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PVD轴瓦溅射工艺研究
被引量:
3
1
作者
吴文俊
《舰船科学技术》
2010年第8期182-184,189,共4页
研究目的是为进口柴油机的国产化提供磁控溅射的PVD轴瓦。PVD(Physical Vapor Deposition物理气相沉积)轴瓦属于第四代轴瓦,其特点是用磁控溅射的方法在轴瓦基材的内表面上生成镍栅层(阻挡层)和具有优异性能的铝合金减摩层(跑合层、滑动...
研究目的是为进口柴油机的国产化提供磁控溅射的PVD轴瓦。PVD(Physical Vapor Deposition物理气相沉积)轴瓦属于第四代轴瓦,其特点是用磁控溅射的方法在轴瓦基材的内表面上生成镍栅层(阻挡层)和具有优异性能的铝合金减摩层(跑合层、滑动层),这是研制PVD轴瓦的重点和难点。通过反复试验,得出了影响溅射膜层附着强度、沉积速度、维氏硬度、减摩层断面微观形貌等性能的有关参数的优化值并确定了工艺流程。铝合金减摩层的组分含量、附着强度、维氏硬度等性能达到或优于图纸要求。铝合金减摩层断面微观形貌及软锡(Sn)相颗粒直径和分布状态等性能达到外同类产品或文献报道的水平。
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关键词
pvd轴瓦
磁控溅射
偏压
溅射膜层
栅层
减摩层
下载PDF
职称材料
高压比的PVD轴瓦
2
作者
张然治
《车用发动机》
北大核心
2004年第2期48-48,共1页
关键词
柴油机
高压比
轴瓦
pvd轴瓦
溅射
轴瓦
技术
物理蒸发沉积工艺
氩离子
下载PDF
职称材料
题名
PVD轴瓦溅射工艺研究
被引量:
3
1
作者
吴文俊
机构
重庆跃进机械厂有限公司
出处
《舰船科学技术》
2010年第8期182-184,189,共4页
文摘
研究目的是为进口柴油机的国产化提供磁控溅射的PVD轴瓦。PVD(Physical Vapor Deposition物理气相沉积)轴瓦属于第四代轴瓦,其特点是用磁控溅射的方法在轴瓦基材的内表面上生成镍栅层(阻挡层)和具有优异性能的铝合金减摩层(跑合层、滑动层),这是研制PVD轴瓦的重点和难点。通过反复试验,得出了影响溅射膜层附着强度、沉积速度、维氏硬度、减摩层断面微观形貌等性能的有关参数的优化值并确定了工艺流程。铝合金减摩层的组分含量、附着强度、维氏硬度等性能达到或优于图纸要求。铝合金减摩层断面微观形貌及软锡(Sn)相颗粒直径和分布状态等性能达到外同类产品或文献报道的水平。
关键词
pvd轴瓦
磁控溅射
偏压
溅射膜层
栅层
减摩层
Keywords
pvd
half bearing
magnetron sputter
bias
sputtering coating
barrier layer
antifriction layer
分类号
U664.121 [交通运输工程—船舶及航道工程]
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职称材料
题名
高压比的PVD轴瓦
2
作者
张然治
出处
《车用发动机》
北大核心
2004年第2期48-48,共1页
关键词
柴油机
高压比
轴瓦
pvd轴瓦
溅射
轴瓦
技术
物理蒸发沉积工艺
氩离子
分类号
TK423 [动力工程及工程热物理—动力机械及工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
PVD轴瓦溅射工艺研究
吴文俊
《舰船科学技术》
2010
3
下载PDF
职称材料
2
高压比的PVD轴瓦
张然治
《车用发动机》
北大核心
2004
0
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职称材料
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