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PTCDA/p-Si异质结势垒的形成及电流传输机理分析 被引量:10
1
作者 张福甲 王德明 《甘肃科学学报》 2000年第1期1-5,共5页
根据有机半导体材料 PTCDA与无机半导体 p型 Si能够形成同型异质结PTCDA/p- Si,分析讨论了它在正、反向偏压作用下的能带结构及其电流~电压特性。
关键词 ptcda 异质结 电流输运 能带结构 有机半导体
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Characteristics of surface and interface for ITO/PTCDA/p-Si thin film device
2
作者 ZHENG Dai-shun ZHANG Xu QIAN Ke-yuan 《Optoelectronics Letters》 EI 2006年第1期5-8,共4页
Interface characteristics possess very important influence on the performance of thin film devices. ITO/ PTCDA/p-Si thin film device was set up with vacuum evaporation and sputter deposition method. The surface and in... Interface characteristics possess very important influence on the performance of thin film devices. ITO/ PTCDA/p-Si thin film device was set up with vacuum evaporation and sputter deposition method. The surface and interface electron states of ITO/PTCDA/p-Si were investigated by X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) and argon ion beam etch techniques. Results indicate that at the interface of ITO/PTODA/p- Si,not only ITO/PTCDA-Si but also PDCDA-Si can produce diffusion. Moreover, the XPS spectra of each atom appear chemical shifts, and the chemical shifts of C1s and O1s are more remarkable. 展开更多
关键词 薄膜装置 表面性质 接口界面 ITO/ptcda/p-si 光电子
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PTCDA纯度对PTCDA/p-Si光电探测器性能的影响
3
作者 李霞 张盛东 +2 位作者 王静 张浩力 张福甲 《光电子》 2021年第4期205-213,共9页
本文研究不同纯度的PTCDA制备的PTCDA/p-Si光电探测器的制备和性能。研究结果表明:PTCDA纯度越高,制备的探测器暗电流越小,光电流越大。制备的探测器的正向电流–电压特性越好,呈二极管特性曲线。而且探测器的反向暗电流越小,其反向光... 本文研究不同纯度的PTCDA制备的PTCDA/p-Si光电探测器的制备和性能。研究结果表明:PTCDA纯度越高,制备的探测器暗电流越小,光电流越大。制备的探测器的正向电流–电压特性越好,呈二极管特性曲线。而且探测器的反向暗电流越小,其反向光电流也越小。 展开更多
关键词 ptcda 纯度 OIHJ 光电探测器 I-V特性
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ITO/PTCDA/p-Si薄膜器件的表面和界面特性研究 被引量:3
4
作者 郑代顺 张旭 钱可元 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第3期280-284,共5页
界面态对于薄膜器件的性能具有非常重要的影响。有米用真空蒸发和溅射沉积的方法制备了ITO/PTCDA/p-Si薄膜器件,并采用X射线光电子能谱(XPS)和Ar+溅射技术对其表面和界面电子态进行了研究。结果表明,在ITO/PTCDA/p-Si薄膜器件的界面,不... 界面态对于薄膜器件的性能具有非常重要的影响。有米用真空蒸发和溅射沉积的方法制备了ITO/PTCDA/p-Si薄膜器件,并采用X射线光电子能谱(XPS)和Ar+溅射技术对其表面和界面电子态进行了研究。结果表明,在ITO/PTCDA/p-Si薄膜器件的界面,不仅ITO与PTCDA薄膜之间存在扩散,PTCDA与Si衬底材料之间也存在扩散现象。此外,每种原子的XPS谱表现出一定的化学位移,并以C1s和O1s谱的化学位移最为显著。 展开更多
关键词 表面和界面特性 X射线光电于能谱(XPS) 化学位移 ITO/ptcda/p-si
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p-Si/n-Ga_(2)O_(3)异质结制备与特性研究
5
作者 陈沛然 焦腾 +6 位作者 陈威 党新明 刁肇悌 李政达 韩宇 于含 董鑫 《人工晶体学报》 北大核心 2024年第1期73-81,共9页
