大角度低温光学扫描器

本文介绍了低温大角度扫描器的理论特性和制作技术．我们进行了利用压电陶瓷“逆压电效应”原理在常温条件下进行大角度、可控光扫描的探索性工作，并取得了可喜的成功。

新型低温扫描器

介绍了全新概念的低温压电角扫描器(PZTA)的理论特性和制作技术。进行了利用压电陶瓷"逆压电效应"原理进行大角度、可控光扫描的探索性的工作,并取得了可喜的成功。

压电陶瓷驱动快速反射镜双闭环控制

基于压电陶瓷驱动器的快速反射镜可以实现高精度的视轴稳定,但压电陶瓷非线性特性会给系统定位过程带来较大的影响和误差。为提高压电陶瓷驱动器的控制精度和带宽,提出采用不基于模型的双闭环PID控制反馈方法,将压电陶瓷驱动器的非线性看成一种扰动,构造内环PID改善其非线性性能,再将整个内环看成新的控制对象设计外环控制器,进一步减少控制误差,避免对压电陶瓷驱动器进行复杂的辨识和建模。实验结果表明:双环控制可以有效地提高压电陶瓷驱动器的控制精度和带宽。该方法结构简单、适应性强、便于工程实现。

压电光学扫描器的驱动技术

详细分析了压电扫描器的电学特性及其对扫描特性的影响，设计出压电扫描器的驱动电路，能正常驱动压电扫描器实现大角度扫描，在低温条件下（１００Ｋ），扫描角度能达到３°以上，扫描频率为２０Ｈｚ。

新型压电光学扫描器的性能分析及控制

详细分析了压电扫描器的机械特性，及其对扫描特性的影响，通过调整输入波形的形式来修正压电扫描器的扫描畸变，从而达到计算机控制压电扫描器扫描的高精度和可控性。压电扫描器的扫描角度能达到３°以上，扫描频率为２０Ｈｚ以上，扫描线性度为 １％。

基于纳米定位的压电陶瓷驱动器二进制控制

由于压电陶瓷驱动器(PZTA)具有体积小、位移输出精度高等优点,因而它在超精密定位和微机电系统(MEMS)中得到了广泛的应用,但其本身固有的非线性和迟滞等缺陷,降低了其位移输出精度。为了克服这些缺陷,采用开环二进制控制原理控制PZTA,不仅可以有效地克服其非线性和迟滞缺陷,使PZTA的位移输出精度达到±26.9 nm,而且无需反馈控制回路和检测元件,使控制系统结构简单,降低了成本,便于集成到MEMS中。

新型低温扫描器

介绍了全新概念的低温压电角扫描器（PZTA）的理论特性和制作技术。进行了利用压电陶瓷“逆压电效应”原理进行大角度、可控光扫描的探索性的工作，并取得了可喜的成功。