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后退火温度对溅射沉积Pb(Zr_(0.52)Ti_(0.48))O_3铁电薄膜结构和性能的影响 被引量:6
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作者 赖珍荃 李新曦 +3 位作者 俞进 王根水 郭少令 褚君浩 《南昌大学学报(理科版)》 CAS 北大核心 2003年第1期26-28,44,共4页
在具有Ti缓冲层的Pt(111)底电极上,用射频溅射工艺在较低的衬底温度(370℃)和纯Ar气氛中沉积Pb(Zr0.52Ti0.48)O3(PZT)薄膜,沉积过程中基片架作15°摇摆以提高膜厚的均匀性。然后将样品在大气中进行5min快速热退火处理,退火温度550-... 在具有Ti缓冲层的Pt(111)底电极上,用射频溅射工艺在较低的衬底温度(370℃)和纯Ar气氛中沉积Pb(Zr0.52Ti0.48)O3(PZT)薄膜,沉积过程中基片架作15°摇摆以提高膜厚的均匀性。然后将样品在大气中进行5min快速热退火处理,退火温度550-680℃。用XRD、SEM分析薄膜的微结构,RT66A标准铁电测试系统测量样品的铁电和介电性能。结果表明,所沉积的Pt为(111)取向,仅当后退火温度高于580℃,沉积在Pt(111)上的PZT薄膜才能形成钙钛矿结构的铁电相,退火温度在580-600℃时结晶为(110)择优取向,退火温度高于600℃时结晶为(111)择优取向。PZT薄膜的极化强度随退火温度的升高而增加,但退火温度超过650℃时漏电流急剧上升,因此退火处理的温度对PZT薄膜的结构和性能有决定性的影响。 展开更多
关键词 PZT铁电薄膜 薄膜结构 铁电性能 介电性能 后退火温度 射频磁控溅射 pb(zr0.52ti0.48)o3薄膜
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PbO对Pb(Zr_(0.52)Ti_(0.48))O_3压电陶瓷性能的影响 被引量:2
2
作者 陈江丽 王斌科 《空军工程大学学报(自然科学版)》 CSCD 北大核心 2008年第4期91-94,共4页
采用固相反应的方法制备了Pb(Zr0.52Ti0.48)O3(PZT)压电陶瓷,研究了过量PbO对Pb(Zr0.52Ti0.48)O3压电陶瓷性能的影响。通过XRD和SEM研究了PbO过量对Pb(Zr0.52Ti0.48)O3压电陶瓷的晶相结构及显微形貌的影响,研究结果表明PbO过量不会影响P... 采用固相反应的方法制备了Pb(Zr0.52Ti0.48)O3(PZT)压电陶瓷,研究了过量PbO对Pb(Zr0.52Ti0.48)O3压电陶瓷性能的影响。通过XRD和SEM研究了PbO过量对Pb(Zr0.52Ti0.48)O3压电陶瓷的晶相结构及显微形貌的影响,研究结果表明PbO过量不会影响Pb(Zr0.52Ti0.48)O3材料的相结构(均为钙钛矿结构),但是PbO过量太多,会出现过烧现象及气孔等,PbO过量为5%mol时结晶最好。测量了样品的密度、电阻率、压电系数以及介电性能,对这些测量结果的研究表明采用850℃预烧、1 250℃终烧的烧结工艺,PbO过量为5%mol的Pb(Zr0.52Ti0.48)O3压电陶瓷致密性好,密度最大,且具有良好的介电与压电性能,其压电系数最大为322 pC/N。 展开更多
关键词 压电陶瓷 固相反应 pb(zr0.52ti0.48)o3 压电系数
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以TiO_2粉体为钛源水热合成Pb(Zr_(0.52)Ti_(0.48))O_3晶粒机理 被引量:1
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作者 李涛 彭同江 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第6期1092-1095,共4页
用水热法合成了Pb(Zr0.52Ti0.48)O3(PZT)超细晶粒。通过对合成粉晶体的物相与晶体形貌的表征和对生成物中TiO2残余量的测定,初步分析了PZT粉晶粒形成的机理。在反应初期,随着温度的升高,TiO2粒子逐渐溶解。进入溶液的钛氧基团与溶液中... 用水热法合成了Pb(Zr0.52Ti0.48)O3(PZT)超细晶粒。通过对合成粉晶体的物相与晶体形貌的表征和对生成物中TiO2残余量的测定,初步分析了PZT粉晶粒形成的机理。在反应初期,随着温度的升高,TiO2粒子逐渐溶解。进入溶液的钛氧基团与溶液中的羟基相作用发生羟基化反应,形成钛的氢氧化物。钛与锆的氢氧化物相互作用,形成生长基元,它们与Pb2+离子一起在PZT晶核生长界面上叠合、脱水、结晶,从而使PZT晶粒长大。 展开更多
关键词 无机非金属材料 pb(zr0.52ti0.48)o3 水热法 二氧化钛 形成机理
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溶胶-凝胶法制备纳米Pb(Zr_(0.52)Ti_(0.48))O_3 被引量:6
4
作者 郭宏霞 刘雅言 +3 位作者 王岚 曾雄辉 郝先 李莹 《应用化学》 CAS CSCD 北大核心 2002年第12期1166-1169,共4页
以醋酸铅 ,硝酸氧锆 ,钛酸四丁酯为原料用溶胶 -凝胶法制备了纳米 Pb( Zr0 .52 Ti0 .48) O3 ( PZT)。结果表明 ,随溶剂中乙二醇单甲醚与水的比例的增大 ,PZT粉体的晶化温度增高 ,晶粒的粒径尺寸也增大 ,当V( C3 H8O2 ) / V( H2 O) =4 .... 以醋酸铅 ,硝酸氧锆 ,钛酸四丁酯为原料用溶胶 -凝胶法制备了纳米 Pb( Zr0 .52 Ti0 .48) O3 ( PZT)。结果表明 ,随溶剂中乙二醇单甲醚与水的比例的增大 ,PZT粉体的晶化温度增高 ,晶粒的粒径尺寸也增大 ,当V( C3 H8O2 ) / V( H2 O) =4 .4 7时 ,不仅凝胶完成时间短 ,且可得到粒度分布集中、晶化温度低的 PZT粉体。用原子力显微镜测定 PZT的粒径为 6 0~ 70 nm,用 TG-DTA分析确定在 4 43℃即可发生晶化反应 ,在 5 0 0℃下结晶完善。通过对不同温度下热处理的粉体的红外光谱和 X射线衍射的分析 ,对溶胶 -凝胶法制备 PZT粉体形成钙钛矿结构的过程进行了研究。 展开更多