本实验采用金属有机化学气相沉积(MOCVD)工艺,在p(111)型Si衬底上制备了p-Si/n-Ga_(2)O_(3)结构的PN结。通过X射线衍射仪、原子力显微镜等对样品进行了晶体结构、表面形貌、表面粗糙度等的表征分析;通过磁控溅射与蒸镀方法在样品上生长T... 本实验采用金属有机化学气相沉积(MOCVD)工艺,在p(111)型Si衬底上制备了p-Si/n-Ga_(2)O_(3)结构的PN结。通过X射线衍射仪、原子力显微镜等对样品进行了晶体结构、表面形貌、表面粗糙度等的表征分析;通过磁控溅射与蒸镀方法在样品上生长Ti/Au电极并进行I-V特性曲线、开启电压、开关电流比、反向饱和电流、理想因子、零偏压下的势垒高度等结特性测试,研究了掺杂浓度与薄膜厚度对PN结特性的影响,并对其原因进行了分析;通过二步生长法和缓冲层温度优化实验,减少了Si衬底与β-Ga_(2)O_(3)之间的晶格失配与热失配带来的影响,对薄膜与器件特性进行了优化。最终获得了表面粗糙度最低可达到4.21 nm的高质量n型β-Ga_(2)O_(3)薄膜,以及具有较低理想因子(42.1)的PN结。 展开更多
关键词 β-Ga_(2)O_(3)薄膜 金属有机化学气相沉积 p-si/n-Ga_(2)O_(3) PN结 晶体质量 电学特性
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低填充P-Si基阻燃体系协效阻燃PA66的制备及性能
6
作者 魏然 赵明亮 《工程塑料应用》 CAS CSCD 北大核心 2024年第8期169-175,共7页
尼龙66(PA66)作为一种广泛使用的工程塑料,因其优异的力学性能和加工性能而备受青睐。然而,PA66的可燃性限制了其在某些安全要求较高的应用领域的发展。为了解决这一问题,可通过构建P-Si基协效阻燃体系,对PA66进行熔融共混改性,以期提... 尼龙66(PA66)作为一种广泛使用的工程塑料,因其优异的力学性能和加工性能而备受青睐。然而,PA66的可燃性限制了其在某些安全要求较高的应用领域的发展。为了解决这一问题,可通过构建P-Si基协效阻燃体系,对PA66进行熔融共混改性,以期提高其阻燃性能、力学性能及热稳定性。采用熔融共混法制备PA66复合材料,利用二乙基次磷酸铝(ADP)、次磷酸铝(AHP)及纳米二氧化硅(SiO2)构建多元协效阻燃体系,并系统研究了ADP/AHP/SiO2协效阻燃体系对PA66性能的影响,对PA66复合材料的阻燃性能、力学性能及热稳定性进行了综合评价。实验结果表明,ADP/AHP/SiO2协效阻燃体系显著提升了PA66的阻燃性能,当添加总量为9份时,PA66复合材料的阻燃等级达到V-0级别,极限氧指数高达34.3%。此外,PA66复合材料的拉伸性能也得到了显著提升,拉伸强度和拉伸弹性模量分别提高了27%和36%。热重测试显示,PA66复合材料的热稳定性也有明显改善。ADP/AHP/SiO2协效阻燃体系不仅显著提高了PA66的阻燃性能,还有效改善了其力学性能和热稳定性。该体系的引入为PA66的工程应用提供了有力支持,具有重要的实际应用价值和市场前景。 展开更多
关键词 尼龙66 阻燃性能 p-si阻燃体系 低填充 性能
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p-Si基PTCDA生长模式的AFM和XPS研究 被引量:3
7
作者 宋珍 刘凤敏 +2 位作者 欧谷平 甘润今 张福甲 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第7期1041-1044,共4页
对有机/无机光电探测器PTCDA/p-Si样品的表面进行得AFM扫描看出,PTCDA呈岛状生长,各岛成圆丘状,岛的分布不均匀,PTCDA层中存在大量缺陷。原因是p-Si(100)衬底的表面原子悬挂键的作用,使硅原子横向移动满足键合需要形成台阶和其它缺陷引... 对有机/无机光电探测器PTCDA/p-Si样品的表面进行得AFM扫描看出,PTCDA呈岛状生长,各岛成圆丘状,岛的分布不均匀,PTCDA层中存在大量缺陷。原因是p-Si(100)衬底的表面原子悬挂键的作用,使硅原子横向移动满足键合需要形成台阶和其它缺陷引起的。将样品表面的XPS全谱及精细谱与表面的AFM扫描图进行对比分析,得出PTCDA在p-Si基底上的生长模式,即:PTCDA首先在缺陷处聚集,形成许多三维岛状的PTCDA晶核,然后在PTC-DA离域大π键的作用下,相邻的两层PTCDA分子存在一定程度的交叠,最终形成岛状结构。与硅衬底原子结合的过程为:苝环与缺陷处的Si原子结合,而酸酐基团与表面完整处的Si结合。结合时,苝环结构保持不变,而酸酐基团与Si发生化学反应,使酸酐中的C O键断开,形成O Si C和硅氧化物。对PTCDA/p-Si样品的界面的XPS全扫描谱和精细图谱进行分析后,进一步验证了PTCDA在p-Si基底上的生长模式。 展开更多
关键词 ptcda 生长模式 AFM XPS
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PTCDA/P-Si表面随温度变化的AFM研究
8
作者 张福甲 冯煜东 +1 位作者 李东仓 胥超 《功能材料与器件学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第3期225-228,共4页
利用AFM研究了在不同衬底温度及蒸发条件下制备的有机半导体材料PTCDA在P-Si(100)形成的薄膜讨论了其表面形貌及岛状晶核分布与生长温度之间的机理。
关键词 ptcda/P—Si AFM 表面形貌 岛密度 衬底温度
