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Application of 2-D Position Sensitive Detector in Spatial Straightness Measurement of Guide Rails 被引量:2
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作者 郭丽峰 张国雄 +1 位作者 龚强 郑奇 《Transactions of Tianjin University》 EI CAS 2005年第1期44-48,共5页
A laser collimating system based on 2-D position sensitive detector (PSD) is presented in this paper. The working principle of PSD is depicted in detail. A calibration device was developed to check the nonlinearity er... A laser collimating system based on 2-D position sensitive detector (PSD) is presented in this paper. The working principle of PSD is depicted in detail. A calibration device was developed to check the nonlinearity errors of PSD and a multilayer feedforward neural network based on error back-propagation algorithm was used to compensate errors. With the aid of computer-based data acquisition system, an automatic dynamic measuring process was realized. A series of experiments, including comparison tests with laser interferometer, were done to evaluate the performance of the measuring system. The experimental results show that the spatial straightness errors of guide rails can be measured with high accuracy. The maximum differences between the device and laser interferometer are 0.027 mm in Y direction, and 0.053 mm in X direction in the measuring distance of 6 m. 展开更多
关键词 position sensitive detector (psd) STRAIGHTNESS laser collimating measurement neural network CALIBRATION
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基于双PSD的三维测角传感器精度分析
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作者 赵文赫 白杨杨 +1 位作者 王劲凯 张立中 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2024年第2期98-108,共11页
在机载光电转台、多自由度摇摆台等系统中,对于一些运动体与基座间没有确定的回转轴的柔性支撑、并联支撑平台,需要考虑非接触三轴角度测量方法,目前大部分的光电非接触三轴角度测量方案系统复杂,占用空间大,无法适用于如机载、星载等... 在机载光电转台、多自由度摇摆台等系统中,对于一些运动体与基座间没有确定的回转轴的柔性支撑、并联支撑平台,需要考虑非接触三轴角度测量方法,目前大部分的光电非接触三轴角度测量方案系统复杂,占用空间大,无法适用于如机载、星载等载荷对体积、质量敏感的场景。为此,文中提出了基于双位置敏感探测器(PSD)的非接触三轴角度测量方案,使用准直镜头汇聚、双面反射光楔反射,将光源在两片PSD上汇聚成像,利用PSD上的光斑位置坐标反解出三轴角度。描述了其工作原理以及传感器构成,分析了因两片PSD的相对位置偏移产生的误差,提出了对应补偿方法以减少焊装产生的PSD位置偏移对测量精度的影响。主要对采集的PSD模拟信号值的抖动噪声进行FIR滤波处理,分析了滤波器的相频响应特性,并在MCU中测量相位滞后时间以及滤波器的响应带宽,验证了该数字滤波器在系统内拥有较好的实时传输特性。自准直测量单元总质量为230 g,尺寸为50 mm×50 mm×50 mm。实验结果表明,34阶FIR滤波器将角度测量的误差减小至60%,在±2°测量范围内单轴测量时,方位角、俯仰角、横滚角的误差均方根分别为0.003°、0.007°、0.017°,组合测量时分别为0.006°、0.009°、0.021°,文中所提出的三维测角传感器精度较高,满足机载等场景的使用要求。 展开更多
关键词 三轴姿态角度测量 非接触测量 位置敏感探测器 滤波带宽 响应频率
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Electrostatic-lenses position-sensitive TOF MCP detector for beam diagnostics and new scheme for mass measurements at HIAF 被引量:10
