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A fast method to diagnose phase transition from amorphous to microcrystalline silicon 被引量:4
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作者 HOU GuoFu XUE JunMing +3 位作者 YUAN YuJie SUN Jian ZHAO Ying GENG XinHua 《Science China(Physics,Mechanics & Astronomy)》 SCIE EI CAS 2007年第6期731-736,共6页
A series of hydrogenated silicon thin films were prepared by the radio frequency plasma enhanced chemical vapor deposition method (RF-PECVD) with various si-lane concentrations. The influence of silane concentration o... A series of hydrogenated silicon thin films were prepared by the radio frequency plasma enhanced chemical vapor deposition method (RF-PECVD) with various si-lane concentrations. The influence of silane concentration on structural and elec-trical characteristics of these films was investigated to study the phase transition region from amorphous to microcrystalline phase. At the same time,optical emis-sion spectra (OES) from the plasma during the deposition process were monitored to get information about the plasma properties,Raman spectra were measured to study the structural characteristics of the deposited films. The combinatorial analysis of OES and Raman spectra results demonstrated that the OES can be used as a fast method to diagnose phase transition from amorphous to microcrystalline silicon. At last the physical mechanism,why both OES and Raman can be used to diagnose the phase transition,was analyzed theoretically. 展开更多
关键词 amorphous silicon microcrystalline silicon phase transition optical emission spectroscopy
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ANALYSIS OF STRUCTURE EVOLUTION AND ENVIRONMENTAL CONDITIONS OF TROPICAL CYCLONES OVER THE WESTERN NORTH PACIFIC DURING EXTRATROPICAL TRANSITION
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作者 危国飞 朱佩君 +1 位作者 江佳 刘会军 《Journal of Tropical Meteorology》 SCIE 2017年第1期15-24,共10页
Fifty-eight extratropical transition(ET) cases in the years 2000-2008, including 2,021 observations(at 6-hour intervals), over the western North Pacific are analyzed using the cyclone phase space(CPS) method, in an ef... Fifty-eight extratropical transition(ET) cases in the years 2000-2008, including 2,021 observations(at 6-hour intervals), over the western North Pacific are analyzed using the cyclone phase space(CPS) method, in