关键词 pb(zr0.52ti0.48)o3 锆钛酸铅 溶胶-凝胶法 纳米晶 压电陶瓷
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二乙醇胺辅助溶胶-水热法低温合成四方形貌Pb(Zr_(0.52)Ti_(0.48))O_3粉体 被引量:2
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作者 余占军 胡艳华 +1 位作者 王玉卓 姚海云 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第5期1325-1329,共5页
以醋酸铅、异丙醇钛、正丙醇锆为主要实验原料,采用改进的溶胶-水热复合法,在较低温度下制备出了四方形貌的Pb(Zr0.52Ti0.48)O3[简称PZT]纳米级粉体。探讨了二乙醇胺和水热反应温度对粉体结晶过程、粉体形貌、颗粒尺寸的影响。实验结果... 以醋酸铅、异丙醇钛、正丙醇锆为主要实验原料,采用改进的溶胶-水热复合法,在较低温度下制备出了四方形貌的Pb(Zr0.52Ti0.48)O3[简称PZT]纳米级粉体。探讨了二乙醇胺和水热反应温度对粉体结晶过程、粉体形貌、颗粒尺寸的影响。实验结果表明,二乙醇胺能够显著降低水热合成温度,有助于粉体在低温条件下合成。随着水热反应温度由150℃逐渐升高至200℃,PZT粉体由非晶态逐渐转变成含有少量杂质的四方相,最后形成了纯的四方相结构。粉体颗粒尺寸逐渐变小。当水热反应温度为180℃时,具有单一四方相结构的Pb(Zr0.52Ti0.48)O3粉体呈现四方形貌,且团聚不明显。 展开更多
关键词 溶胶-水热法 pb(zr0.52ti0.48)o3 二乙醇胺 四方形貌
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Fabrication and Magnetic Properties of Composite Ni_(0.5)Zn_(0.5)Fe_2O_4/Pb(Zr_(0.52)Ti_(0.48))O_3 Nanofibers by Electrospinning 被引量:1
6
作者 沈湘黔 《Journal of Wuhan University of Technology(Materials Science)》 SCIE EI CAS 2011年第3期384-387,共4页
One-dimensional and quasi-one-dimensional nanostructure materials are promising building blocks for electromagnetic devices and nanosystems.In this work,the composite Ni0.5Zn0.5Fe2O4(NZFO)/ Pb(Zr0.52Ti0.48)O3(PZT... One-dimensional and quasi-one-dimensional nanostructure materials are promising building blocks for electromagnetic devices and nanosystems.In this work,the composite Ni0.5Zn0.5Fe2O4(NZFO)/ Pb(Zr0.52Ti0.48)O3(PZT) nanofibers with average diameters about 65 nm are prepared by electrospinning from poly(vinyl pyrrolidone) (PVP) and metal salts.The precursor composite NZFO/PZT/PVP nanofibers and the subsequent calcined NZFO/PZT nanofibers are investigated by Fourier transform infrared spectroscopy (FT- IR) ,X-ray diffraction (XRD),scanning electron microscopy (SEM).The magnetic properties for nanofibers are measured by vibrating sample magnetometer(VSM).The NZFO/PZT nanofibers obtained at calcination temperature of 900 °C for 2 h consist of the ferromagnetic spinel NZFO and ferroelectric perovskite PZT phases,which are constructed from about 37 nm NZFO and 17 nm PZT grains.The saturation magnetization of these NZFO/PZT nanofibers increases with increasing calcination temperature and contents of NZFO in the composite. 展开更多
关键词 nanofiber Ni0.5Zn0.5Fe2o4 pb(zr0.52ti0.48)o3 composite electrospinning
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烧结温度和升温速率对Pb(Sb1/3Mn2/3)0.05Zr0.47Ti0.48O3压电陶瓷性能的影响 被引量:6