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作者 Jun-Hao Liu Zhuang Ge +7 位作者 Qian Wang Geng Wang Li-Na Sheng Wen-Wen Ge Xing Xu Peng Shuai Qi Zeng Bo Wu 《Nuclear Science and Techniques》 SCIE CAS CSCD 2019年第10期63-73,共11页
A foil–microchannel plate(MCP)detector,which uses electrostatic lenses and possesses both good position and timing resolutions,has been designed and simulated for beam diagnostics and mass measurements at the next-ge... A foil–microchannel plate(MCP)detector,which uses electrostatic lenses and possesses both good position and timing resolutions,has been designed and simulated for beam diagnostics and mass measurements at the next-generation heavy-ion-beam facility HIAF in China.Characterized by low energy loss and good performances of timing and position measurements,it would be located at focal planes in fragment separator HFRS for position monitoring,beam turning,Bq measurement,and trajectory reconstruction.Moreover,it will benefit the building-up of a magnetic-rigidity–energy-loss–time-offlight(BqDETOF)method at HFRS for high-precision in-flight particle identification of radioactive isotope beams on an event-by-event basis.Most importantly,the detector can be utilized for in-ring TOF and position measurements,beam-line TOF measurements at two achromatic foci,and position measurements at a dispersive focus of HFRS,thus making it possible to use two complementary mass measurement methods[isochronous mass spectrometry at the storage ring SRing and magnetic-rigidity–time-of-flight(BqTOF)at the beam-line HFRS]in one single experimental run. 展开更多
关键词 MICROCHANNEL plate ELECTROSTATIC lenses detector position-sensitive TIME-OF-FLIGHT Mass measurements HIAF
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Preliminary results of a Compton camera based on a single 3D position-sensitive CZT detector 被引量:4
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作者 Yi-Lin Liu Jian-Qiang Fu +3 位作者 Yu-Lan Li Yuan-Jing Li Xu-Ming Ma Lan Zhang 《Nuclear Science and Techniques》 SCIE CAS CSCD 2018年第10期210-220,共11页
A Compton camera prototype has been developed using a pixelated CZT detector with 4-by-4 pixels.Signals of the detector are read out by a VASTAT ASIC that is controlled by a self-developed DAQ board. The DAQ software ... A Compton camera prototype has been developed using a pixelated CZT detector with 4-by-4 pixels.Signals of the detector are read out by a VASTAT ASIC that is controlled by a