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Growth Mode of PTCDA on p-Si Substrates
9
作者 宋珍 欧谷平 刘凤敏 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第7期1009-1011,共3页
AFM scanning images of the surface of a PTCDA/p-Si specimen used in an organic/inorganic photodetector show that PTCDA grows in island shapes that are poorly distributed, with each island shaped like a round hillock. ... AFM scanning images of the surface of a PTCDA/p-Si specimen used in an organic/inorganic photodetector show that PTCDA grows in island shapes that are poorly distributed, with each island shaped like a round hillock. The images also show that there exist enormous defects in the PTCDA layer due to pedestal sites and other defects that appear when Si atoms shift transversely, and that the bonding condition is satisfied by the action of atom suspension bonding at the surface of the Si substrate. We infer the growth mode of PTCDA deposited onto p-Si substrates as follows. First,PTCDA molecules assemble at the defects to form three-dimensional island-like PTCDA crystal nuclei, and then by the action of delocalized big π bonding, two adjacent layers of PTCDA molecules overlap to some extent and finally island-like structures form. The PTCDA molecules and Si substrate combine by a process of the combination of benzene rings with Si atoms at the defects and of acid anhydride radicals with Si atoms at the perfect fraction of the surface. In the course of combination, although the structure of the benzene rings does not change, the chemical reaction of acid anhydt'ide radicals and Si occurs to break off the C=O bond in the acid anhydride, and then C-Si-O and silicon oxide might be produced. 展开更多
关键词 ptcda growth mode AFM
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p-Si(110)衬底上蒸发生长PTCDA薄膜的生长方式的XRD表征
10
作者 李霞 孙硕 张福甲 《光电子》 2021年第4期190-196,共7页
我们用XRD对p-Si(110)衬底上蒸发沉积的不同厚度的PTCDA薄膜进行了性能表征。XRD测试结果表明PTCDA在p-Si(110)面上均以晶体方式生长。随蒸发时间变化,即随着PTCDA薄膜的厚度增加,在生长的薄膜中出现了α型和β型两种并存的PTCDA。不同... 我们用XRD对p-Si(110)衬底上蒸发沉积的不同厚度的PTCDA薄膜进行了性能表征。XRD测试结果表明PTCDA在p-Si(110)面上均以晶体方式生长。随蒸发时间变化,即随着PTCDA薄膜的厚度增加,在生长的薄膜中出现了α型和β型两种并存的PTCDA。不同衬底温度下生长的PTCDA薄膜的生长方式为α、β型的共存的PTCDA。生长的PTCDA薄膜都是以晶体形式存在。衬底生长温度为50℃的样片衍射峰大约在2θ ≈ 27.5。衍射峰的位置对应于单斜晶系的(102)晶格平面,此时PTCDA分子平面几乎平行于衬底。生长温度为100℃的样片,PTCDA分子几乎垂直于表面生长。生长温度为150℃的样片与生长温度为100℃的样片其生长方式几乎完全相同。温度为150℃的样片衍射峰强度减小可能归因于在某些区域分子平面相对于衬底平面发生改变。随着温度的升高峰的位置有0.1增加,这归因于β型PTCDA比例的增加。 展开更多
关键词 真空蒸发 ptcda 薄膜 XRD 生长方式