7
作者 杨坚 严继康 +3 位作者 康昆勇 徐腾威 易健宏 甘国友 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第4期962-967,共6页
采用传统固相法制备了Pb(Sb_(1/3)Mn_(2/3))_(0.05)Zr_(0.47)Ti_(0.48)O_3(PMS-PZT)压电陶瓷。利用XRD、SEM和EDS等研究PMS-PZT陶瓷体系在烧结过程中形成的过渡液相和形成过渡液相温度(1100℃)附近的升温速率对陶瓷结构、压电和介电性... 采用传统固相法制备了Pb(Sb_(1/3)Mn_(2/3))_(0.05)Zr_(0.47)Ti_(0.48)O_3(PMS-PZT)压电陶瓷。利用XRD、SEM和EDS等研究PMS-PZT陶瓷体系在烧结过程中形成的过渡液相和形成过渡液相温度(1100℃)附近的升温速率对陶瓷结构、压电和介电性能的影响。结果表明:不同烧结温度下,所有样品均为单一的钙钛矿四方相,过渡液相不会对相的结构有影响,但是当烧结温度较低时,过渡液相在烧结后期以玻璃相在晶界附近富集,对陶瓷的压电和介电性能有很大影响。随着烧结温度和升温速率的升高,PMS-PZT晶粒尺寸增大,晶粒均匀性和规则性得以改善,晶化质量得到提高;d33测试和阻抗分析测试结果表明PMS-PZT样品在1100℃附近以7℃·min-1升温速率并在1250℃烧结时具有最好的压电和介电性能:d33=313 C/N,kp=0.59,Qm=1481,εr=1437,tanδ=0.53%。 展开更多
关键词 pb(Sb1/3Mn2/3)0.05zr0.47ti0.48o3 压电陶瓷 烧结温度 升温速率
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Influence of Annealing Time on the Microstructure and Properties of Pb(Zr_(0.53)Ti_(0.47))O_3 Thin Films 被引量:1
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作者 HUANG Ling MAO Wei +2 位作者 HUANG Zhixiong SHI Minxian MEI Qinlin 《Journal of Wuhan University of Technology(Materials Science)》 SCIE EI CAS 2012年第1期88-91,共4页
The PZT thin films were prepared on (111)- Pt/Ti/SiO2/Si substrates by sol-gel method, and lead acetate [Pb(CH3COO)2], zirconium nitrate [Zr(NO3)4] were used as raw materials. The X-ray diffractometer (XRD) an... The PZT thin films were prepared on (111)- Pt/Ti/SiO2/Si substrates by sol-gel method, and lead acetate [Pb(CH3COO)2], zirconium nitrate [Zr(NO3)4] were used as raw materials. The X-ray diffractometer (XRD) and scanning electron microscopy (SEM) were used to characterize the phase structure and surface morphology of the films annealed at 650 ~C but with different holding time. Ferroelectric and dielectric properties of the films were measured by the ferroelectric tester and the precision impedance analyzer, respectively. The PZT thin films were constructed with epoxy resin as a composite structure, and the damping properties of the composite were tested by dynamic mechanical analyzer (DMA). The results show that the films annealed for 90 minutes present a dense and compact crystal arrangement on the surface; moreover, the films also achieve their best electric quality. At the same time, the largest damping loss factor of the composite constructed with the 90 mins-annealed film shows peak value of 0.9, hi^her than the pure epoxy resin. 展开更多
关键词 sol-gel method pb(zr0.53ti0.47)o3 thin film surface feature ferroelectric and dielectricproperty damping property
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在LaNiO_3-Pt复合电极上Pb(Zr,Ti)O_3铁电薄膜及其成分梯度薄膜的制备和研究 被引量:1
