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后退火温度对溅射沉积Pb(Zr_(0.52)Ti_(0.48))O_3铁电薄膜结构和性能的影响 被引量:6
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作者 赖珍荃 李新曦 +3 位作者 俞进 王根水 郭少令 褚君浩 《南昌大学学报(理科版)》 CAS 北大核心 2003年第1期26-28,44,共4页
在具有Ti缓冲层的Pt(111)底电极上,用射频溅射工艺在较低的衬底温度(370℃)和纯Ar气氛中沉积Pb(Zr0.52Ti0.48)O3(PZT)薄膜,沉积过程中基片架作15°摇摆以提高膜厚的均匀性。然后将样品在大气中进行5min快速热退火处理,退火温度550-... 在具有Ti缓冲层的Pt(111)底电极上,用射频溅射工艺在较低的衬底温度(370℃)和纯Ar气氛中沉积Pb(Zr0.52Ti0.48)O3(PZT)薄膜,沉积过程中基片架作15°摇摆以提高膜厚的均匀性。然后将样品在大气中进行5min快速热退火处理,退火温度550-680℃。用XRD、SEM分析薄膜的微结构,RT66A标准铁电测试系统测量样品的铁电和介电性能。结果表明,所沉积的Pt为(111)取向,仅当后退火温度高于580℃,沉积在Pt(111)上的PZT薄膜才能形成钙钛矿结构的铁电相,退火温度在580-600℃时结晶为(110)择优取向,退火温度高于600℃时结晶为(111)择优取向。PZT薄膜的极化强度随退火温度的升高而增加,但退火温度超过650℃时漏电流急剧上升,因此退火处理的温度对PZT薄膜的结构和性能有决定性的影响。 展开更多
关键词 PZT铁电薄膜 薄膜结构 铁电性能 介电性能 后退火温度 射频磁控溅射 pb(zr0.52ti0.48)o3薄膜
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PbZr_(0.52)Ti_(0.48)O_3薄膜红外椭圆偏振光谱研究 被引量:2
2
作者 胡志高 赵强 +4 位作者 黄志明 王根水 孟祥建 林铁 褚君浩 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2003年第1期59-62,共4页
用磁控溅射法在Pt/Ti/SiO2 /Si衬底上制备了PbZr0 .52 Ti0 .4 8O3(PZT)薄膜 .XRD结果表明经过退火后的PZT薄膜呈现多晶结构 .通过红外椭圆偏振光谱仪测量了λ为 2 .5~ 12 .6 μm范围内PZT薄膜的椭偏光谱 ,采用经典色散模型拟合获得PZT... 用磁控溅射法在Pt/Ti/SiO2 /Si衬底上制备了PbZr0 .52 Ti0 .4 8O3(PZT)薄膜 .XRD结果表明经过退火后的PZT薄膜呈现多晶结构 .通过红外椭圆偏振光谱仪测量了λ为 2 .5~ 12 .6 μm范围内PZT薄膜的椭偏光谱 ,采用经典色散模型拟合获得PZT薄膜的红外光学常数 ,同时拟合得到未经处理的PZT薄膜和退火后PZT薄膜的厚度分别为 45 4.2nm和 45 0 .3nm .最后通过拟合计算得到结晶PZT薄膜的静态电荷值为 |q|=1.76 9± 0 .0 2 4.这说明在磁控溅射法制备的PZT薄膜中 ,电荷的转移是不完全的 . 展开更多
关键词 pbzr0.52ti0.48o3薄膜 红外椭圆偏振光谱 光学常数 静态电荷 铁电薄膜 锆钛酸铅
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PbO对Pb(Zr_(0.52)Ti_(0.48))O_3压电陶瓷性能的影响 被引量:2
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作者 陈江丽 王斌科 《空军工程大学学报(自然科学版)》 CSCD 北大核心 2008年第4期91-94,共4页
采用固相反应的方法制备了Pb(Zr0.52Ti0.48)O3(PZT)压电陶瓷,研究了过量PbO对Pb(Zr0.52Ti0.48)O3压电陶瓷性能的影响。通过XRD和SEM研究了PbO过量对Pb(Zr0.52Ti0.48)O3压电陶瓷的晶相结构及显微形貌的影响,研究结果表明PbO过量不会影响P... 采用固相反应的方法制备了Pb(Zr0.52Ti0.48)O3(PZT)压电陶瓷,研究了过量PbO对Pb(Zr0.52Ti0.48)O3压电陶瓷性能的影响。通过XRD和SEM研究了PbO过量对Pb(Zr0.52Ti0.48)O3压电陶瓷的晶相结构及显微形貌的影响,研究结果表明PbO过量不会影响Pb(Zr0.52Ti0.48)O3材料的相结构(均为钙钛矿结构),但是PbO过量太多,会出现过烧现象及气孔等,PbO过量为5%mol时结晶最好。测量了样品的密度、电阻率、压电系数以及介电性能,对这些测量结果的研究表明采用850℃预烧、1 250℃终烧的烧结工艺,PbO过量为5%mol的Pb(Zr0.52Ti0.48)O3压电陶瓷致密性好,密度最大,且具有良好的介电与压电性能,其压电系数最大为322 pC/N。 展开更多