an effort to get the characteristics of the structure evolution and environmental conditions of tropical cyclones(TCs) during ET over this area. Cluster analysis of the CPS dataset shows that strong TCs are more likely to undergo ET. ET begins with the increment of thermal asymmetry in TCs, along with the generation and intensification of an upper-level cold core, and ends with the occurrence of a lower-level cold core. ET lasts an average duration of about 28 hours. Dynamic composite analysis of the environmental field of different clusters shows that, in general, when TCs move northward,they are gradually embedded in the westerlies and gradually transform into extratropical cyclones under the influence of the mid-and higher-latitude baroclinic systems. As for those TCs which complete ET, there is always much greater potential vorticity gradient in the northwest of them and obvious water vapor transport channels in the environment. 展开更多
关键词 extratropical transition of tropical cyclone cyclone phase space cluster analysis composite analysis
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铁掺杂0.2PZN-0.8PZT铁电陶瓷Raman散射研究 被引量:2
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作者 路朋献 朱满康 +3 位作者 侯育冬 宋雪梅 汪浩 严辉 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2006年第3期633-639,共7页
采用Raman散射方法研究了铁掺杂Pb(Zn1/3Nb2/3)0.2(Zr0.5Ti0.5)0.8O3(0.2PZN- 0.8PZT)铁电陶瓷中三方-四方共存现象.通过分析四方相E(3TO)和A1(3TO)模式与三方相 R1模式之间的相对强度,以及四方相E(3LO)和A1(3LO)模式与三方相R... 采用Raman散射方法研究了铁掺杂Pb(Zn1/3Nb2/3)0.2(Zr0.5Ti0.5)0.8O3(0.2PZN- 0.8PZT)铁电陶瓷中三方-四方共存现象.通过分析四方相E(3TO)和A1(3TO)模式与三方相 R1模式之间的相对强度,以及四方相E(3LO)和A1(3LO)模式与三方相Rh模式之间的相对强度,确定了铁掺杂对0.2PZN-0.8PZT陶瓷中三方-四方共存结构的影响,并得到了XRD相分析的验证.因此,通过分解Raman散射中三方-四方振动模式,可以表征掺杂对PZT基陶瓷中三方-四方共存现象的变化趋势. 展开更多
关键词 Raman分析 pzt相变 铁掺杂 XRD分析
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MOD制备的PZT薄膜的相结构发展和成分分析 被引量:1
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作者 包定华 吴小清 +1 位作者 张良莹 姚熹 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1999年第1期119-126,共8页
采用MOD工艺制备了PZT薄膜,利用XRD和TEM研究了焦绿石相向钙钛矿相的转变过程.制备在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上的PZT薄膜,其XRD分析显示焦绿石相在600℃完全转变为钙钛矿相;与之相比,Pt箔上无支持的PZT薄膜,其TBM分析表明PZT焦绿石... 采用MOD工艺制备了PZT薄膜,利用XRD和TEM研究了焦绿石相向钙钛矿相的转变过程.制备在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上的PZT薄膜,其XRD分析显示焦绿石相在600℃完全转变为钙钛矿相;与之相比,Pt箔上无支持的PZT薄膜,其TBM分析表明PZT焦绿石相完全转变为钙钛矿相的温度更高,且与薄膜的厚度有关.XPS研究表明,薄膜表面含有化学吸附氧和污染碳,无其它杂质存在.表面富含少量Pb,其Zr/Ti比与化学计量比一致,但晶格中缺氧. 展开更多