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作者 李建康 姚熹 《无机化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2005年第5期757-762,共6页
LaNiO3 (LNO) thin films were prepared on Pt(111) / Ti / SiO2 / Si substrate by metal-organic decomposition (MOD) method. Pb(Zr,Ti)O3 ferroelectric thin films and their compositionally graded thin films were prepared o... LaNiO3 (LNO) thin films were prepared on Pt(111) / Ti / SiO2 / Si substrate by metal-organic decomposition (MOD) method. Pb(Zr,Ti)O3 ferroelectric thin films and their compositionally graded thin films were prepared on LNO / Pt / Ti / SiO2 /Si substrates by Sol-gel method. The composition depth profile of a typical up-graded film was determined by using a combination of Auger Electron Spectroscopy (ASE) and Ar Ion Etching. The results confirm that the processing method produces graded composition changes. XRD analysis showed that the graded thin films possessed composite structure of tetragonal and rhombohedral. The dielectric constants of Up-graded and Down-graded thin films were higher than that of each thin film unit. The dielectric constants were 277 and 269 at 10 kHz, respectively. The loss tangents were 0.019 and 0.018 at 10 kHz, respectively. The Hysteresis loops showed that the remanent polarizations of graded thin films were higher than that of each thin film unit, but the coercive fields were smaller. The remanent polarizations of Up-graded and Down-graded thin films were 30.06 and 26.96 μC·cm-2, respectively. The coercive fields were 54.14, 54.23 kV·cm-1, respectively. The pyroelectric coefficients of Up-graded and Down-graded thin films were 4.62, 2.51×10-8 C·cm-2·K-1 at room temperature, respectively. They were higher than that of each thin film unit. 展开更多
关键词 复合电极 梯度薄膜 铁电薄膜 analysis SoL-GEL profile 制备 成分 LANIo3 and The the unit room MET was Ion XRD at
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x射线衍射研究单晶Si衬底上低温生长的LaNiO3/Pb(Zr0.52Ti0.48)O3/LaNiO3铁电电容器结构
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作者 陈效军 《巢湖师专学报》 1999年第3期45-46,共2页
通过脉冲激光沉积,于Si(001)单晶衬底上在550℃的衬底温度下生长了LaNiO3/Pb(Zr0.52Ti0.48)O3/LaNiO3/SrtiO3/TiN/Si异质结构。利用四圆x射线分析了该多层膜结构中各层曲轴向外延关系。
关键词 X射线衍射 单晶Si LaNio3/pb(zr0.52ti0.48)o3/LaNio3 铁电电容器 脉冲激光沉积
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Sol-Gel Based Soft Lithography and Piezoresponse Force Microscopy of Patterned Pb(Zr_(0.52)Ti _(0.48))O_3 Microstructures
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作者 Lining Lani Shuhong Xie +1 位作者 Li Tan Jiangyu Li 《Journal of Materials Science & Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2010年第5期439-444,共6页
