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Pt膜温度传感器批量测试、分选系统硬件设计
1
作者 张任 丁喜波 +1 位作者 唐才荣 江孝林 《佳木斯大学学报（自然科学版）》 CAS 2008年第1期4-6,共3页
介绍了一套以Pt膜温度传感器为研究对象,使用MSP430作为主控器件的温度传感器的测试、分选系统的硬件设计.该测试系统集温度传感器工作环境模拟、信号调理、数据采集和数据分析与管理于一体,具有多通道选择、定点测试和数据传输等功能.
关键词 pt膜温度传感器 MSP430单片机 测试系统
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超薄型Pt膜温度传感器的微加工技术研究
2
作者 冯侨华 施云波 《哈尔滨理工大学学报》 CAS 2007年第5期53-56,共4页
为了掌握采用激光微加工技术加工超薄型Pt膜温度传感器的最佳工艺参数,文中采用声光调Q原理的Nd-YAG激光划片机加工Al_2O_3陶瓷基体,研究激光工艺参数与传感器基体上刻槽深度与宽度的关系,以及采用调阻机加工Pt薄膜电阻,研究激光调阻工... 为了掌握采用激光微加工技术加工超薄型Pt膜温度传感器的最佳工艺参数,文中采用声光调Q原理的Nd-YAG激光划片机加工Al_2O_3陶瓷基体,研究激光工艺参数与传感器基体上刻槽深度与宽度的关系,以及采用调阻机加工Pt薄膜电阻,研究激光调阻工艺参数与调阻精确度的关系. 展开更多
关键词 激光精密加工 激光划片 激光调阻 超薄型pt膜温度传感器
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