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低压压电陶瓷相移器及其在电子散斑干涉计量中的应用
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作者 任雅萍 姜力军 +3 位作者 张弛 范华 骆德渊 谭玉山 《半导体光电》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第5期331-335,共5页
介绍了一种新型低压压电陶瓷相移器及其驱动电路的原理、结构和标定方法,并简述了它在电子散斑干涉计量(ESPI)中的应用。
关键词 散斑干涉计量 相移器 压电陶瓷 espi 压电器件
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