关键词 压电陶瓷 固相反应 pb(zr0.52ti0.48)o3 压电系数
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以TiO_2粉体为钛源水热合成Pb(Zr_(0.52)Ti_(0.48))O_3晶粒机理 被引量:1
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作者 李涛 彭同江 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第6期1092-1095,共4页
用水热法合成了Pb(Zr0.52Ti0.48)O3(PZT)超细晶粒。通过对合成粉晶体的物相与晶体形貌的表征和对生成物中TiO2残余量的测定,初步分析了PZT粉晶粒形成的机理。在反应初期,随着温度的升高,TiO2粒子逐渐溶解。进入溶液的钛氧基团与溶液中... 用水热法合成了Pb(Zr0.52Ti0.48)O3(PZT)超细晶粒。通过对合成粉晶体的物相与晶体形貌的表征和对生成物中TiO2残余量的测定,初步分析了PZT粉晶粒形成的机理。在反应初期,随着温度的升高,TiO2粒子逐渐溶解。进入溶液的钛氧基团与溶液中的羟基相作用发生羟基化反应,形成钛的氢氧化物。钛与锆的氢氧化物相互作用,形成生长基元,它们与Pb2+离子一起在PZT晶核生长界面上叠合、脱水、结晶,从而使PZT晶粒长大。 展开更多
关键词 无机非金属材料 pb(zr0.52ti0.48)o3 水热法 二氧化钛 形成机理
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Fabrication and Magnetic Properties of Composite Ni_(0.5)Zn_(0.5)Fe_2O_4/Pb(Zr_(0.52)Ti_(0.48))O_3 Nanofibers by Electrospinning 被引量:1
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作者 沈湘黔 《Journal of Wuhan University of Technology(Materials Science)》 SCIE EI CAS 2011年第3期384-387,共4页
One-dimensional and quasi-one-dimensional nanostructure materials are promising building blocks for electromagnetic devices and nanosystems.In this work,the composite Ni0.5Zn0.5Fe2O4(NZFO)/ Pb(Zr0.52Ti0.48)O3(PZT... One-dimensional and quasi-one-dimensional nanostructure materials are promising building blocks for electromagnetic devices and nanosystems.In this work,the composite Ni0.5Zn0.5Fe2O4(NZFO)/ Pb(Zr0.52Ti0.48)O3(PZT) nanofibers with average diameters about 65 nm are prepared by electrospinning from poly(vinyl pyrrolidone) (PVP) and metal salts.The precursor composite NZFO/PZT/PVP nanofibers and the subsequent calcined NZFO/PZT nanofibers are investigated by Fourier transform infrared spectroscopy (FT- IR) ,X-ray diffraction (XRD),scanning electron microscopy (SEM).The magnetic properties for nanofibers are measured by vibrating