阴极溅射SiC涂层碳纤维结构与特性研究

主要研究了阴极溅射ＳｉＣ涂层碳纤维的结构与特性。结果表明：采用该工艺在碳纤维上得到的是非晶态的ＳｉＣ涂层。该涂层对碳纤维的强度没有影响，在不高于７００℃的温度下。