期刊导航
期刊开放获取
河南省图书馆
退出
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
1
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式:
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
用于PVD电源的新型三相LCC变换器
1
作者
王欣
乐卫平
+2 位作者
刘涛
张香港
马泽鹤
《电力设备管理》
2024年第1期294-296,共3页
PVD直流等离子体电源在电源领域属于特种应用产品,广泛应用于集成电路制造中的金属及非金属材料溅射镀膜。针对集成电路制造产业中对PVD直流等离子体电源的应用需求,本文提出一种用于PVD电源的新型三相LCC变换器。
关键词
LCC变换器
pvd直流电源
第三代半导体
限流保护
下载PDF
职称材料
题名
用于PVD电源的新型三相LCC变换器
1
作者
王欣
乐卫平
刘涛
张香港
马泽鹤
机构
深圳市恒运昌真空技术有限公司
出处
《电力设备管理》
2024年第1期294-296,共3页
文摘
PVD直流等离子体电源在电源领域属于特种应用产品,广泛应用于集成电路制造中的金属及非金属材料溅射镀膜。针对集成电路制造产业中对PVD直流等离子体电源的应用需求,本文提出一种用于PVD电源的新型三相LCC变换器。
关键词
LCC变换器
pvd直流电源
第三代半导体
限流保护
分类号
TM4 [电气工程—电器]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
用于PVD电源的新型三相LCC变换器
王欣
乐卫平
刘涛
张香港
马泽鹤
《电力设备管理》
2024
0
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部