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Parylene膜光降解研究进展
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作者 曹琼华 徐瑞娟 王建华 《材料导报(纳米与新材料专辑)》 EI 2008年第2期360-363,共4页
综述了国内外Parylene膜光降解的研究现状和进展,介绍了Parylene膜光降解的机理和一些直观现象,并阐述了光解后Parylene膜的光学性能、热力学性能、电学性能以及透湿透气等性能的变化,为以后Parylene膜的光降解研究提供了方向,为设计使... 综述了国内外Parylene膜光降解的研究现状和进展,介绍了Parylene膜光降解的机理和一些直观现象,并阐述了光解后Parylene膜的光学性能、热力学性能、电学性能以及透湿透气等性能的变化,为以后Parylene膜的光降解研究提供了方向,为设计使用条件提供了依据。 展开更多
关键词 高分子材料 parylene膜 光降解 机理 性能
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基于Parylene膜的法-珀干涉型光纤超声水听器 被引量:3
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作者 张洁 赵纯亮 +4 位作者 曾德平 贾平岗 王帅杰 马兹国 王代华 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2012年第3期355-358,共4页
针对高强度聚焦超声(HIFU)声场测量,提出并研究了一种基于Parylene膜的法-珀干涉型光纤水听器。采用真空气相沉积法在光纤的端面蒸镀Parylene膜构成光纤水听器的法-珀腔,分析了光纤水听器的传感原理和解调原理,建立了HIFU声场检测的实... 针对高强度聚焦超声(HIFU)声场测量,提出并研究了一种基于Parylene膜的法-珀干涉型光纤水听器。采用真空气相沉积法在光纤的端面蒸镀Parylene膜构成光纤水听器的法-珀腔,分析了光纤水听器的传感原理和解调原理,建立了HIFU声场检测的实验系统。实验结果表明,基于Parylene膜的法-珀干涉型光纤水听器能准确传感超声信号,其输出与换能器驱动电压的非线性度小于0.01,且与聚偏氟乙烯(PVDF)针式水听器的测量结果基本一致。 展开更多
关键词 光纤传感器 法-珀干涉 parylene膜 水听器 高强度聚焦超声
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Parylene薄膜及其在防潮保护中的应用 被引量:2
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作者 吴彪 谢金华 陈艳平 《科技与创新》 2019年第1期142-143,146,共3页
简要介绍了Parylene薄膜制备方法,及其优良的力学性能、耐溶剂性及水汽与气体阻隔性能,归纳了近年来其在高活性材料以及文物图书档案防潮保护中的研究进展。
关键词 parylene膜 阻隔特性 防潮保护 高分子涂层
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基于Parylene薄膜的微型电磁驱动器的设计与工艺 被引量:1
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作者 苏宇锋 陈文元 《机械制造》 北大核心 2004年第12期25-28,共4页
主要讨论了一种微型电磁驱动器的设计和制作工艺。该驱动器结构简单,由Parylene振动膜和硅基片两层组成,将驱动线圈与硅片集成在一起。分析了平面电磁线圈的驱动特性和驱动器振动膜的形变,对其关键尺寸进行优化。采用电镀工艺在硅基片... 主要讨论了一种微型电磁驱动器的设计和制作工艺。该驱动器结构简单,由Parylene振动膜和硅基片两层组成,将驱动线圈与硅片集成在一起。分析了平面电磁线圈的驱动特性和驱动器振动膜的形变,对其关键尺寸进行优化。采用电镀工艺在硅基片上电镀驱动线圈、在Parylene薄膜上电镀NiFe合金阵列,并采用牺牲层工艺得到振动膜的悬空结构。 展开更多
关键词 电磁驱动 微驱动器 parylene振动
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Parylene膜层对青铜文物的保护研究 被引量:5
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作者 闫庆联 《中国历史文物》 2006年第3期81-88,共8页
如何对青铜文物进行更好的保护,研究发现性能优越的封护材料是文物保护界关注的问题。我们通过对Parylene膜层性能的研究并与其它常用涂层材料分析比对,认为使用Parylene涂敷技术对青铜文物进行涂敷封护,特别是对一些器形复杂,器物的内... 如何对青铜文物进行更好的保护,研究发现性能优越的封护材料是文物保护界关注的问题。我们通过对Parylene膜层性能的研究并与其它常用涂层材料分析比对,认为使用Parylene涂敷技术对青铜文物进行涂敷封护,特别是对一些器形复杂,器物的内部表面没有暴露,常用保护涂层不便实施的文物,该涂敷技术是一种理想的方法。 展开更多
关键词 涂敷 封护 定性实验 电化学测试 parylene膜
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