self-developed DAQ board. The DAQ software is developed using LabVIEW, and the offline Compton imaging codes are written in C++. The prototype has been successfully calibrated, and its capabilities for source detection, spectroscopy, and Compton imaging have been demonstrated using a Cs-137 source.The angular resolution of the 662 keV line is 36° FWHM for the simple back-projection method and 9.6° FWHM for the MLEM reconstruction method. The system is ready to be extended to 11-by-11 pixels in the future, and a better imaging quality can be expected due to the better relative position resolution. 展开更多
关键词 COMPTON imaging 3D position-sensitive technique CZT detector
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PSD几何误差测量系统及不确定度分析
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作者 罗鹏煌 程银宝 +4 位作者 罗哉 沈斌 江文松 李亚茹 王瑛辉 《光学技术》 CAS CSCD 北大核心 2024年第5期634-640,共7页
针对形位误差高精度测量的要求,利用位置敏感探测器(PSD)具有高精度、高灵敏度、响应迅速、易于与其他系统集成等优点,搭建了以激光光束为基准线,二维位置敏感探测器为光电转化器件的形位误差测量系统,通过移动终端软件可实时显示采样... 针对形位误差高精度测量的要求,利用位置敏感探测器(PSD)具有高精度、高灵敏度、响应迅速、易于与其他系统集成等优点,搭建了以激光光束为基准线,二维位置敏感探测器为光电转化器件的形位误差测量系统,通过移动终端软件可实时显示采样点相对于基准线的位置变化并以最小二乘法快速输出形位误差评定结果,相较于传统测量方法更快速更稳定。系统对直线导轨的直线度进行测量并从单点测量和综合测量系统两个角度进行不确定度评定,实验表明:基于单点测量的标准不确定度为5.9μm,基于测量系统的标准不确定度为7.4μm,验证系统具有可靠的测量结果。 展开更多
关键词 位置敏感探测器 几何误差 不确定度 精度分析
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Response Characteristics of Position Sensitive Detector under Oblique Incidence Condition
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作者 PENG Yu-jia LI Lian-huang TANG Xiao-shan GAO Rui 《Semiconductor Photonics and Technology》 CAS 2009年第2期69-74,96,共7页
Based on Lucovsky equation,the response solution of 1-D position sensitive detector(PSD) is given under the condition of parallel light oblique incidence and Gaussian beam oblique incidence,and the response characteri... Based on Lucovsky equation,the response solution of 1-D position sensitive detector(PSD) is given under the condition of parallel light oblique incidence and Gaussian beam oblique incidence,and the response characteristics are analyzed by numerical calculation. The relation between oblique incident angle and output current is introduced and illustrated. 展开更多
关键词 position sensitive detectorpsd oblique incidence output current Lucovsky equation
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Technique of Position Sensitive Detector with Alternating Light Source
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作者 SU Meijun(Hefei University of Technology,Hefei 230009,CHN) 《Semiconductor Photonics and Technology》 CAS 1997年第3期228-231,共4页
