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纳米定位控制中消除PZT滞后及蠕变的方法
被引量:
8
1
作者
吴一辉
王立鼎
《压电与声光》
CAS
CSCD
北大核心
1996年第3期207-211,共5页
总结了近年来用PZT致动器进行纳米线性定位控制的方法,对其特点和局限性进行了分析,并提出了一种可望在较大行程范围内获得亚纳米定位分辨率的方法。
关键词
pzt致动器
纳米定位
滞后
蠕变
压电换能
器
下载PDF
职称材料
题名
纳米定位控制中消除PZT滞后及蠕变的方法
被引量:
8
1
作者
吴一辉
王立鼎
机构
中科院长春光学精密机械研究所
出处
《压电与声光》
CAS
CSCD
北大核心
1996年第3期207-211,共5页
基金
国家攀登计划资助
文摘
总结了近年来用PZT致动器进行纳米线性定位控制的方法,对其特点和局限性进行了分析,并提出了一种可望在较大行程范围内获得亚纳米定位分辨率的方法。
关键词
pzt致动器
纳米定位
滞后
蠕变
压电换能
器
Keywords
pzt
actuator
nano-positioning
hysteresis
creep
分类号
TN712.5 [电子电信—电路与系统]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
纳米定位控制中消除PZT滞后及蠕变的方法
吴一辉
王立鼎
《压电与声光》
CAS
CSCD
北大核心
1996
8
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