热力耦合镀膜腔体的数值化设计及分析

物理气相沉积(PVD)是材料表面改性的主流发展方向,但国产化PVD设备的真空度低、密封性差及工艺性能失稳是导致国内PVD技术徘徊不前的主要原因。对PVD设备腔体的设计方法进行介绍,建立几何模型,并借助计算机数值模拟分析圆柱和正六面体炉腔在高真空及高温度状态下应力和变形情况,得出腔体几何形状与应力、变形集中的关系,并对比了两种腔体的分析数据。结果表明,两种腔体的主要受力和变形位置均与开孔位置有关,圆柱腔体的变形和受力都小于正六面体形腔体。