sample magnetometer(VSM).The NZFO/PZT nanofibers obtained at calcination temperature of 900 °C for 2 h consist of the ferromagnetic spinel NZFO and ferroelectric perovskite PZT phases,which are constructed from about 37 nm NZFO and 17 nm PZT grains.The saturation magnetization of these NZFO/PZT nanofibers increases with increasing calcination temperature and contents of NZFO in the composite. 展开更多
关键词 nanofiber Ni0.5Zn0.5Fe2o4 pb(zr0.52ti0.48)o3 composite electrospinning
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PbZr_(0.52)Ti_(0.48)O_3陶瓷材料的微结构和疲劳性能研究
6
作者 戴玉蓉 包鹏 +1 位作者 沈惠敏 王业宁 《哈尔滨理工大学学报》 CAS 2002年第6期94-95,共2页
先给出了PbZr_0.52Ti_0.48O_3(PZT)陶瓷材料在低温下变温XRD分析结果,证明了超晶格的出现与材料的微结构变化有关.测试了该样品在低温下的疲劳性能.与超晶格出现以前相比,其疲劳寿命有所提高,这对于PZT材料的应用有着重要的意义。
关键词 pbzr0.52ti0.48o3陶瓷材料 微结构 疲劳性能 相变 超晶格 铁电材料 钛酸铅锆陶瓷
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溶胶-凝胶法制备纳米Pb(Zr_(0.52)Ti_(0.48))O_3 被引量:6
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作者 郭宏霞 刘雅言 +3 位作者 王岚 曾雄辉 郝先 李莹 《应用化学》 CAS CSCD 北大核心 2002年第12期1166-1169,共4页
以醋酸铅 ,硝酸氧锆 ,钛酸四丁酯为原料用溶胶 -凝胶法制备了纳米 Pb( Zr0 .52 Ti0 .48) O3 ( PZT)。结果表明 ,随溶剂中乙二醇单甲醚与水的比例的增大 ,PZT粉体的晶化温度增高 ,晶粒的粒径尺寸也增大 ,当V( C3 H8O2 ) / V( H2 O) =4 .... 以醋酸铅 ,硝酸氧锆 ,钛酸四丁酯为原料用溶胶 -凝胶法制备了纳米 Pb( Zr0 .52 Ti0 .48) O3 ( PZT)。结果表明 ,随溶剂中乙二醇单甲醚与水的比例的增大 ,PZT粉体的晶化温度增高 ,晶粒的粒径尺寸也增大 ,当V( C3 H8O2 ) / V( H2 O) =4 .4 7时 ,不仅凝胶完成时间短 ,且可得到粒度分布集中、晶化温度低的 PZT粉体。用原子力显微镜测定 PZT的粒径为 6 0~ 70 nm,用 TG-DTA分析确定在 4 43℃即可发生晶化反应 ,在 5 0 0℃下结晶完善。通过对不同温度下热处理的粉体的红外光谱和 X射线衍射的分析 ,对溶胶 -凝胶法制备 PZT粉体形成钙钛矿结构的过程进行了研究。 展开更多
关键词 pb(zr0.52ti0.48)o3 锆钛酸铅 溶胶-凝胶法 纳米晶 压电陶瓷
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二乙醇胺辅助溶胶-水热法低温合成四方形貌Pb(Zr_(0.52)Ti_(0.48))O_3粉体 被引量:2
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作者 余占军 胡艳华 +1 位作者 王玉卓 姚海云 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第5期1325-1329,共5页
以醋酸铅、异丙醇钛、正丙醇锆为主要实验原料,采用改进的溶胶-水热复合法,在较低温度下制备出了四方形貌的Pb(Zr0.52Ti0.48)O3[简称PZT]纳米级粉体。探讨了二乙醇胺和水热反应温度对粉体结晶过程、粉体形貌、颗粒尺寸的影响。实验结果... 以醋酸铅、异丙醇钛、正丙醇锆为主要实验原料,采用改进的溶胶-水热复合法,在较低温度下制备出了四方形貌的Pb(Zr0.52Ti0.48)O3[简称PZT]纳米级粉体。探讨了二乙醇胺和水热反应温度对粉体结晶过程、粉体形貌、颗粒尺寸的影响。实验结果表明,二乙醇胺能够显著降低水热合成温度,有助于粉体在低温条件下合成。随着水热反应温度由150℃逐渐升高至200℃,PZT粉体由非晶态逐渐转变成含有少量杂质的四方相,最后形成了纯的四方相结构。粉体颗粒尺寸逐渐变小。当水热反应温度为180℃时,具有单一四方相结构的Pb(Zr0.52Ti0.48)O3粉体呈现四方形貌,且团聚不明显。 展开更多
