两段PTSA法制备电子级液体CO2技术及工业化应用

介绍了四川天一科技股份有限公司自主研发的两段PTSA法制备电子级液体CO2技术,该技术以富CO2的气体作为原料,提纯得到电子级液体CO2,产品符合半导体行业的质量要求。该技术已在工业化装置上成功运行,工程应用的结果表明其具有产品质量可靠、能耗低、投资少、运行费用低的优点。