The signal processing circuits of position sensitive detector(PSD) with alternating light source are presented.The measuring device of PSD with alternating light source can effectively eliminate the interference made ... The signal processing circuits of position sensitive detector(PSD) with alternating light source are presented.The measuring device of PSD with alternating light source can effectively eliminate the interference made by light noise signal. 展开更多
关键词 Light Noise Signal Light Sources position sensitive detectors
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基于PSD的六自由度位移测量解耦方法研究
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作者 付文江 卢增雄 +3 位作者 吴晓斌 黄宇峰 高斌 陈学同 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2024年第5期105-116,共12页
基于位置敏感探测器(Position Sensitive Detector,PSD)的六自由度(6 Degree of Freedom,6DOF)位移测量对紧凑空间内精密位移台初始位置和姿态的精密测量具有重要作用。精密位移台位移与PSD上光斑位移之间非线性关系的解耦是实现精密位... 基于位置敏感探测器(Position Sensitive Detector,PSD)的六自由度(6 Degree of Freedom,6DOF)位移测量对紧凑空间内精密位移台初始位置和姿态的精密测量具有重要作用。精密位移台位移与PSD上光斑位移之间非线性关系的解耦是实现精密位移台亚微米及微弧度位移测量精度的关键。根据PSD与6DOF精密位移台上角锥棱镜之间的位置关系,构建了6DOF位移测量方案,建立了6DOF位移台位移与PSD上光斑位移之间的精确对应关系模型,采用数值计算法对该模型进行解耦求解,并与小角度近似法进行了对比分析。结果表明,当6DOF位移台单自由度位移范围为±10 mm和±10 mrad时,数值计算法引入的解算误差最大值为10^(-17)mm和10^(-15)~10^(-16)mrad量级,而小角度近似法引入的解算误差最大值为5.39μm和35.5μrad;在此基础上,采用蒙特卡洛法以随机均匀分布方式产生10000组六自由度位移进行分析,表明数值计算法引入的解算误差平均值为10^(-17)mm和10^(-17)mrad量级,而小角度近似法引入的解算误差平均值为10^(-3)~10^(-6)mm和10^(-5)mrad量级,其中z方向解算误差达到4.4μm,R_(x)和R_(y)方向解算误差达到28μrad,故小角度近似法无法满足上述位移测量精度要求。所提出的基于数值计算法的解耦方法对实现6DOF位移台的高精度位移测量具有重要意义。 展开更多
关键词 六自由度位移测量 位置敏感探测器 理论建模 数值计算法 小角度近似法
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基于PSD的汽轮机转子轴振动传感器 被引量:1
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作者 赵继兴 李晨 +2 位作者 马少华 雷英俊 李瑞君 《合肥工业大学学报(自然科学版)》 CAS 北大核心 2023年第1期15-20,共6页
针对汽轮机转子轴振动的测量需求,文章研制一款基于位置敏感器件(position sensitive detector,PSD)的振动传感器。建立传感器的灵敏度模型,根据模型得出传感器的最优结构参数,并设计低噪声的信号处理电路;通过实验对该传感器进行标定... 针对汽轮机转子轴振动的测量需求,文章研制一款基于位置敏感器件(position sensitive detector,PSD)的振动传感器。建立传感器的灵敏度模型,根据模型得出传感器的最优结构参数,并设计低噪声的信号处理电路;通过实验对该传感器进行标定和测试,并与商用电涡流传感器进行对比测试。结果表明:振动传感器的灵敏度为0.33 V/mm,测量范围为2 mm,振幅分辨率为4μm,频率响应范围为10~325 Hz,重复实验标准差优于3μm;与商用电涡流传感器的测量结果具有良好一致性,可用于汽轮机转子轴振动的检测。 展开更多
关键词 振动测量 位置敏感器件(psd) 激光三角法 汽轮机转子轴振动
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基于PSD的风力发电机主轴监测系统研究 被引量:1
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作者 解朝阳 王凌云 +2 位作者 王春艳 郑茹 顾航硕 《长春理工大学学报(自然科学版)》 2023年第2期71-78,共8页