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ZIF-NC/PTCDA复合物可见光光催化活化过二硫酸盐降解水中的诺氟沙星
11
作者 唐翅珧 韦娴 王崇臣 《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第4期48-56,共9页
选用2-甲基咪唑锌(ZIF-8)作为前驱物,经高温煅烧形成多孔网状衍生物氮掺杂碳(ZIF-NC)。通过机械球磨法将ZIF-NC和有机半导体3,4,9,10-苝四甲酸二酐(PTCDA)复合制备ZIF-NC/PTCDA(P_(x)Z_(y))。采用粉末X射线衍射(PXRD),傅里叶红外变换光... 选用2-甲基咪唑锌(ZIF-8)作为前驱物,经高温煅烧形成多孔网状衍生物氮掺杂碳(ZIF-NC)。通过机械球磨法将ZIF-NC和有机半导体3,4,9,10-苝四甲酸二酐(PTCDA)复合制备ZIF-NC/PTCDA(P_(x)Z_(y))。采用粉末X射线衍射(PXRD),傅里叶红外变换光谱(FTIR),扫描电镜(SEM),紫外-可见漫反射(UV-Vis DRS),X射线光电子能谱(XPS)等对材料的形貌和结构进行表征。研究不同比例ZIF-NC/PTCDA光催化活化过二硫酸盐降解诺氟沙星的效果。探究不同pH值、不同过二硫酸盐(PDS)投加量和共存离子对最佳比例P120Z80降解诺氟沙星性能的影响。经过3次循环后,P120Z80仍对诺氟沙星有较好的降解效果。通过循环前后PXRD,FTIR和SEM等表征进一步证明其具有良好的循环稳定性能。最后,通过电化学测试和活性物质捕捉实验,提出并证实了P120Z80光催化活化过二硫酸盐降解诺氟沙星的机理。 展开更多
关键词 ZIF-8 衍生碳材料 ptcda 硫酸根自由基 诺氟沙星
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有机半导体PTCDA的制备及其结构表征和光吸收特性研究 被引量:12
12
作者 张福甲 邵佳锋 +2 位作者 张德江 奇莉 甘润今 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第4期351-357,共7页
详细叙述了利用1.8-萘二甲酸酐作为原料制备有机半导体材料PTCDA的方法;并通过质谱、红外光谱、核磁共振谱、X射线衍射谱及可见光吸收谱的测试分析,对它的结构和光吸收特性进行了进一步深入研究.
关键词 ptcda 结构表征 光吸收特性 有机半导体
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PTCDA/ITO表面和界面的X射线光电子能谱分析 被引量:5
13
作者 欧谷平 宋珍 +1 位作者 桂文明 张福甲 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2006年第4期753-756,共4页
利用X射线光电子能谱对PTCDA/p-Si有机/无机光电探测器中PTCDA/ITO表面和界面进行了测试分析。结果表明,环上的C原子的结合能为284.6 eV,酸酐中的C原子的结合能为288.7 eV,并存在来源于ITO膜中的氧对C原子的氧化现象,界面处C(1s)谱中较... 利用X射线光电子能谱对PTCDA/p-Si有机/无机光电探测器中PTCDA/ITO表面和界面进行了测试分析。结果表明,环上的C原子的结合能为284.6 eV,酸酐中的C原子的结合能为288.7 eV,并存在来源于ITO膜中的氧对C原子的氧化现象,界面处C(1s)谱中较高结合能峰消失,且峰值向低结合能发生化学位移;C O键中O原子的结合能为531.5 eV,C—O—C键中的O原子的结合能为533.4 eV。 展开更多
关键词 表面及界面 X光电子能谱(XPS) ptcda/ITO
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高纯度3,4,9,10 Perylenetetracarboxylic Dianhydride-PTCDA的元素分析及核磁共振谱和X射线衍射谱的测试与分析 被引量:1
14
作者 张旭 张杰 +2 位作者 闫兆文 邵宇波 张福甲 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2016年第11期3714-3719,共6页
采用真空升华的方法,对国产纯度为98%的苝四甲酸二酐(简称PTCDA)粉末,在其升华点450℃进行了提纯。应用朗伯比尔定律及紫外-可见光分光光度计测试分析,其纯度可达99.8%;利用元素分析仪,对提纯前、后分子中的C元素和H元素含量进行了对比... 采用真空升华的方法,对国产纯度为98%的苝四甲酸二酐(简称PTCDA)粉末,在其升华点450℃进行了提纯。应用朗伯比尔定律及紫外-可见光分光光度计测试分析,其纯度可达99.8%;利用元素分析仪,对提纯前、后分子中的C元素和H元素含量进行了对比测定,结果表明提纯后的PTCDA分子中C和H含量十分接近理论值;采用核磁共振(NMR)谱,研究了分子中H元素的归属得出,处于两种不同化学环境中的H原子数目相等并且它位于芳环上,其分子中存在酸酐;对PTCDA分子的化学键的形成讨论后得出,高纯度PTCDA分子中的C,H,O原子主要以共价键结合;使用X射线衍射(XRD)仪,测试分析了这种有机材料的结晶状态及其晶体结构指出,提纯后的PTCDA多晶粉末存在α-PTCDA及β-PTCDA两种物相,主要成份为α-PTCDA,而β-PTCDA约占总成份的五分之一。其晶胞属于平面单斜晶系底心点阵结构。同时详细研究了在其升华点沉积在P型单晶Si(100)表面,由此形成薄膜的晶体状态及其晶粒度的尺寸和能带结构。高纯度α-PTCDA分子在P—Si单晶表面形成有机层单晶薄膜时,在其薄膜的分子层平面的上、下及其两侧,将由π电子云所覆盖。由于C,H和O原子最外层价电子轨道的交叠形成离域大π键,从而产生价电子的共有化运动,使其能级分裂为能带。它的价带与第一紧束缚带的能量差为2.2eV,使这种有机材料具有半导体导电的性质,本征载流子浓度为1014 cm-3,属于弱p型有机半导体材料;它与P—Si的交界面可形成同型异质结,对可见光至近红外波段的光有很好地响应。 展开更多