关键词 锆钛酸铅薄膜 成分分析 相结构 MOD pzt薄膜
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Ba-PZT系陶瓷电致伸缩效应研究 被引量:1
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作者 李洪钧 潘晓明 温保松 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1991年第2期196-200,共5页
本工作从 Ba-PZT 系陶瓷材料的化学组成研究并讨论了电致伸缩效应。实验表明,Zr^(4+)量的增加明显地使材料的居里相变温度降低,但并不显著影响居里温度的弥散范围。合宜的 Zr^(4+)含量使材料的电致纵向应变量达到较高数值。Sr^(2+)离子... 本工作从 Ba-PZT 系陶瓷材料的化学组成研究并讨论了电致伸缩效应。实验表明,Zr^(4+)量的增加明显地使材料的居里相变温度降低,但并不显著影响居里温度的弥散范围。合宜的 Zr^(4+)含量使材料的电致纵向应变量达到较高数值。Sr^(2+)离子的引入,使 Ba-PZT 系陶瓷材料的居里温度弥散范围扩大。 展开更多
关键词 Ba-pzt 陶瓷 电致伸缩 弥散相变
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PZT叠层厚膜陶瓷材料性能的研究 被引量:1
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作者 王立平 卢琳 +2 位作者 谢静菁 王聪 姜胜林 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2009年第2期263-265,共3页
使用凝胶流延成型工艺制备了PZT85/15、PZT95/5单组分厚膜及叠层厚膜。通过和单组分厚膜的性能进行对比,分析了叠层厚膜的形貌特征及介电、铁电和热释电性能。结果表明,由PZT85/15和PZT95/5组成的叠层厚膜内部均匀致密,具有良好的介电... 使用凝胶流延成型工艺制备了PZT85/15、PZT95/5单组分厚膜及叠层厚膜。通过和单组分厚膜的性能进行对比,分析了叠层厚膜的形貌特征及介电、铁电和热释电性能。结果表明,由PZT85/15和PZT95/5组成的叠层厚膜内部均匀致密,具有良好的介电、铁电和热释电性能,极化后的相对介电常数rε=191.5,介电损耗tanδ=0.7%(温度T=20℃,频率f=1 kHz),热释电系数在41℃时达到峰值8×10-8C/cm2.K,此后下降不明显,从而改善了单组分厚膜相变温区过窄的缺点,达到拓宽相变温区的目的,有望在红外探测和相变换能方面得到更广泛的应用。 展开更多
关键词 叠层厚膜陶瓷材料 pzt 低-高温相(FRL-FRH)相变温区
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原位加热电镜技术研究WO_(3)-BiVO_(4)非晶复合薄膜退火相变过程 被引量:1
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作者 宋海利 黄荣 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2023年第3期283-290,共8页
本文利用原位加热电镜技术和高分辨透射电镜研究了WO_(3)-BiVO_(4)非晶复合薄膜原位退火相变过程。退火过程中,薄膜中的Bi元素逐渐挥发,由于电镜中的高真空缺氧环境,加热到600℃时,形成的结晶相大部分为立方W相,少量的WO_(x)(0<x≤3)... 本文利用原位加热电镜技术和高分辨透射电镜研究了WO_(3)-BiVO_(4)非晶复合薄膜原位退火相变过程。退火过程中,薄膜中的Bi元素逐渐挥发,由于电镜中的高真空缺氧环境,加热到600℃时,形成的结晶相大部分为立方W相,少量的WO_(x)(0<x≤3)、VO_(x)(0<x≤25)和BixVOy(0<x≤1,0<y≤4)氧化物晶相,完全不同于利用脉冲激光沉积方法在充足氧气气氛和600℃条件下生长退火后形成的WO_(3)纳米柱嵌入BiVO_(4)基质中的垂直异质外延结晶复合薄膜。因此,退火气氛和样品的受热方式对薄膜的结晶相变过程有很大影响。 展开更多
关键词 原位加热电镜技术 WO_(3)-BiVO_(4)复合薄膜 退火相变
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基于VO_2薄膜相变的强光限幅机制与复合防护技术 被引量:2
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作者 罗振坤 王秋华 +1 位作者 刘海峰 孙嵘 《医疗卫生装备》 CAS 2010年第8期27-29,共3页
