物理气相沉积薄膜的界面与附着力

近十多年来 ,气相沉积技术发展十分迅速 ,无论在理论研究还是应用研究上都取得了丰硕的成果 ,尤其在PVD薄膜的附着力方面 ,研究十分活跃。本文根据有限的资料 ,初步归纳出 :在PVD过程中 ,膜 /基附着力与基体表面活性密切相关 ;薄膜与基体之间也可以化学吸附形式结合 ,形成界面化合物 ;也可借助离子的轰击作用形成结合良好的扩散过渡层 ;膜 /基界面之间不匹配将使附着力下降 ,可通过设置过渡层 (梯度层 )

物理气相沉积薄膜附着性的影响因素

综述了关于薄膜附着性能的研究进展 ,总结了影响附着性的主要因素 。