关键词 溶胶-水热法 pb(zr0.52ti0.48)o3 二乙醇胺 四方形貌
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烧结温度和升温速率对Pb(Sb1/3Mn2/3)0.05Zr0.47Ti0.48O3压电陶瓷性能的影响 被引量:6
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作者 杨坚 严继康 +3 位作者 康昆勇 徐腾威 易健宏 甘国友 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第4期962-967,共6页
采用传统固相法制备了Pb(Sb_(1/3)Mn_(2/3))_(0.05)Zr_(0.47)Ti_(0.48)O_3(PMS-PZT)压电陶瓷。利用XRD、SEM和EDS等研究PMS-PZT陶瓷体系在烧结过程中形成的过渡液相和形成过渡液相温度(1100℃)附近的升温速率对陶瓷结构、压电和介电性... 采用传统固相法制备了Pb(Sb_(1/3)Mn_(2/3))_(0.05)Zr_(0.47)Ti_(0.48)O_3(PMS-PZT)压电陶瓷。利用XRD、SEM和EDS等研究PMS-PZT陶瓷体系在烧结过程中形成的过渡液相和形成过渡液相温度(1100℃)附近的升温速率对陶瓷结构、压电和介电性能的影响。结果表明:不同烧结温度下,所有样品均为单一的钙钛矿四方相,过渡液相不会对相的结构有影响,但是当烧结温度较低时,过渡液相在烧结后期以玻璃相在晶界附近富集,对陶瓷的压电和介电性能有很大影响。随着烧结温度和升温速率的升高,PMS-PZT晶粒尺寸增大,晶粒均匀性和规则性得以改善,晶化质量得到提高;d33测试和阻抗分析测试结果表明PMS-PZT样品在1100℃附近以7℃·min-1升温速率并在1250℃烧结时具有最好的压电和介电性能:d33=313 C/N,kp=0.59,Qm=1481,εr=1437,tanδ=0.53%。 展开更多
关键词 pb(Sb1/3Mn2/3)0.05zr0.47ti0.48o3 压电陶瓷 烧结温度 升温速率
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Pb(Zr_(0.4)Ti_(0.6))O_3电子结构的第一性原理研究 被引量:4
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作者 赵庆勋 王书彪 +1 位作者 关丽 刘保亭 《原子与分子物理学报》 CAS CSCD 北大核心 2007年第5期951-956,共6页
采用基于密度泛函理论的赝势平面波方法计算了Pb(Zr0.4Ti0.6)O3五层超晶胞的顺电相和铁电相的电子结构.由态密度、电子密度和能带结构的计算结果发现顺电相下钛氧八面体Ti-O6和锆氧八面体Zr-O6在铁电相中分裂为由1个O1离子和4个O2离子... 采用基于密度泛函理论的赝势平面波方法计算了Pb(Zr0.4Ti0.6)O3五层超晶胞的顺电相和铁电相的电子结构.由态密度、电子密度和能带结构的计算结果发现顺电相下钛氧八面体Ti-O6和锆氧八面体Zr-O6在铁电相中分裂为由1个O1离子和4个O2离子组成的金字塔结构Ti-O5和Zr-O5;与顺电相相比,铁电相中钛离子的3d电子和氧离子的2p电子存在更强的轨道杂化,这种杂化降低了离子间的短程排斥力,使得具有铁电性的四方结构更为稳定,而且钛离子与氧离子的相互作用对于铁电相Pb(Zr0.4Ti0.6)O3沿c轴自发极化的贡献大于锆离子与氧离子的相互作用;由电子密度的分布可推断立方结构的Pb-O键呈现离子键特征,而铁电相下Pb-O键则有较大的共价成分,铅离子与氧离子的这种轨道杂化对Pb(Zr0.4Ti0.6)O3的铁电性起重要作用.所得结果对深入理解Pb(Zr0.4Ti0.6)O3铁电性的微观机理具有参考价值. 展开更多
关键词 铁电体 pb(zr0.4 ti0.6)o3 电子结构 第一性原理
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冲击波作用下Pb(Zr_(0.95)Ti_(0.05))O_3铁电陶瓷去极化后电阻率动态特性 被引量:2
