PLZT（7/40/60）纳米多层膜介电特性研究

经溶胶-凝胶法制备出PLZT（7，40，60）纳米多层膜，对不同温度、不同层数，不同Zr/Ti比的PLZT薄膜的介电性能用精密阻抗分析仪进行介电特性分析。结果表明：煅烧温度的提高、薄膜层数的增加、锆含量的增加等均对PLZT薄膜的相对介电常数和介电损耗均有影响。频率为1kHz，750℃和锆含量为0．45时，薄膜的相对介电常数和介电损耗都最高。