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MOCVD生长的GaN膜的光学性质研究 被引量:8
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作者 张荣 杨凯 +3 位作者 秦林洪 沈波 施洪涛 郑有炓 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第2期91-96,共6页
本文报道(0001)晶向蓝宝石衬底上金属有机化学气相淀积(MOCVD)方法生长的单晶六角GaN薄膜室温光学性质.由光吸收谱和488umAr+激光激发的光调制反射光谱(PR)确定的禁带宽度分别为3.39和3.400eV,从光吸收谱得到了GaN薄膜的折射... 本文报道(0001)晶向蓝宝石衬底上金属有机化学气相淀积(MOCVD)方法生长的单晶六角GaN薄膜室温光学性质.由光吸收谱和488umAr+激光激发的光调制反射光谱(PR)确定的禁带宽度分别为3.39和3.400eV,从光吸收谱得到了GaN薄膜的折射率随光谱能量的变化关系.对PR谱的调制机理进行的分析,发现信号来自缺陷作用下的表面电场调制.应用喇曼光谱研究了GaN薄膜中的声子模,通过对LO声子-等离激元的耦合模散射峰的研究,得到了材料中的载流子浓度和等离激元阻尼常数. 展开更多
关键词 氮化镓 MOCVD生长 光学性质
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MBE技术蓝宝石衬底上生长VO_2薄膜及其太赫兹和金属–绝缘体相变特性研究(英文) 被引量:3
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作者 孙洪君 王敏焕 +3 位作者 边继明 苗丽华 章俞之 骆英民 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2017年第4期437-442,共6页
采用分子束外延(MBE)技术在单晶蓝宝石衬底上生长了高质量化学计量比二氧化钒(VO_2)薄膜,通过该技术实现薄膜厚度15~60 nm精确控制。对于优化条件下VO_2薄膜,实现了电阻率变化超过4个数量级的优异金属–绝缘体相变,近似于之前报道高质... 采用分子束外延(MBE)技术在单晶蓝宝石衬底上生长了高质量化学计量比二氧化钒(VO_2)薄膜,通过该技术实现薄膜厚度15~60 nm精确控制。对于优化条件下VO_2薄膜,实现了电阻率变化超过4个数量级的优异金属–绝缘体相变,近似于之前报道高质量单晶VO_2相变特性。特别是通过太赫兹时域光谱分析了不同厚度的VO_2薄膜在太赫兹波段的光学特性。结果表明:VO_2薄膜的厚度对其在太赫兹波段的光学特性有很大影响。因此,为了获得更优的可靠性和重复性能,VO_2薄膜的厚度必须得到精确控制。本研究结果对于下一步VO_2基太赫兹器件研究具有重要意义。 展开更多
关键词 二氧化钒薄膜 太赫兹时域光谱 分子束外延 金属–绝缘体相变
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光调制反射谱用于研究MBE GaAs_(1-x)Sb_x/GaAs外延膜
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作者 池坚刚 赵文琴 李爱珍 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1991年第2期107-112,共6页
本文讨论了量子阱的光调制反射谱(PR)线形,并采用光调制反射谱研究了MBE GaAs_(1-x)Sb_x/GaAs异质结、应变层量子阱。可见,用PR谱研究MBE外延膜具有一定的优越性。
关键词 光调制反射谱 外延膜 分子束外延
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单晶金刚石膜与多晶金刚石膜的制备工艺及性能
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作者 李嘉 张战 +2 位作者 马丽莹 方莉莉 赵豪民 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1992年第4期387-392,共6页
本文主要介绍了用微波等离子体化学气相沉积法(以下简称MP CVD法)以甲醇-氢气混合气和丙酮-氢气混合气为源气体,分别以单晶硅的(111)面和人造金刚石的(100)面为衬底材料,制备出了面积为20mm×20mm厚为10μm的多晶金刚石膜和面积为1.... 本文主要介绍了用微波等离子体化学气相沉积法(以下简称MP CVD法)以甲醇-氢气混合气和丙酮-氢气混合气为源气体,分别以单晶硅的(111)面和人造金刚石的(100)面为衬底材料,制备出了面积为20mm×20mm厚为10μm的多晶金刚石膜和面积为1.0mm×1.0mm厚为5μm的单晶金刚石膜。通过试验发现,源气体配比和衬底温度对薄膜质量起决定性作用。另外,衬底在反应腔中的位置对薄膜的生成也有很大影响。单晶金刚石膜制备过程中衬底金刚石的晶体取向与金刚石薄膜的生长及质量有密切的关系。在金刚石的(100),(110)和(111)面上分别获得了单晶金刚石膜和金刚石多晶粒子。选用扫描电镜、显微激光拉曼、反射电子衍射对多晶金刚石膜及单晶金刚石膜的性能进行了测试。 展开更多
关键词 微波等离子 化学气相沉积 金刚石膜
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Epitaxial growth of ultrathin ZrO_2(111) films on Pt(111) 被引量:1
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作者 GAO Yan ZHANG Liang PAN YongHe WANG GuoDong XU Yang ZHANG WenHua ZHU JunFa 《Chinese Science Bulletin》 SCIE EI CAS 2011年第6期502-507,共6页