Sol-gel based soft lithography technique has been developed to pattern a variety of ferroelectric Pb(Zr0.52Ti0.48)O3(PZT) microstructures,with feature size approaching 180 nm and good pattern transfer between the ... Sol-gel based soft lithography technique has been developed to pattern a variety of ferroelectric Pb(Zr0.52Ti0.48)O3(PZT) microstructures,with feature size approaching 180 nm and good pattern transfer between the master mold and patterned films.X-ray diffraction and high-resolution transmission electron microscopy confirm the perovskite structure of the patterned PZT.Piezoresponse force microscopy(PFM) and switching spectroscopy piezoresponse force microscopy(SSPFM) confirm their piezoelectricity and ferroelectricity.Piezoresponse as high as 2.75 nm has been observed,comparable to typical PZT films.The patterned PZT microstructures are promising for a wide range of device applications. 展开更多
关键词 Soft lithography Piezoresponse force microscopy pb(zr0.52ti0.48)o3
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Comparison of Properties of Pt/PZT/Pt and Ru/PZT/Pt Ferroelectric Capacitors
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作者 贾泽 任天令 +4 位作者 刘天志 胡洪 张志刚 谢丹 刘理天 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 2006年第4期1042-1045,共4页
Pb(Zr0.4Ti0.6)O3 film prepared by sol-gel spin coating on a Pt/Ti/SiO2/Si substrate is applied to ferroelectric capacitors with Pt or Ru as the top electrode. For the Pt/PZT/Pt and Ru/PZT/Pt ferroelectric capacitors... Pb(Zr0.4Ti0.6)O3 film prepared by sol-gel spin coating on a Pt/Ti/SiO2/Si substrate is applied to ferroelectric capacitors with Pt or Ru as the top electrode. For the Pt/PZT/Pt and Ru/PZT/Pt ferroelectric capacitors, although with the same ferroelectric film, different top electrode materials incur different properties of PZT capacitors, such as fatigue, leakage, remanent and saturated polarization, except the similar crystal orientations of the PZT film. After 10^10 switch cycles, the remanent polarizations of the Ru/PZT/Pt and Pt/PZT/Pt capacitors decrease to 70% and 84%, respectively. The leakage current density of the latter increases obviously at positive bias after 108 switch cycles, compared with the former. Different materials for the top electrode bring different conditions at the PZT/top electrode interface. The influence of oxygen-vacancy concentration at the PZT/electrode interface and the influence of oxides of the electrode material at the PZT/electrode interface to charge injection can explain the difference of properties of the PZT capacitors with Pt or Ru as the top electrodes. 展开更多
关键词 CHEMICAL-VAPoR-DEPoSItioN pb(zr ti)o-3 THIN-filmS ELECTRoDES FAtiGUE MEMoRY PoLARIZAtioN tiTANATE SILICoN