目的:分析研究基于热致相变原理的VO2薄膜强光限幅机制及其激光防护复合技术。方法:对VO2薄膜强光限幅特性、作用机理、影响因素与相关技术进行分析,探讨强光限幅与激光防护的技术特点及其规律,建立VO2薄膜强光限幅复合防护技术模块。结... 目的:分析研究基于热致相变原理的VO2薄膜强光限幅机制及其激光防护复合技术。方法:对VO2薄膜强光限幅特性、作用机理、影响因素与相关技术进行分析,探讨强光限幅与激光防护的技术特点及其规律,建立VO2薄膜强光限幅复合防护技术模块。结果:介绍了强光限幅与激光防护的技术特征,提出以激光为代表的强光辐射光限幅复合防护技术,包括VO2薄膜的设计与制备,热致相变与光限幅性质,相变阈值和光损伤阈值,复合材料增强防护技术,强光限幅与复合防护性能测试。结论:VO2薄膜强光限幅与激光防护复合技术为强光辐射人眼及光电传感器的损伤防护和光限幅材料与光限幅器的设计制备提供了有效技术途径。 展开更多
关键词 VO2薄膜 相变 光限幅 激光防护 复合技术
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激光重熔等离子喷涂Al_2O_3陶瓷层的相转变 被引量:3
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作者 严彪 陆伟 +2 位作者 唐人剑 杨磊 殷俊林 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第7期785-788,共4页
研究了锌铝基A12O3陶瓷层激光重熔区内陶瓷相的转变。采用METCO4MP等离子喷涂机对基体材料表面喷涂氧化铝(A12O3的质量分数为99%)陶瓷层。采用上海光学精密机械研究所HJ4工业用横流CO2激光器进行激光重熔。通过X射线衍射分析和透射电镜... 研究了锌铝基A12O3陶瓷层激光重熔区内陶瓷相的转变。采用METCO4MP等离子喷涂机对基体材料表面喷涂氧化铝(A12O3的质量分数为99%)陶瓷层。采用上海光学精密机械研究所HJ4工业用横流CO2激光器进行激光重熔。通过X射线衍射分析和透射电镜对Al2O3陶瓷的微观结构、成分和分布的研究,得到以下结论:在等离子喷涂过程中,喷涂层中陶瓷相发生αAl2O3γAl2O3+αAl2O3的转变。激光重熔后,试样表层的原αA12O3陶瓷相、γA12O3陶瓷相均转变为δA12O3陶瓷相,为体心四方结构。熔池区陶瓷相主要分布在表层,次表层和过渡区。 展开更多
关键词 氧化铝陶瓷 相变 激光重熔 等离子喷涂
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VHF-PECVD法高速率沉积氢化微晶硅薄膜 被引量:5
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作者 杨恢东 吴春亚 +7 位作者 黄君凯 麦耀华 张晓丹 薛俊明 任慧志 赵颖 耿新华 熊绍珍 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第2期127-132,共6页
采用光发射谱(OES)技术对氢化微晶硅(μc Si∶H)薄膜的甚高频等离子体增强化学气相沉积(VHF PECVD)生长过程进行了原位监测,并对不同沉积条件下VHF等离子体中SiH 和H 的发光峰强度与薄膜沉积速率之间的关系进行了分析与讨论。通过Raman... 采用光发射谱(OES)技术对氢化微晶硅(μc Si∶H)薄膜的甚高频等离子体增强化学气相沉积(VHF PECVD)生长过程进行了原位监测,并对不同沉积条件下VHF等离子体中SiH 和H 的发光峰强度与薄膜沉积速率之间的关系进行了分析与讨论。通过Raman光谱、X射线衍射与扫描电子显微镜(SEM)测量,研究了μc Si∶H薄膜的结构特征与表面形貌。基于当前的沉积系统,对μc Si∶H薄膜沉积条件进行了初步优化,使μc Si∶H薄膜的沉积速率提高到2 0nm/s。 展开更多
关键词 光发射谱 氢化微晶硅薄膜 甚高频等离子体化学气相沉积 高速沉积
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添加燃烧合成晶种SPS烧结Ybα-SiAlON陶瓷 被引量:3
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作者 刘光华 陈克新 +2 位作者 周和平 郭俊明 宁晓山 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2005年第3期659-665,共7页
通过燃烧合成技术制备单相Yb α-SiAION粉体,然后作为晶种添加到原料中利用SPS技术快速烧结出致密Yb α-SiAION陶瓷.对SPS烧结过程中试样的致密化、相转变和形貌发育进行了研究,并探讨了添加晶种对烧结产物相组成和微观形貌的影响.实验... 通过燃烧合成技术制备单相Yb α-SiAION粉体,然后作为晶种添加到原料中利用SPS技术快速烧结出致密Yb α-SiAION陶瓷.对SPS烧结过程中试样的致密化、相转变和形貌发育进行了研究,并探讨了添加晶种对烧结产物相组成和微观形貌的影响.实验结果表明, SPS可使试样迅速完成致密化过程,适当的烧结温度和保温时间可以促进相转变和晶粒发育. 添加晶种,不仅促进了相转变过程,而且可以在烧结体内获得柱状晶,有助于改善材料的韧性. 展开更多
关键词 Ybα-SiAlON 燃烧合成 SPS 柱状晶
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化学气相沉积制备纳米结构碳化钨薄膜(英文) 被引量:4
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作者 郑华均 黄建国 +2 位作者 马淳安 赵峰鸣 朱英红 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第5期789-793,共5页