Ordered epitaxial ZrO2 films were grown on Pt(111) and characterized by low energy electron diffraction (LEED), synchrotron radiation photoemission spectroscopy (SRPES) and X-ray photoelectron spectroscopy (XPS). The ... Ordered epitaxial ZrO2 films were grown on Pt(111) and characterized by low energy electron diffraction (LEED), synchrotron radiation photoemission spectroscopy (SRPES) and X-ray photoelectron spectroscopy (XPS). The films were prepared by vapor deposition of zirconium in an O2 atmosphere followed by annealing under ultra high vacuum. At low coverages, the films grew as discontinuous two-dimentional islands with ordered structures. The size and structure of these islands were dependent on the coverage of ZrO2 films. At coverage <0.5 monolayer (ML), ( 19^(1/2) × 19^(1/2)) R23.4° and (5×5) structures coexisted on the surface. As the coverage increased, the (19^(1/2) × 19^(1/2) ) R23.4° structure developed with increasing degree of long-range order, while the (5×5) structure gradually faded. When the coverage reached >6 ML, a continuous ZrO2(111) film was formed with a (1×1) surface LEED pattern coexisting with a (2×2) pattern. These ordered thin ZrO2 films provide good model surfaces of bulk ZrO2 and can be used for further fundamental studies of the surface chemistry of ZrO2 using modern surface science techniques. 展开更多
关键词 二氧化锆薄膜 薄膜外延生长 同步辐射光电子能谱 超薄 有序结构 表面图案 低能电子衍射 化学基础研究
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Grain boundary boosting the thermal stability of Pt/CeO_(2)thin films
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作者 Luyao Wang Xiaobao Li +10 位作者 Xiangchen Hu Shuyue Chen Zhehao Qiu Yifan Wang Hui Zhang Yi Yu Bo Yang Yong Yang Pasquale Orgiani Carmela Aruta Nan Yang 《Nano Research》 SCIE EI CSCD 2023年第2期3278-3286,共9页
Understanding how defect chemistry of oxide material influences the thermal stability of noble metal dopant ions plays an important role in designing high-performance heterogeneous catalytic systems.Here we use in-sit... Understanding how defect chemistry of oxide material influences the thermal stability of noble metal dopant ions plays an important role in designing high-performance heterogeneous catalytic systems.Here we use in-situ ambient-pressure X-ray photoemission spectroscopy(APXPS)to experimentally determine the role of grain boundary in the thermal stability of platinum doped cerium oxide(Pt/CeO_(2)).The grain boundaries were introduced in Pt/CeO_(2)thin films by pulsed laser deposition without significantly change of the surface microstructure.The defect level was tuned by the strain field obtained using a highly/low mismatched substrate.The Pt/CeO_(2)thin film models having well defined crystallographic properties but different grain boundary structural defect levels provide an ideal platform for exploring the evolution of Pt–O–Ce bond with changing the temperature in reducing conditions.We have direct demonstration and explanation of the role of Ce^(3+)induced by grain boundaries in enhancing Pt2+stability.We observe that the Pt^(2+)–O–Ce^(3+)bond provides an ideal coordinated site for anchoring of Pt^(2+)ions and limits the further formation of oxygen vacancies during the reduction with H_(2).Our findings demonstrate the importance of grain boundary in the atomic-scale design of thermally stable catalytic active sites. 展开更多
关键词 platinum doped cerium oxide(Pt/CeO_(2)) pulsed laser deposition epitaxial thin films grain boundaries defect engineering in-situ ambient-pressure X-ray photoemission spectroscopy
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