PTC薄膜的射频溅射制备与性能

用射频溅射法制备出了PTC-BaTiO_3薄膜,基片为Al_2O_3和石英玻璃,基片温度为400～500℃,溅射气氛为纯氧气。试验结果表明不经后续热处理薄膜即具有PTC效应。测试了薄膜的阻温特性、化学组成、厚度及沉积方式。