多层分步镀方法制备用于氢气分离的Pd-Ag膜（英文）

用基于化学镀方法的钯银共沉积和分步沉积2种方法制备了PdAg膜。对比研究了2种方法制备的钯银膜的形貌、相结构、成分均匀性和致密性。实验结果表明共沉积法获得的钯银膜是树枝状的,成分不均匀,且致密性很差。分步沉积获得的钯银膜成分均匀、沿侧面生长趋势好,更适合制备超薄致密的用于氢气分离的钯银合金膜。多层分步镀形成Pd-Ag合金需要更高的温度和更长时间的热处理。Ag层的交替使得Pd的晶粒减小,并且最终沉积的膜表面更光滑。