关键词 高纯度ptcda 元素分析 核磁共振谱 X射线衍射谱 分子结构
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纳米晶Pd修饰p-Si电极的制备及其光电析氢性能 被引量:2
15
作者 李贺 姚素薇 +2 位作者 张卫国 王宏智 贲宇恒 《化工学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第4期932-936,共5页
在半导体p型Si上化学沉积金属Pd,制备了纳米晶Pd修饰pSi电极.控制化学沉积的时间,可得到不同沉积量和不同尺度的Pd颗粒,沉积时间为20min时,Pd颗粒的直径约为80nm.XRD测试结果表明,Pd颗粒的平均晶粒尺寸为7.37nm.重点研究了Pd/pSi电极在... 在半导体p型Si上化学沉积金属Pd,制备了纳米晶Pd修饰pSi电极.控制化学沉积的时间,可得到不同沉积量和不同尺度的Pd颗粒,沉积时间为20min时,Pd颗粒的直径约为80nm.XRD测试结果表明,Pd颗粒的平均晶粒尺寸为7.37nm.重点研究了Pd/pSi电极在光照前后的催化析氢性能.光照下Pd/pSi电极的析氢过电位较无光照减小约250mV,比半导体Si减小约450mV(电流密度为2.5mA·cm-2时).电化学交流阻抗谱(EIS)表明,光照下Pd/pSi电极的电化学析氢反应电阻由未光照的593.12Ω·cm2降低至442.20Ω·cm2,光照下的析氢反应速率明显增加. 展开更多
关键词 纳米晶 Pd/p-si电极 化学沉积 析氢
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Heteroepitaxial Growth and Heterojunction Characteristics of Voids-Free n-3C-SiC on p-Si(100) 被引量:2
16
作者 孙国胜 孙艳玲 +6 位作者 王雷 赵万顺 罗木昌 张永兴 曾一平 李晋闽 林兰英 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第6期567-573,共7页
Highly oriented voids-free 3C-SiC heteroepitaxial layers are grown onφ50mm Si (100) substrates by low pressure chemical vapor deposition (LPCVD).The initial stage of carbonization and the surface morphology of carbon... Highly oriented voids-free 3C-SiC heteroepitaxial layers are grown onφ50mm Si (100) substrates by low pressure chemical vapor deposition (LPCVD).The initial stage of carbonization and the surface morphology of carbonization layers of Si (100) are studied using reflection high energy electron diffraction (RHEED) and scanning electron microscopy (SEM).It is shown that the optimized carbonization temperature for the growth of voids-free 3C-SiC on Si (100) substrates is 1100℃.The electrical properties of SiC layers are characterized using Van der Pauw method.The I-V,C-V,and the temperature dependence of I-V characteristics in n-3C-SiC/p-Si heterojunctions with AuGeNi and Al electrical pads are investigated.It is shown that the maximum reverse breakdown voltage of the n-3C-SiC/p-Si heterojunction diodes reaches to 220V at room temperature.These results indicate that the SiC/Si heterojunction diode can be used to fabricate the wide bandgap emitter SiC/Si heterojunction bipolar transistors (HBT's). 展开更多