为实现风力发电机主轴轴向窜动的实时监测,基于位置敏感探测器(PSD)利用斜射式激光三角法搭建了非接触式光电主轴轴向位移测量系统。根据测量精度及使用环境要求,设计了STM32单片机与AD7606结合的数据采集模块,lwip协议栈与Usb-Host模... 为实现风力发电机主轴轴向窜动的实时监测,基于位置敏感探测器(PSD)利用斜射式激光三角法搭建了非接触式光电主轴轴向位移测量系统。根据测量精度及使用环境要求,设计了STM32单片机与AD7606结合的数据采集模块,lwip协议栈与Usb-Host模块结合的数据传输与存储模块,满足测量数据准确性及远距离实时传输的要求。结合设计结果,在实验室利用直线位移台及角位移台搭建模拟监测系统,进行位移曲线标定及稳定性测试,并利用BP神经网络算法对系统非线性误差进行校正。实验结果表明,静态位置误差小于0.03 mm,动态位置误差小于0.1 mm,最大位置误差小于1 mm,满足系统研制要求。 展开更多
关键词 位置敏感探测器 风力发电机主轴 激光三角法 单片机 BP神经网络
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基于激光PSD的空间载荷指向测量系统
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作者 方厚招 薛景赛 +3 位作者 孙延博 贾奥男 王润泽 王瑞 《航天器环境工程》 CSCD 北大核心 2023年第2期179-183,共5页
为满足卫星载荷指向高精度测量需求,设计基于激光位置敏感探测器(PSD)的空间载荷指向测量系统。主要原理是:将激光发射至反射器(安装于载荷)处,经反射器反射到PSD光敏面后,PSD感应激光形成光电流,再经过电流-电压变换处理后输出给高精... 为满足卫星载荷指向高精度测量需求,设计基于激光位置敏感探测器(PSD)的空间载荷指向测量系统。主要原理是:将激光发射至反射器(安装于载荷)处,经反射器反射到PSD光敏面后,PSD感应激光形成光电流,再经过电流-电压变换处理后输出给高精度采集控制器,最后通过高精度采集控制器中的算法进行数据处理得到载荷指向的小角度变化。试验证明,该系统测量角度范围±0.15°,俯仰角和倾斜角测量精度优于0.002°,角度稳定性优于0.0004°(3.5 h)。该系统不仅可满足在轨因热变形等因素产生的载荷指向小角度转动测量要求,同时可满足地面测试中的小角度高精度测量需求。 展开更多
关键词 载荷指向 位置敏感探测器 小角度测量 高精度 高稳定性
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Development of a PSD-based photon beam position measurement system
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作者 XIAO Yunyun SUN Baogen +6 位作者 GU Liming LU Ping WANG Jigang TANG Leilei YANG Yongliang ZHOU Zeran XU Hongliang 《Nuclear Science and Techniques》 SCIE CAS CSCD 2012年第2期70-74,共5页
As an important part of the beam diagnostic system, the synchrotron light beam position measurement has a very high value in the high quality and high stability light source applied research. A new photon beam positio... As an important part of the beam diagnostic system, the synchrotron light beam position measurement has a very high value in the high quality and high stability light source applied research. A new photon beam position monitor based on position-sensitive detector (PSD) has been developed to measure the photon beam position in vertical and horizontal directions at the same time at HLS (Hefei Light Source). The new PBPM based on the PSD has fast response speed, high sensitivity and wide dynamic range. This PBPM system also includes the C4674 signal processing circuit, NI USB-9215 data acquisition device and the LABVIEW data acquisition program. This PBPM system has been calibrated vertically and horizontally on-line, and then has been applied in the beam line B3EA of HLS to measure the position of the synchrotron light. As the results shown, the resolution of the system is better than 3 mm. 展开更多
关键词 位置测量系统 psd 位置敏感探测器 LabVIEW 合肥光源 信号处理电路 数据采集程序 数据采集设备