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采用MOD工艺制备PZT压电薄膜及其性能的研究
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作者 张之圣 王玉东 刘如净 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2000年第7期12-14,共3页
文中比较详细地研究了采用金属有机化合物热分解 (MOD)法制备锆钛酸铅Pb(Zr0 52Ti0 4 8)O3铁电薄膜的工艺及PZT薄膜的介电性能。利用XRD分析了薄膜的结晶过程 ,制得具有钙钛矿结构的PZT薄膜 ,铂电极有利于钙钛矿相形成。薄膜的介电... 文中比较详细地研究了采用金属有机化合物热分解 (MOD)法制备锆钛酸铅Pb(Zr0 52Ti0 4 8)O3铁电薄膜的工艺及PZT薄膜的介电性能。利用XRD分析了薄膜的结晶过程 ,制得具有钙钛矿结构的PZT薄膜 ,铂电极有利于钙钛矿相形成。薄膜的介电温谱研究结果表明 :薄膜的居里温度约为 43 0℃ (1kHz)。 展开更多
关键词 金属有机化合物 锆钛酸铅 铁电薄膜 MoD工艺
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水热环境下PZT纳米晶的结晶与生长习性 被引量:5
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作者 李涛 彭同江 杨世源 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2007年第2期196-197,200,共3页
采用TiO2,ZrOCl2.8H2O,Pb(NO3)2为原料,KOH为矿化剂,在200℃,KOH浓度分别为1 mol/L,3 mol/L,5 mol/L,7 mol/L时,水热合成锆钛酸铅纳米晶体。结果表明,KOH浓度严重影响了Pb(Zr0.52Ti0.48)O3(PZT)纳米晶的结晶、生长习性与晶体形貌。当KO... 采用TiO2,ZrOCl2.8H2O,Pb(NO3)2为原料,KOH为矿化剂,在200℃,KOH浓度分别为1 mol/L,3 mol/L,5 mol/L,7 mol/L时,水热合成锆钛酸铅纳米晶体。结果表明,KOH浓度严重影响了Pb(Zr0.52Ti0.48)O3(PZT)纳米晶的结晶、生长习性与晶体形貌。当KOH浓度较低时,合成了PZT纳米晶片;当KOH浓度较高时,合成了PZT纳米四方晶柱。合成的纳米晶晶粒度为30 nm,纳米晶粒间通过层叠方式进行生长,成为较大的PZT多晶颗粒。 展开更多
关键词 水热法 pb(zr0.52 ti0.48)o3(PZT) 纳米晶
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不同PZT复合温石棉纤维/水泥基材料压电性能 被引量:1
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作者 李璐 罗健林 +2 位作者 李秋义 孙胜伟 王旭 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2016年第2期281-285,共5页
通过研究4种煅烧温度对Pb(Zr0.52Ti0.48)O3(PZT)粉体粒径分布及晶体结构、陶瓷片微观形貌及压电性能的影响确定PZT最优合成条件。结合超声分散技术制备PZT/温石棉纤维/水泥材料(PZTCC),并分别测试复合粉体晶体结构及经压制极化后PZTCC... 通过研究4种煅烧温度对Pb(Zr0.52Ti0.48)O3(PZT)粉体粒径分布及晶体结构、陶瓷片微观形貌及压电性能的影响确定PZT最优合成条件。结合超声分散技术制备PZT/温石棉纤维/水泥材料(PZTCC),并分别测试复合粉体晶体结构及经压制极化后PZTCC复合片的压电性能。800℃时PZT钙钛矿特征最明显,晶粒饱满;相应PZT陶瓷片、PZTCC复合片均具有较高压电性能,其压电常数d33分别达119.2pC/N、32.5pC/N。 展开更多
关键词 煅烧温度 pb(zr0.52ti0.48)o3(PZT)微/纳米粉体 溶胶-凝胶法 温石棉纤维 PZT/水泥基复合材料 压电性能
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水热反应温度对锆钛酸铅微晶性质的影响 被引量:1
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作者 李涛 彭同江 杨世源 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2015年第1期73-75,80,共4页
水热合成锆钛酸铅(PZT)微晶体,研究了锆钛酸铅微晶体的晶体结构、晶粒形态随水热反应温度的变化规律。研究结果表明,当水热反应温度从125℃变化到200℃时,均有效合成四方晶相的钙钛矿结构的PZT晶体;随着水热反应温度的升高,PZT晶体的四... 水热合成锆钛酸铅(PZT)微晶体,研究了锆钛酸铅微晶体的晶体结构、晶粒形态随水热反应温度的变化规律。研究结果表明,当水热反应温度从125℃变化到200℃时,均有效合成四方晶相的钙钛矿结构的PZT晶体;随着水热反应温度的升高,PZT晶体的四方度(晶格参数c/a比)减小,晶粒尺寸减小,颗粒尺寸增大,晶体颗粒由立方体状逐渐变为球状。 展开更多
关键词 水热合成 温度 pb(zr0.52ti0.48)o3 晶体结构 机理
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射频磁控溅射制备PZT铁电薄膜的工艺研究 被引量:3
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作者 毕振兴 张之圣 +2 位作者 胡明 樊攀峰 刘志刚 《硅酸盐通报》 CAS CSCD 北大核心 2005年第4期6-9,共4页