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作者 伍友成 刘高旻 +4 位作者 戴文峰 高志鹏 贺红亮 郝世荣 邓建军 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2017年第4期229-234,共6页
在冲击波压力作用下,极化Pb(Zr_(0.95)Ti_(0.05))O_3(PZT95/5)铁电陶瓷会发生铁电-反铁电相变失去极化,由于冲击波压力高、作用时间短,伴随材料去极化相变出现的瞬态电导特性难以准确测试.本文建立了新的实验方法,采用脉冲电容器作为冲... 在冲击波压力作用下,极化Pb(Zr_(0.95)Ti_(0.05))O_3(PZT95/5)铁电陶瓷会发生铁电-反铁电相变失去极化,由于冲击波压力高、作用时间短,伴随材料去极化相变出现的瞬态电导特性难以准确测试.本文建立了新的实验方法,采用脉冲电容器作为冲击波加载铁电陶瓷脉冲电源的输出负载,在冲击波压力约3.5 GPa的实验中直接测得铁电陶瓷的漏电流,计算得到PZT95/5铁电陶瓷去极化后的电阻率,变化范围为2.2×10~4—3.5×10~4?·cm;在实验数据的基础上,建立了动态电阻模型,对冲击波传播过程中PZT95/5铁电陶瓷去极化后的电阻率进行了分析,初步揭示了冲击波作用下PZT95/5铁电陶瓷去极化后电阻率的动态特性. 展开更多
关键词 pb (zr0.95ti0.05) o3 冲击波 去极化 电阻率
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磁控溅射工艺参数对Pb(Zr,Ti)O_3薄膜织构的影响 被引量:3
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作者 杨帆 孙跃 +1 位作者 李伟力 费维栋 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第1期60-62,共3页
利用RF磁控溅射法制备了Pb(Zr,Ti)O3(PZT)铁电薄膜,利用X射线衍射(XRD)法研究了薄膜的相组成及溅射工艺参数对薄膜织构的影响。结果表明,在小靶基距时,过高溅射功率不利于获得纯钙钛矿相的PZT铁电薄膜。溅射功率及溅射气压影响PZT薄膜... 利用RF磁控溅射法制备了Pb(Zr,Ti)O3(PZT)铁电薄膜,利用X射线衍射(XRD)法研究了薄膜的相组成及溅射工艺参数对薄膜织构的影响。结果表明,在小靶基距时,过高溅射功率不利于获得纯钙钛矿相的PZT铁电薄膜。溅射功率及溅射气压影响PZT薄膜的织构及其织构散漫度,提高溅射气压及溅射功率,(111)织构漫散度随之提高。在靶基距为80mm时,选择150W、0.7Pa的溅射工艺可获得具有最佳(100)织构的PZT薄膜。 展开更多
关键词 磁控溅射 pb(zr ti)o3薄膜 织构
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Pb(Zr,Ti)O_3薄膜微区残余应力的X射线面探扫描分析 被引量:2
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作者 杨帆 费维栋 +1 位作者 高忠民 蒋建清 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第7期1097-1101,共5页
根据在X射线二维衍射几何关系下建立的应力应变方程,提出了一种基于X射线多晶面探衍射仪系统分析射频磁控溅射制备的Pb(Zr,Ti)O3薄膜微区残余应力的测量方法,即通过基于X射线衍射圆锥形变的分析来表征薄膜的残余应力,试验结果表明薄膜... 根据在X射线二维衍射几何关系下建立的应力应变方程,提出了一种基于X射线多晶面探衍射仪系统分析射频磁控溅射制备的Pb(Zr,Ti)O3薄膜微区残余应力的测量方法,即通过基于X射线衍射圆锥形变的分析来表征薄膜的残余应力,试验结果表明薄膜所受为残余拉应力,同时利用X射线面探扫描方法评价了薄膜的残余应力分布。 展开更多
关键词 pb(zr ti)o3薄膜 X射线二维衍射 多晶面探衍射仪 残余应力
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Sol-gel法制备Pb(Zr_(0.53)Ti_(0.47))O_3铁电薄膜 被引量:1
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作者 郭冬云 毛薇 +4 位作者 秦岩 黄志雄 王传彬 沈强 张联盟 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第22期16-19,28,共5页
