基于惯性-摩擦驱动的球基微驱动器逆转现象分析

在压电陶瓷等效电学模型的基础上,结合外加驱动信号波形分析了基于惯性-摩擦驱动的球基微驱动器在工作过程中金属球产生逆转现象的原因,建立了金属球的转速及位移模型,采用快速放电回路和加速压电陶瓷放电的方法减小金属球的逆转位移及振动;利用压电陶瓷管作为微驱动元件,设计了基于惯性-摩擦驱动的球基微驱动器,并采用不同频率的三角波信号对所设计微驱动器进行试验测试.结果表明:驱动信号频率越高,微驱动器的振动现象越明显;当驱动信号频率接近、等于或大于微驱动元件(压电陶瓷管)的固有放电周期时,金属球出现无规律运动,导致微驱动器失效;根据1 H z低频信号时的试验结果与计算所得结果基本吻合,证明了所建立的逆转理论模型的合理性.

新型压电光学扫描器的性能分析及控制

详细分析了压电扫描器的机械特性，及其对扫描特性的影响，通过调整输入波形的形式来修正压电扫描器的扫描畸变，从而达到计算机控制压电扫描器扫描的高精度和可控性。压电扫描器的扫描角度能达到３°以上，扫描频率为２０Ｈｚ以上，扫描线性度为 １％。