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显微硬度计测试NiTi SMA薄膜与PZT基体结合力的分析
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作者 何烜坤 王金钢 《材料研究与应用》 CAS 2017年第2期132-134,140,共4页
通过磁控溅射在锆钛酸铅陶瓷(PZT)基体表面沉积一定面积的NiTi SMA薄膜,用显微硬度测试分析薄膜与PZT基体间的结合力.结果表明:随沉积膜宽度增加,NiTi SMA薄膜与PZT基体的结合力减小;膜宽L<3mm的NiTi SMA薄膜,其膜基结合力最高达351N... 通过磁控溅射在锆钛酸铅陶瓷(PZT)基体表面沉积一定面积的NiTi SMA薄膜,用显微硬度测试分析薄膜与PZT基体间的结合力.结果表明:随沉积膜宽度增加,NiTi SMA薄膜与PZT基体的结合力减小;膜宽L<3mm的NiTi SMA薄膜,其膜基结合力最高达351N/mm^2,比膜宽L≥3mm的结合力高2倍多. 展开更多
关键词 维氏硬度 NiTiSMA薄膜 pzt基体 结合力
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