利用Sol—gel工艺在Pt/Ti/SiO2/si衬底上制备了Pb(Zr0.53Ti0.47)O3(PZT)薄膜,研究了退火温度、保温时间和薄膜厚度对其晶相、微观结构和铁电性能的影响。在500℃退火处理的PZT薄膜开始形成钙钛矿相;在550℃退火处理的PZT薄膜... 利用Sol—gel工艺在Pt/Ti/SiO2/si衬底上制备了Pb(Zr0.53Ti0.47)O3(PZT)薄膜,研究了退火温度、保温时间和薄膜厚度对其晶相、微观结构和铁电性能的影响。在500℃退火处理的PZT薄膜开始形成钙钛矿相;在550℃退火处理的PZT薄膜基本形成钙钛矿相结构;升高退火温度(500-850℃)、延长保温时间(30~150min)、增加薄膜厚度(120-630nm)都有利于PZT晶粒的长大。在650~750℃退火的PZT薄膜具有较好的铁电性能,保温时间对PZT薄膜的铁电性能影响不大,PZT薄膜的厚度为200-300nm时可以得到比较好的铁电性能。在退火温度750℃、保温时间30min条件下退火处理厚310nm的PZT薄膜,其剩余极化值(2Pr)和矫顽电场(2Ec)分别是72μC/cm^2、158kV/cm。 展开更多
关键词 pb(zr0.53ti0.47)o3薄膜 Sol—gel工艺 退火温度 保温时间 薄膜厚度 铁电性能
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微秒脉冲电场下Pb0.99(Zr0.95Ti0.05)0.98Nb0.02O3陶瓷击穿过程电阻变化规律 被引量:1
15
作者 刘艺 杨佳 +2 位作者 李兴 谷伟 高志鹏 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2017年第11期299-304,共6页
陶瓷作为应用非常广泛的一种材料,其电击穿问题一直是研究的重点和热点.由于击穿过程涉及热、光、电多场耦合效应,目前还没有一个普适的模型能够解释陶瓷击穿问题.针对此问题进行分析,实验中采用脉冲高压发生装置击穿陶瓷,通过对陶瓷击... 陶瓷作为应用非常广泛的一种材料,其电击穿问题一直是研究的重点和热点.由于击穿过程涉及热、光、电多场耦合效应,目前还没有一个普适的模型能够解释陶瓷击穿问题.针对此问题进行分析,实验中采用脉冲高压发生装置击穿陶瓷,通过对陶瓷击穿过程中等效电阻的研究,揭示了PZT95/5陶瓷样品体击穿和沿面闪络形成过程的异同.结果显示,在两种击穿模式下,陶瓷样品内部均会在40 ns左右形成导电通道,陶瓷等效电阻急剧下降至10~5?量级;然后体击穿与沿面闪络的导电通道以不同的速率继续扩展;电阻减小速率与导电通道上载流子的浓度有关,二者的等效电阻以不同速率减小,直至导电通道达到稳定. 展开更多
关键词 pb0.99(zr0.95ti0.05)0.98Nb0.02o3 脉冲高压 击穿 等效电阻
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含Ni-Nb阻挡层的硅基Pb(Zr_(0.4),Ti_(0.6))O_3电容器的制备及铁电性能研究 被引量:1
16
作者 赵庆勋 齐晨光 +3 位作者 贾冬梅 付跃举 郭建新 刘保亭 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第2期282-285,共4页
采用Ni-Nb薄膜作为导电阻挡层,以La0.5Sr0.5CoO3(LSCO)为底电极,构建了LSCO/Pb(Zr0.4,Ti0.6)O3(PZT)/LSCO异质结电容器。使用X射线衍射仪和铁电测试仪对其进行结构表征和性能测试。实验发现:Ni-Nb薄膜为非晶结构,PZT薄膜结晶状况良好。L... 采用Ni-Nb薄膜作为导电阻挡层,以La0.5Sr0.5CoO3(LSCO)为底电极,构建了LSCO/Pb(Zr0.4,Ti0.6)O3(PZT)/LSCO异质结电容器。使用X射线衍射仪和铁电测试仪对其进行结构表征和性能测试。实验发现:Ni-Nb薄膜为非晶结构,PZT薄膜结晶状况良好。LSCO/PZT/LSCO电容器在5 V外加电压测试下,电滞回线具有良好的饱和趋势,剩余极化强度Pr为35.5μC/cm2,矫顽电压Vc为1.42 V,电容器具有良好的抗疲劳特性和保持特性。 展开更多
关键词 Ni-Nb阻挡层 pb(zr0.4 ti0.6)o3 La0.5Sr0.5Coo3
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外延生长四方相Pb(Zr_(0.65)Ti_(0.35))O_3薄膜 被引量:1
