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压电驱动微泵泵膜振动有限元分析
被引量:
9
1
作者
王立文
高殿荣
+3 位作者
杨林杰
李岩
王广义
范卓立
《机械工程学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第4期230-235,共6页
以压电驱动微泵泵膜为研究对象,分析了压电复合泵膜膜片的弹性曲面微分方程,建立了泵膜膜片有限元数值模拟的模型,对泵模膜态进行了计算和分析,模拟并分析了驱动电压、泵膜压电层半径与泵膜单晶硅层半径之比、单晶硅层厚度、压电层厚度...
以压电驱动微泵泵膜为研究对象,分析了压电复合泵膜膜片的弹性曲面微分方程,建立了泵膜膜片有限元数值模拟的模型,对泵模膜态进行了计算和分析,模拟并分析了驱动电压、泵膜压电层半径与泵膜单晶硅层半径之比、单晶硅层厚度、压电层厚度对泵膜位移的影响。所作研究为压电驱动微泵的优化设计提供了理论依据。
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关键词
压电驱动
微泵
泵膜
振动
有限元法
下载PDF
职称材料
题名
压电驱动微泵泵膜振动有限元分析
被引量:
9
1
作者
王立文
高殿荣
杨林杰
李岩
王广义
范卓立
机构
中国民用航空学院科技处
燕山大学机械工程学院
出处
《机械工程学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第4期230-235,共6页
文摘
以压电驱动微泵泵膜为研究对象,分析了压电复合泵膜膜片的弹性曲面微分方程,建立了泵膜膜片有限元数值模拟的模型,对泵模膜态进行了计算和分析,模拟并分析了驱动电压、泵膜压电层半径与泵膜单晶硅层半径之比、单晶硅层厚度、压电层厚度对泵膜位移的影响。所作研究为压电驱动微泵的优化设计提供了理论依据。
关键词
压电驱动
微泵
泵膜
振动
有限元法
Keywords
piezoelectric driven micro-pump pump membrane oscillation finite element method
分类号
TH323 [机械工程—机械制造及自动化]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
压电驱动微泵泵膜振动有限元分析
王立文
高殿荣
杨林杰
李岩
王广义
范卓立
《机械工程学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006
9
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