薄膜沉积多级衍射光学元件的微型制作与误差标定的研究(英文)

应用光刻和薄膜沉积技术，制作了多级衍射光学元件。对制作误差和影响误差的因素进行了分析。给出了改善对准误差的标校方法，并在实际的多级衍射光学元件制作过程中得到验证。