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基于透镜阵列多元聚焦的连续晶体三维位置灵敏探测器设计和仿真
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作者 李婷 庄凯 +7 位作者 李道武 梁秀佐 刘彦韬 张译文 孔令钦 章志明 帅磊 魏龙 《原子能科学技术》 EI CSCD 北大核心 2024年第1期239-247,共9页
连续晶体闪烁体探测器可以实现γ射线作用点的三维位置定位。本文提出一种新的探测器结构,引入透镜阵列实现作用点定位。探测器采集多元聚焦图像,从而改变对连续晶体闪烁光分布探测的需求。文中建立连续晶体、透镜阵列和光子计数器阵列... 连续晶体闪烁体探测器可以实现γ射线作用点的三维位置定位。本文提出一种新的探测器结构,引入透镜阵列实现作用点定位。探测器采集多元聚焦图像,从而改变对连续晶体闪烁光分布探测的需求。文中建立连续晶体、透镜阵列和光子计数器阵列的模型进行模拟研究,建立多元聚焦的光路反演重建算法定位γ射线作用点的三维位置。通过重建结果分析评估基于透镜阵列的连续晶体探测器性能,这种结构具有较好的定位能力和位置分辨。对于尺寸为48 mm×48 mm×45 mm的硅酸钇镥(LYSO)闪烁晶体,实现了xy平面位置分辨优于1.54 mm,z方向位置分辨优于3.13 mm。基于连续晶体和透镜阵列结构的探测器还可对多作用点的情形进行重建,分析三组选定位置的重建结果,该结构对双作用点定位具有可行性。 展开更多
关键词 连续晶体探测器 透镜阵列 作用点定位 位置灵敏探测器
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基于中子位置灵敏探测器对点源的三维定位方法研究
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作者 梁庆雷 李井怀 +3 位作者 刘国荣 王斌 周浩 田园 《核技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第3期77-83,共7页
使用中子法对密封容器内的放射源进行定位具有重要的现实意义。本研究使用4根矩形分布的中子位置灵敏探测器对探测空间内AmLi源进行定位,首先使用蒙特卡罗方法设计了探测器的慢化屏蔽体;然后设计了延迟电路加到探测器的一端,根据探测器... 使用中子法对密封容器内的放射源进行定位具有重要的现实意义。本研究使用4根矩形分布的中子位置灵敏探测器对探测空间内AmLi源进行定位,首先使用蒙特卡罗方法设计了探测器的慢化屏蔽体;然后设计了延迟电路加到探测器的一端,根据探测器两端探测到中子信号的时间差来确定源y轴(探测器轴向)的位置坐标,并对每个探测器的轴向位置函数进行了刻度;利用探测器围绕密封容器搭建测量空间,使用相邻探测器探测到中子计数率的比值来确定x轴和z轴(另两个方向)的位置坐标并进行了函数刻度。测量时,首先选择计数率最大的探测器来确定源的轴向坐标,再根据与此探测器相邻两根探测器计数率的比值来确定源的另两个方向的坐标,实现了对源的定位。使用该方法测量了点源在探测器空间内的5个不同位置,每个坐标轴上的定位偏差均在1.5 cm之内,并对造成偏差的原因进行了分析。该方法验证了使用中子位置灵敏探测器对放射源进行定位的可行性,并为进一步测量核设施工艺设备内核材料的位置打下了良好的基础。 展开更多
关键词 定位 位置灵敏 点源
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感应读出延时线阳极光子计数探测器研究
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作者 张蕊利 刘永安 +5 位作者 张亚龙 杨向辉 刘哲 苏桐 赵宝升 盛立志 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2024年第5期1291-1296,共6页
针对空间天文、生物荧光、光谱测量等领域对高灵敏、大面阵探测器的应用需求,研制出基于感应读出方式的延迟线阳极光子计数成像探测器。该探测器由微通道板、延时线阳极以及读出电路组成,其中延时线阳极的性能直接影响探测器的成像质量... 针对空间天文、生物荧光、光谱测量等领域对高灵敏、大面阵探测器的应用需求,研制出基于感应读出方式的延迟线阳极光子计数成像探测器。该探测器由微通道板、延时线阳极以及读出电路组成,其中延时线阳极的性能直接影响探测器的成像质量。作为一种电荷感应读出延时线阳极,该阳极利用信号到达的时间差解码入射光子的位置,可获得高的探测灵敏度和大的成像面积,同时简化了工艺难度并提升了可靠性。设计了感应读出延时线阳极,理论分析了探测器不同设计参数及材料对感应电荷量的影响,提出了解决异层电极间感应电荷量难以平衡的方法。据此研制出了收集面积为40 mm×40 mm的位敏阳极。测试结果表明该阳极信号传输衰减小于10%,极间串扰小于3%。利用该阳极进行了光子计数成像实验,获得了优于150μm的空间分辨率,为研制可应用于天文紫外光谱测量的大面阵、高灵敏探测器提供了理论依据及实验指导。 展开更多
关键词 探测器 光子计数成像 位敏阳极 空间分辨 光谱测量
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一维光学位置传感器融合的非接触多自由度位姿测量系统
16
作者 莫嘉嗣 陈健欢 +3 位作者 温远航 梁杰俊 陈秋烁 闫国琦 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第3期344-356,共13页
