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利用照相平板印刷术制作钢表面微米图形技术
1
作者
任靖日
蔡荣勲
《机械工程学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第3期124-128,共5页
采用微机电系统关键技术的照相平版印刷术,利用电化蚀刻术进行钢表面微米图形的摩擦学设计和制作以及不同蚀刻方法的基础研究;观察在不同电化蚀刻时间和图形密度下微米图形蚀刻深度和加工表面的变化规律,并分析他们之间相关关系。结果表...
采用微机电系统关键技术的照相平版印刷术,利用电化蚀刻术进行钢表面微米图形的摩擦学设计和制作以及不同蚀刻方法的基础研究;观察在不同电化蚀刻时间和图形密度下微米图形蚀刻深度和加工表面的变化规律,并分析他们之间相关关系。结果表明,控制电化蚀刻时间可获得不同面积的钢表面微米图形以及不同蚀刻深度的微米图形,而且其变化具有一定的规律。在金属材料表面微米图形加工中,照相平版印刷术加工方法与其他传统的加工方法相比具有微米图形清晰、表面质量好、便于控制图形形状以及可大量生产等优点。在高强度金属材料表面上加工微米图形中,照相平版印刷术具有便于加工不同形状、大小和深度的微米图形以及很好的适应性。
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关键词
照相平版印刷术
微米图形
电化蚀刻术
摩擦学设计
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职称材料
题名
利用照相平板印刷术制作钢表面微米图形技术
1
作者
任靖日
蔡荣勲
机构
延边大学工学院
韩国庆北大学摩擦学研究所
出处
《机械工程学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第3期124-128,共5页
基金
国家自然科学基金资助项目(50765008)
文摘
采用微机电系统关键技术的照相平版印刷术,利用电化蚀刻术进行钢表面微米图形的摩擦学设计和制作以及不同蚀刻方法的基础研究;观察在不同电化蚀刻时间和图形密度下微米图形蚀刻深度和加工表面的变化规律,并分析他们之间相关关系。结果表明,控制电化蚀刻时间可获得不同面积的钢表面微米图形以及不同蚀刻深度的微米图形,而且其变化具有一定的规律。在金属材料表面微米图形加工中,照相平版印刷术加工方法与其他传统的加工方法相比具有微米图形清晰、表面质量好、便于控制图形形状以及可大量生产等优点。在高强度金属材料表面上加工微米图形中,照相平版印刷术具有便于加工不同形状、大小和深度的微米图形以及很好的适应性。
关键词
照相平版印刷术
微米图形
电化蚀刻术
摩擦学设计
Keywords
photolithography micropattern electrochemical etching tribological design
分类号
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
利用照相平板印刷术制作钢表面微米图形技术
任靖日
蔡荣勲
《机械工程学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011
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