采用氟化钨(WF6)和甲烷(CH4)为前驱体,采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)方法制备具有纳米结构的碳化钨薄膜。采用SEM、XRD、EDS等方法表征了碳化钨薄膜的形貌、晶体结构和化学组成。通过表征,表明在前驱体混合气体中的甲烷与氟化钨... 采用氟化钨(WF6)和甲烷(CH4)为前驱体,采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)方法制备具有纳米结构的碳化钨薄膜。采用SEM、XRD、EDS等方法表征了碳化钨薄膜的形貌、晶体结构和化学组成。通过表征,表明在前驱体混合气体中的甲烷与氟化钨气体的流量比(碳钨比)为20、基底温度为800℃的条件下得到的碳化钨薄膜是由直径为20~35nm的圆球状纳米晶构成。通过分析影响薄膜的晶体结构、化学组成的因素后,认为要得到具有纳米晶结构的碳化钨薄膜,主要应控制前驱体气体中的碳钨比以及基底温度。 展开更多
关键词 碳化钨 纳米结构薄膜 等离子增强化学气相沉积
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Sn掺杂Ge-Sb-Te相变薄膜的晶化特性 被引量:1
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作者 顾四朋 侯立松 赵启涛 《材料研究学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第2期181-186,共6页
用磁控溅射法制备了掺杂Sn的Ge_2Sb_2Te_5相变材料薄膜,研究了Sn含量对结晶性能的影响.薄膜的X射线衍射(XRD)表明,热处理使薄膜发生了从非晶态到晶态的相变,并出现Sn-Te相.通过示差扫描量热(DSC)实验测出在不同加热速率下非晶态薄膜粉... 用磁控溅射法制备了掺杂Sn的Ge_2Sb_2Te_5相变材料薄膜,研究了Sn含量对结晶性能的影响.薄膜的X射线衍射(XRD)表明,热处理使薄膜发生了从非晶态到晶态的相变,并出现Sn-Te相.通过示差扫描量热(DSC)实验测出在不同加热速率下非晶态薄膜粉末的结晶峰温度,计算了材料的结晶活化能.根据结晶动力学分析和结晶活化能数据,掺杂Sn后的Ge-Sb-Te具有更高的结晶速率,用于光存储时将具有更高的擦除速度. 展开更多
关键词 无机非金属材料 Ge2Sb2Te5 Sn掺杂 热致相变 结晶活化能
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VO_2(M/R)复合薄膜的研究进展
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作者 周石山 杨修春 +1 位作者 董琰峰 王青尧 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第3期42-45,共4页
VO2(M/R)薄膜相变前后的红外透过率、电阻率变化显著,在光学、电学开关等领域极具应用潜力。VO2(M/R)复合薄膜能克服纯相材料本身的不足,还可以引入新的性能和结构。综述了VO2(M/R)复合薄膜的特点和主要性能,总结了薄膜的复合方式,讨论... VO2(M/R)薄膜相变前后的红外透过率、电阻率变化显著,在光学、电学开关等领域极具应用潜力。VO2(M/R)复合薄膜能克服纯相材料本身的不足,还可以引入新的性能和结构。综述了VO2(M/R)复合薄膜的特点和主要性能,总结了薄膜的复合方式,讨论了复合薄膜制备中存在的问题,并结合近年的相变机理、制备工艺、复合方式等报道展望了VO2(M/R)复合薄膜的研究发展前景。 展开更多
关键词 二氧化钒 复合薄膜 相变
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人工复合铁电薄膜的相变性质研究
15
作者 陈辉 吴兵 +2 位作者 王炎 苑霄霄 成泰民 《沈阳化工大学学报》 CAS 2011年第2期174-178,共5页
建立3层铁电复合薄膜的理论模型,在G inzburg-Landau-Devonsh ire(GLD)唯象理论的框架下,引入局域分布函数描述不同材料间过渡层的性质,重点研究具有不同相变温度的铁电材料复合而成的铁电薄膜的相变性质.通过改变3种不同铁电材料的相... 建立3层铁电复合薄膜的理论模型,在G inzburg-Landau-Devonsh ire(GLD)唯象理论的框架下,引入局域分布函数描述不同材料间过渡层的性质,重点研究具有不同相变温度的铁电材料复合而成的铁电薄膜的相变性质.通过改变3种不同铁电材料的相变温度,计算复合铁电薄膜内部的极化强度分布和相变温度.研究表明:3种铁电材料相变温度的梯度变化导致了复合薄膜内部极化分布的梯度变化;在未达到薄膜的相变温度前,薄膜的平均极化强度的一阶导数出现了一个突降,造成了平均极化强度的极大降低;不同材料间过渡层厚度对薄膜内部极化分布影响显著,而对平均极化强度和相变温度影响不大. 展开更多
关键词 复合薄膜 自发极化 相变温度
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应力导致的Pb(Zr_(0.7)Ti_(0.3))O_3薄膜两相共存
16
作者 苏丽秋 《磁性材料及器件》 北大核心 2013年第3期20-22,54,共4页
