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PLZT(7/40/60)纳米多层膜介电特性研究 被引量:1
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作者 余大书 焦永恒 宿杰 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第A02期658-661,共4页
经溶胶-凝胶法制备出PLZT(7,40,60)纳米多层膜,对不同温度、不同层数,不同Zr/Ti比的PLZT薄膜的介电性能用精密阻抗分析仪进行介电特性分析。结果表明:煅烧温度的提高、薄膜层数的增加、锆含量的增加等均对PLZT薄膜的相对介电常... 经溶胶-凝胶法制备出PLZT(7,40,60)纳米多层膜,对不同温度、不同层数,不同Zr/Ti比的PLZT薄膜的介电性能用精密阻抗分析仪进行介电特性分析。结果表明:煅烧温度的提高、薄膜层数的增加、锆含量的增加等均对PLZT薄膜的相对介电常数和介电损耗均有影响。频率为1kHz,750℃和锆含量为0.45时,薄膜的相对介电常数和介电损耗都最高。 展开更多
关键词 plzt 纳米薄膜 介电性能
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