试结果表明:系统能够自动调节真空度并记录数据,实现了真空计参数测试的自动化。