在SiO2/Si基片上采用直流对靶溅射技术制备出Pt/Ti底电极;应用射频磁控溅射方法,利用快速热处理(RTA)工艺,制备出了具有良好铁电性能的Pb(Zr0.52Ti0.48)O3铁电薄膜。将样品进行10min快速热退火处理,退火温度700℃。测试分析表明:薄膜厚... 在SiO2/Si基片上采用直流对靶溅射技术制备出Pt/Ti底电极;应用射频磁控溅射方法,利用快速热处理(RTA)工艺,制备出了具有良好铁电性能的Pb(Zr0.52Ti0.48)O3铁电薄膜。将样品进行10min快速热退火处理,退火温度700℃。测试分析表明:薄膜厚度比较均匀、表面基本平整、没有裂纹和孔洞、致密性好、薄膜样品的矫顽场强(Ec)为28.6kV/cm,剩余极化强度(Pr)为18.7μC/cm2,自发极化强度(Ps)为37.5μC/cm2,是制备铁电薄膜存储器的优选材料。 展开更多
关键词 PZT 直流对靶溅射 射频磁控溅射 锆钛酸铅薄膜 钙钛矿相 电滞回线 射频磁控溅射方法 PZT铁电薄膜 溅射制备 工艺研究
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Memory characteristics of Au/PZT/BIT/p-Si ferroelectric diode
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作者 王华 于军 +4 位作者 董晓敏 周文利 王耘波 郑远开 赵建宏 《Science China(Technological Sciences)》 SCIE EI CAS 2001年第3期274-279,共6页
A ferroelectric memory diode consisting of Au/PZT/BIT/p-Si multilayer configuration has been fabricated by pulsed laser deposition (PLD) technique. The ferroelectric properties and the memory characteristics are inves... A ferroelectric memory diode consisting of Au/PZT/BIT/p-Si multilayer configuration has been fabricated by pulsed laser deposition (PLD) technique. The ferroelectric properties and the memory characteristics are investigated. The P-E curve of the PZT/BIT/p-Si films system had an asymmetry saturated hysteresis loop withP t=15 μC/cm2 andE c=48 kV/cm, and the decay in remanent polarization was only 10% after 109 switching cycles, meanwhile the increase in coercive field was 12%. The C-V hysteresis loop and the I-V curve showed a memory effect derived from the ferroelectric polarization of PZT/BIT films, and the current density was 6.7×10?8 A/cm2 at a voltage of +4V. Our diode had nonvolatile and nondestructive memory readout operation. There was a read current disparity of 0.05 μA for logic “1” and logic “0” at a read voltage of +2V, and the stored logical value (“1” or “0”) could be read out in 30 min. 展开更多
关键词 ferroeletric films memory diode pb(zr0.52ti0.48)o3 BI4ti3o12
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PZT薄膜的相转变与晶格参数的研究 被引量:1
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作者 何锦林 谭红 汪大成 《贵州科学》 2000年第1期11-15,共5页
研究 Sol- gel制备 PZT薄膜材料相结构与晶格参数 ,研究 PZT薄膜相变、衬底与温度关系和不同 Zr/ Ti比Pb(Zrx Ti1-x) O3 (x=0 .2~ 0 .8)。结果表明 :PZT薄膜从烧绿石相向钙钛矿相转变的温度在 Pt衬底上为 6 0 0°C,在不锈钢上为 6 ... 研究 Sol- gel制备 PZT薄膜材料相结构与晶格参数 ,研究 PZT薄膜相变、衬底与温度关系和不同 Zr/ Ti比Pb(Zrx Ti1-x) O3 (x=0 .2~ 0 .8)。结果表明 :PZT薄膜从烧绿石相向钙钛矿相转变的温度在 Pt衬底上为 6 0 0°C,在不锈钢上为 6 50°C。PZT铁电体薄膜的晶格参数和晶格畸变随 Zr/ Ti比的不同而变化 ;在铁电四方相区 ,随 Zr含量增加 ,a=b轴逐渐增大 ,c轴稍有缩短 ,四方晶系发生畸变 ;当 x>0 .5时 ,没有检测到单位晶胞的畸变 ;在准同型相界附近 ,晶胞参数发生突变。 展开更多
关键词 PZT薄膜 相转变 晶格参数 铁电材料 压电材料
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