Pb(Zr0.7Ti0.3)O3薄膜与其MgO衬底的热膨胀系数不同会导致膜内产生压应力。通过求解弹性力学方程,得到了膜内一组可能的应力分布。把此热应力应用于修正的Landau-Devonshire理论,研究了Pb(Zr0.7Ti0.3)O3薄膜的铁电性。指出衬底引发的梯... Pb(Zr0.7Ti0.3)O3薄膜与其MgO衬底的热膨胀系数不同会导致膜内产生压应力。通过求解弹性力学方程,得到了膜内一组可能的应力分布。把此热应力应用于修正的Landau-Devonshire理论,研究了Pb(Zr0.7Ti0.3)O3薄膜的铁电性。指出衬底引发的梯度热应力可能导致膜内四方和斜方相共存,但整个膜的平均效应则使膜具有连续相变特征。 展开更多
关键词 pzt薄膜 应力 铁电性 相变
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西北太平洋热带气旋变性过程结构演变及其环境分析 被引量:6
17
作者 危国飞 朱佩君 江佳 《热带气象学报》 CSCD 北大核心 2014年第3期473-482,共10页
用气旋相空间方法(Cyclone Phase Space,简称CPS)对58个经历变性过程的西北太平洋热带气旋的2 021个样本(时次间隔为6 h)资料进行分析,得到该区域热带气旋在变性阶段的气旋结构及其环境特征。聚类分析结果显示,强的热带气旋更易发生变性... 用气旋相空间方法(Cyclone Phase Space,简称CPS)对58个经历变性过程的西北太平洋热带气旋的2 021个样本(时次间隔为6 h)资料进行分析,得到该区域热带气旋在变性阶段的气旋结构及其环境特征。聚类分析结果显示,强的热带气旋更易发生变性,变性开始于气旋非对称性增加,随之伴有高层冷心出现和加强,最后完成于低层出现冷心,变性维持平均时间约28 h。利用美国国家环境预报中心(NCEP)再分析资料对各聚类环境场的动态合成分析表明,发生变性的热带气旋在北移过程中逐渐嵌入西风带,在中高纬斜压系统影响下变性为温带气旋。对于发生并完成变性的热带气旋,其西北侧始终有明显的位涡梯度存在,而且在环境中有明显的水汽输送通道。 展开更多
关键词 气候学 热带气旋变性 气旋相空间 聚类分析 合成分析
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外加应力对外延Pb(Zr_(1-x)Ti_x)O_3薄膜相图及物理性质的影响
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作者 吕业刚 刘宏贵 《湖南科技学院学报》 2009年第4期38-41,共4页
用非线性热力学方法,研究了外加应力及组分对外延单畴Pb(Zr1-xTix)O3(PZT)薄膜的相图及物理性质的影响。通过数值计算,得到了PZT薄膜在不同组分下的"外加应力-失配应变"相图。由相图可知,外加应力可以使薄膜发生铁电相变。在... 用非线性热力学方法,研究了外加应力及组分对外延单畴Pb(Zr1-xTix)O3(PZT)薄膜的相图及物理性质的影响。通过数值计算,得到了PZT薄膜在不同组分下的"外加应力-失配应变"相图。由相图可知,外加应力可以使薄膜发生铁电相变。在室温下,外加压应力能使薄膜的铁电相转变到顺电相。薄膜的压电系数对相变非常的敏感,施加一个适当的外加应力,可以大幅度提高压电系数。本文的计算结果,可以解释压痕仪和扫描力电镜研究铁电薄膜时所观察到的实验现象。 展开更多
关键词 铁电薄膜 pzt 外加应力 失配应变 相变
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金刚石薄膜成份和结构的评价方法
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作者 杨国伟 《微细加工技术》 1994年第4期70-75,共6页
本文描述了低压气相淀积生长金刚石薄膜样品的成份、结构、化学键等的测试、分析手段,讨论了这些分析技术所提供信息的可靠性、以及存在的一些问题。
关键词 金刚石薄膜 化学气相淀积 成份 结构 评价
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二元不互溶Cu-Ta体系非晶相的形成 被引量:1
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作者 黄昌清 隋曼龄 《材料研究学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第3期290-294,共5页
利用X射线衍射(XRD)、高分辨透射电子显微术(HRTEM)和X射线能谱(EDS)研究了共溅射Cu-Ta薄膜中非晶相的形成.结果表明,共溅射Cu-Ta薄膜为非晶相,但是其中存在着纳米尺度的Cu晶粒和富Cu的非晶纳米颗粒,即存在纳米尺度的相分离.正的混合热... 利用X射线衍射(XRD)、高分辨透射电子显微术(HRTEM)和X射线能谱(EDS)研究了共溅射Cu-Ta薄膜中非晶相的形成.结果表明,共溅射Cu-Ta薄膜为非晶相,但是其中存在着纳米尺度的Cu晶粒和富Cu的非晶纳米颗粒,即存在纳米尺度的相分离.正的混合热是导致Cu-Ta二元不互溶体系非晶态薄膜相分离的本质原因. 展开更多
关键词 金属材料 Cu-Ta非晶相 共溅射薄膜 高分辨透射电子显微术 不互溶体系
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