OMR-85光刻胶的研究与应用

在半导体制造中 ,光刻胶是重要的原材料之一。本文从转速与膜厚、感光灵敏度、图形变化差等方面对ORM 85光刻胶进行了研究 ,得出了用于大生产的一套工艺。解决了接触式曝光方式粘版的问题及提高了产能。