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作者 刘敬松 李惠琴 +1 位作者 曹林洪 徐光亮 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第1期70-74,共5页
以SrRuO3(SRO)为缓冲层和底电极,利用射频溅射法在LaAlO3(LAO)单晶基片上制备了Pb(Zr0.65Ti0.35)O3(PZT)薄膜。X射线衍射分析显示PZT薄膜与基底有以下外延取向关系:(001)[010]PZT‖(001)[010]SRO‖(001)[010]LAO。虽然PZT薄膜组分位于... 以SrRuO3(SRO)为缓冲层和底电极,利用射频溅射法在LaAlO3(LAO)单晶基片上制备了Pb(Zr0.65Ti0.35)O3(PZT)薄膜。X射线衍射分析显示PZT薄膜与基底有以下外延取向关系:(001)[010]PZT‖(001)[010]SRO‖(001)[010]LAO。虽然PZT薄膜组分位于菱方相区域,但由于基底的夹持效应,透射电子显微镜观察表明PZT薄膜呈现四方相。对以Pt或SRO为上电极的PZT薄膜的电性能分别进行了研究,结果显示两种样品都具有抗疲劳性,并且Pt/PZT/SRO薄膜电容与SRO/PZT/SRO薄膜电容相比具有更大的漏电流。氧化物基片和底电极的引入使得PZT薄膜的居里点与块材相比有所下降。电容-温度测试曲线表现出典型的居里-外斯定律特征,薄膜损耗随着温度上升而下降。当温度接近PZT薄膜相转变点的时候,由于夹持应力的解除导致薄膜损耗急剧下降。 展开更多
关键词 外延生长 pb(zr0.65ti0.35)o3薄膜 射频磁控溅射 漏电流 损耗
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等静压和温度作用下Pb(Zr,Sn,Ti)O_3陶瓷的介电性能研究 被引量:1
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作者 郑曙光 徐卓 +1 位作者 冯玉军 姚熹 《西安交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第10期1004-1007,共4页
对反铁电 -铁电相界附近的Nb掺杂Pb(Zr,Sn,Ti)O3 陶瓷 ,采用 2GPa等静压装置测试了其在不同等静压力下的介电温度性能 ,分析了各种介电异常 ,发现了精细的相变特性 .指出随着温度升高 ,在较低的等静压范围内发生反铁电 -铁电 -顺电相变 ... 对反铁电 -铁电相界附近的Nb掺杂Pb(Zr,Sn,Ti)O3 陶瓷 ,采用 2GPa等静压装置测试了其在不同等静压力下的介电温度性能 ,分析了各种介电异常 ,发现了精细的相变特性 .指出随着温度升高 ,在较低的等静压范围内发生反铁电 -铁电 -顺电相变 ,而在较高的等静压范围内发生反铁电 -顺电相变 .其中 ,铁电相分为微弱频率弥散的弛豫型铁电相和正常铁电相两个不同的介电性能区域 .最后 ,得到了该组分材料的温度 展开更多
关键词 pb(zr Sn ti)o3陶瓷 反铁电-铁电陶瓷 介电性能 反铁电-铁电-顺电相变 等静压 介电温度 反铁电-顺电相变
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在LaNiO_3-Pt复合电极上Pb(Zr,Ti)O_3铁电薄膜及其成分梯度薄膜的制备和研究 被引量:1
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作者 李建康 姚熹 《无机化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2005年第5期757-762,共6页
LaNiO3 (LNO) thin films were prepared on Pt(111) / Ti / SiO2 / Si substrate by metal-organic decomposition (MOD) method. Pb(Zr,Ti)O3 ferroelectric thin films and their compositionally graded thin films were prepared o... LaNiO3 (LNO) thin films were prepared on Pt(111) / Ti / SiO2 / Si substrate by metal-organic decomposition (MOD) method. Pb(Zr,Ti)O3 ferroelectric thin films and their compositionally graded thin films were prepared on LNO / Pt / Ti / SiO2 /Si substrates by Sol-gel method. The composition depth profile of a typical up-graded film was determined by using a combination of Auger Electron Spectroscopy (ASE) and Ar Ion Etching. The results confirm that the processing method produces graded composition changes. XRD analysis showed that the graded thin films possessed composite structure of tetragonal and rhombohedral. The dielectric constants of Up-graded and Down-graded thin films were higher than that of each thin film unit. The dielectric constants were 277 and 269 at 10 kHz, respectively. The loss tangents were 0.019 and 0.018 at 10 kHz, respectively. The Hysteresis loops showed that the remanent polarizations of graded thin films were higher than that of each thin film unit, but the coercive fields were smaller. The remanent polarizations of Up-graded and Down-graded thin films were 30.06 and 26.96 μC·cm-2, respectively. The coercive fields were 54.14, 54.23 kV·cm-1, respectively. The pyroelectric coefficients of Up-graded and Down-graded thin films were 4.62, 2.51×10-8 C·cm-2·K-1 at room temperature, respectively. They were higher than that of each thin film unit. 展开更多
关键词 复合电极 梯度薄膜 铁电薄膜 analysis SoL-GEL profile 制备 成分 LANIo3 and The the unit room MET was Ion XRD at
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基于扫描探针显微术研究Pb(Zr,Ti)O_3铁电薄膜的电学性质 被引量:1
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作者 魏艳萍 卢焕明 +1 位作者 魏安祥 李勇 《理化检验(物理分册)》 CAS 2015年第8期560-563,577,共5页
首先利用脉冲激光沉积技术在(001)取向的SrTiO3基片上外延生长了SrRuO3底电极和PbZr0.20Ti0.80O3(PZT)薄膜,然后利用扫描探针显微镜的压电响应模式(PFM)和导电测试模式(C-AFM)表征了PbZr0.20Ti0.80O3/SrRuO3/SrTiO3异质结薄膜纳米尺度... 首先利用脉冲激光沉积技术在(001)取向的SrTiO3基片上外延生长了SrRuO3底电极和PbZr0.20Ti0.80O3(PZT)薄膜,然后利用扫描探针显微镜的压电响应模式(PFM)和导电测试模式(C-AFM)表征了PbZr0.20Ti0.80O3/SrRuO3/SrTiO3异质结薄膜纳米尺度的电学性质。以镀铂探针为上电极,利用压电响应模式获得了复合薄膜纳米尺度的压电位移-电压蝶形曲线和压电相位-电压滞后曲线,表明样品具有良好的铁电性。薄膜纳米尺度下的I-V测试结果表明经+10V电压极化后的样品,其I-V曲线在矫顽场附近出现峰值,与宏观I-V测试结果类似。导电原子力和压电力测试结果证明C-AFM可以检测到PZT薄膜样品的瞬时极化反转电流并进行成像。 展开更多
关键词 扫描探针显微镜 pb(zr ti)o3铁电薄膜 铁电畴 导电性
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