为实现机器人末端位姿多自由度实时测量反馈,融合一维光学位置传感器(Position Sensitive Detector,PSD)建立了平面3自由度非接触测量系统,对其测量原理,信号处理电路,环境光干扰去除和非线性标定算法等进行研究。根据PSD传感器测量特... 为实现机器人末端位姿多自由度实时测量反馈,融合一维光学位置传感器(Position Sensitive Detector,PSD)建立了平面3自由度非接触测量系统,对其测量原理,信号处理电路,环境光干扰去除和非线性标定算法等进行研究。根据PSD传感器测量特性和平面3自由度测量要求设计了4-PSD测量系统,并建立测量系统数学模型。研究了PSD传感器的信号处理电路,通过运放和除法器实现了单个PSD的信号处理,结合单片机与A/DC采样电路,实现了上位机的高频率信号采集。对4-PSD测量系统进行预实验,为消除环境光干扰,通过激光调制和数字滤波等方法进行验证。最后,通过激光位移传感器标定4-PSD测量系统,介绍了4-PSD的标定步骤(原点、转角、长度和二阶非线性标定),测定了系统标定后的误差分布。该测量系统具有较高的测量频率(50 Hz)。标定实验结果表明:标定后的4-PSD测量系统在70 mm×70 mm内,测量精度平均为0.49 mm,比标定前降低了90%的误差,能满足大部分高速、高精度机器人末端的非接触式实时测量反馈需求。 展开更多
关键词 光学位置传感器 位姿测量 实时反馈 测量标定
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PSD在激光位移检测系统中的应用研究 被引量:25
17
作者 段洁 孙向阳 +2 位作者 蔡敬海 周娜 肖作江 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2007年第z1期549-552,共4页
PSD(Position Sensitive Detector)是一种新型位置敏感探测器件,具有响应时间短、位置分辨率高、光谱响应范围大等优点。首先介绍了PSD器件的工作机理,阐述了基于光三角原理的激光位移检测系统的工作原理,给出PSD应用于激光位移检测系... PSD(Position Sensitive Detector)是一种新型位置敏感探测器件,具有响应时间短、位置分辨率高、光谱响应范围大等优点。首先介绍了PSD器件的工作机理,阐述了基于光三角原理的激光位移检测系统的工作原理,给出PSD应用于激光位移检测系统的总体结构框图,并且针对PSD的电流信号与被测位移量之间的非线性关系,提出了有效的非线性修正电路。最后通过对影响系统测量精度的因素进行详细分析,从中看出PSD可应用于高精度的激光位移检测系统中,并且具有高速度、高精度、非接触和在线检测等优点。 展开更多
关键词 光学三角原理 psd 非接触测量
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PSD光学敏感器系统测量目标位置和距离 被引量:8
18
作者 蔡喜平 赵远 +2 位作者 孙东松 乔立杰 戴永江 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1997年第3期211-214,共4页
在PSD光学敏感器系统用于空间飞行器交会对接中,进行了测量目标相对位置、距离和角度的理论与实验研究,测距精度为0.02m,方位角与俯仰角的测量精度分别为0.176°和0.
关键词 位置敏感探测器 光电测量 对接 空间飞行器
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基于PSD的微位移传感器 被引量:14
19
作者 梁凤超 续志军 +1 位作者 胡君 邹振书 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2007年第3期59-61,共3页
微弱电流的放大与处理是基于位置敏感探测器(PSD)的微位移传感器的关键技术。分析了电流—电压转换原理,指出转换误差主要来源于偏置电流及失调电压。应用屏蔽、Guard、避免自激等技术设计了前放电路,实现了微弱电流信号的提取。传感器... 微弱电流的放大与处理是基于位置敏感探测器(PSD)的微位移传感器的关键技术。分析了电流—电压转换原理,指出转换误差主要来源于偏置电流及失调电压。应用屏蔽、Guard、避免自激等技术设计了前放电路,实现了微弱电流信号的提取。传感器工作距离为10 mm,测量范围为±0.5 mm,采用精度为±0.5μm的装置驱动钢板进行微位移测量,实验数据表明:传感器分辨力为±0.5μm,检测精度为±2%。 展开更多
关键词 位置敏感探测器 激光三角法 运算放大器 微弱信号
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基于PSD的激光跟踪坐标测量系统 被引量:14
20
作者 张亚娟 裘祖荣 +1 位作者 李杏华 陈新华 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2011年第7期116-119,共4页
建立了基于位置敏感探测器(PSD)的激光跟踪坐标测量系统,分析了单路球坐标激光跟踪测量系统的结构与跟踪系统对PSD信号处理电路的要求,搭建了快速、准确的PSD信号处理电路;找出了PSD上的位置反馈信息与被跟踪目标位移的对应关系。针对... 建立了基于位置敏感探测器(PSD)的激光跟踪坐标测量系统,分析了单路球坐标激光跟踪测量系统的结构与跟踪系统对PSD信号处理电路的要求,搭建了快速、准确的PSD信号处理电路;找出了PSD上的位置反馈信息与被跟踪目标位移的对应关系。针对光路调节方法和光路误差对测量误差的影响,分析了光路对跟踪控制的影响。实验证明:所建立的跟踪控制系统可实现对目标的快速、准确跟踪。对建立单路激光跟踪坐标测量系统并实现快速跟踪功能具有很大的参考价值。 展开更多
关键词 激光跟踪 控制模型 位置敏感探测器 信号处理 光路调节
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