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PZT移相和CCD非线性对高精度球面面形检测的影响
被引量:
2
1
作者
刘勇
沈亦兵
彭建华
《浙江大学学报(工学版)》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第11期2116-2120,2127,共6页
为了提高球面面形的检测精度,对移相菲索干涉仪的球面测量方法中影响高精度球面面形检测的压电陶瓷晶体(PZT)移相误差和电荷耦合探测器(CCD)非线性误差进行探讨.通过理论分析和数值模拟的方法分别对PZT移相误差、CCD非线性误差进行具体...
为了提高球面面形的检测精度,对移相菲索干涉仪的球面测量方法中影响高精度球面面形检测的压电陶瓷晶体(PZT)移相误差和电荷耦合探测器(CCD)非线性误差进行探讨.通过理论分析和数值模拟的方法分别对PZT移相误差、CCD非线性误差进行具体分析,着重研究PZT移相误差和CCD非线性误差的综合影响.由五步移相算法,推导得出PZT和CCD的综合误差公式,对影响综合误差大小的主要因素如CCD二次非线性系数、条纹对比度和被检面曲率半径与口径的比值等进行分析.结果表明,提出的控制PZT和CCD综合误差影响的准则和相应的减小误差影响的方法,可以提高球面面形的检测精度.
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关键词
菲索干涉仪
pzt移相误差
CCD非线性
误差
球面面形
下载PDF
职称材料
题名
PZT移相和CCD非线性对高精度球面面形检测的影响
被引量:
2
1
作者
刘勇
沈亦兵
彭建华
机构
浙江大学光电信息工程学系
出处
《浙江大学学报(工学版)》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第11期2116-2120,2127,共6页
文摘
为了提高球面面形的检测精度,对移相菲索干涉仪的球面测量方法中影响高精度球面面形检测的压电陶瓷晶体(PZT)移相误差和电荷耦合探测器(CCD)非线性误差进行探讨.通过理论分析和数值模拟的方法分别对PZT移相误差、CCD非线性误差进行具体分析,着重研究PZT移相误差和CCD非线性误差的综合影响.由五步移相算法,推导得出PZT和CCD的综合误差公式,对影响综合误差大小的主要因素如CCD二次非线性系数、条纹对比度和被检面曲率半径与口径的比值等进行分析.结果表明,提出的控制PZT和CCD综合误差影响的准则和相应的减小误差影响的方法,可以提高球面面形的检测精度.
关键词
菲索干涉仪
pzt移相误差
CCD非线性
误差
球面面形
Keywords
Fizeau interferometer
pzt
phase-shifting error
CCD nonlinear error
spherical surfaces
分类号
O436.1 [机械工程—光学工程]
TH744 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
PZT移相和CCD非线性对高精度球面面形检测的影响
刘勇
沈亦兵
彭建华
《浙江大学学报(工学版)》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012
2
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职称材料
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