基于三氯氧磷液态源扩散技术的太阳能电池转换效率研究

通过对太阳能电池片扩散工艺中扩散端POCl3流量的控制实验,研究了POCl3流量对所制太阳能电池的等效串联电阻RS、漏电阻RSH以及转换效率的影响。结果表明:RS和RSH都随POCl3流量减小而增大。当POCl3流量为950 mL/min时,所制太阳能电池转换效率达到最大值16.69%,比常规生产(POCl3流量为1 000 mL/min)的转换效率提高了0.35%。