关键词 LPCVD voids-free n-3C-SiC/p-si(100) heterojunction characteristics
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p-Si上激光诱导局部沉积铂 被引量:1
17
作者 崔启明 江志裕 +1 位作者 郁祖湛 应质峰 《应用化学》 CAS CSCD 北大核心 1998年第4期104-106,共3页
The partial deposit films on p-silicon wafers were formed from three kinds of plating solution: chloro-platinic acid, potassium tetranitroplatinate and diammine platinium dinitrate under Nd: YAG laser irradiation. The... The partial deposit films on p-silicon wafers were formed from three kinds of plating solution: chloro-platinic acid, potassium tetranitroplatinate and diammine platinium dinitrate under Nd: YAG laser irradiation. The compositions and properties of the depositswere investigated by AES, SEM and XPS techniques. The Pt deposits have ohmic contactwith p-type silicon. 展开更多
关键词 电镀铂 激光诱导 沉积 p-si 硅基体
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ZnO/p-Si异质结的I-V及C-V特性研究 被引量:1
18
作者 熊超 袁洪春 +3 位作者 徐安成 陈磊 陆兴中 姚若河 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 2013年第3期436-440,444,共6页
通过磁控溅射Al掺杂的ZnO陶瓷靶,在p-Si片上沉积n型电导的ZnO薄膜而制备了ZnO/p-Si异质结,并通过测试其光照下的I-V、C-V特性对其光电特性以及载流子输运特性与导电机理进行了研究。研究表明ZnO/p-Si异质结存在良好的整流特性与光电响应... 通过磁控溅射Al掺杂的ZnO陶瓷靶,在p-Si片上沉积n型电导的ZnO薄膜而制备了ZnO/p-Si异质结,并通过测试其光照下的I-V、C-V特性对其光电特性以及载流子输运特性与导电机理进行了研究。研究表明ZnO/p-Si异质结存在良好的整流特性与光电响应,可以广泛应用在光电探测和太阳电池等领域。由于在ZnO/p-Si异质结界面处的导带补偿与价带补偿相差太大的缘故,在正向电压超过1V时,导电机理为空间电荷限制电流导电。同时,研究表明ZnO/p-Si异质结界面存在大量界面态,可以通过减小界面态进一步提高其光电特性。 展开更多
关键词 ZnO p-si异质结 I-V特性 C-V特性 内建电势 界面态
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p-Si薄膜生长的ECR-CVD等离子体系统的结构设计 被引量:1
19
作者 殷景志 龙北红 +4 位作者 邵丽梅 阮圣平 胡立发 刘永刚 宣丽 《液晶与显示》 CAS CSCD 2004年第3期199-201,共3页
提出了一种生长p-Si薄膜的ECR-PECVD等离子体系统。系统采用永磁铁和线圈相结合,改善反应室磁场的均匀性;微波窗口设计成多层结构,避免窗口污染;衬底托架移动和旋转利于改善生长膜的均匀性。
关键词 电子回旋共振 微波等离子体 p-si薄膜
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ZnO/p-Si异质结的深能级及其对发光的影响 被引量:13
20
作者 刘磁辉 朱俊杰 +4 位作者 林碧霞 陈宇林 彭聪 杨震 傅竹西 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第3期218-222,共5页
利用深能级瞬态谱 (DLTS)和光致发光谱 (PL) ,研究了ZnO/p Si异质结的两种不同温度 (85 0℃ ,10 0 0℃ )退火下的深能级中心。发现 85 0℃退火的样品存在 3个明显的深中心 ,分别为E1=Ev+0 2 1eV ,E2=Ev+0 44eV ,E3=Ev+0 71eV ;而 10 ... 利用深能级瞬态谱 (DLTS)和光致发光谱 (PL) ,研究了ZnO/p Si异质结的两种不同温度 (85 0℃ ,10 0 0℃ )退火下的深能级中心。发现 85 0℃退火的样品存在 3个明显的深中心 ,分别为E1=Ev+0 2 1eV ,E2=Ev+0 44eV ,E3=Ev+0 71eV ;而 10 0 0℃退火样品仅存在一个E1=Ev+0 2 1eV的中心 ,且其隙态密度要比 85 0℃退火的大。同时 ,测量了两个样品的PL谱。发现 10 0 0℃退火可消除一些影响发光强度的深能级 ,对改善晶格结构 ,提高样品的发光强度有利。 展开更多
关键词 深能级瞬态谱 DLTS PL谱 光致发光谱 发光强度 ZnO/p-si异质结 半导体材料 深能级 氧化锌/磷-硅异质结
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