DL-10型石英真空计的性能

本文叙述了DL-10型石英真空计的研制结果,它用Φ2×6型音叉状石英晶振作为压强传感器。该真空计测量范围是10～105 Pa,误差约10%。石英真空计是应用石英晶振的谐振阻抗与气体压强有关的性能做的真空计。DL-10型石英真空计的振荡电路中的晶振同时也是压强传感器。

一种谐振式MEMS压力传感器单芯片级真空封装和低应力组装方法

为提高谐振式MEMS压力传感器的品质因数，且同时降低温度漂移，设计了一种传感器的单芯片级真空封装和低应力组装方法，选用非光敏苯并环丁烯（BCB）材料在真空加热、加压条件下实现PYREX7740玻璃空腔与传感器芯片的黏合键合，在可伐合金管座上加工出与传感器尺寸相匹配的方形空腔，实现传感器芯片的低应力组装．实验结果表明：传感器具有较高的品质因数（9455），检测范围为500—1100hPa，灵敏度为9．6Hz／，hPa，满量程最大非线性度为0．08％，-40℃-50℃内温度系数为0．9Hz／℃，温度总漂移为传感器满量程变化的1．3％，传感器在开机加电稳定后长时漂移为0．086％F．S．

压敏电阻用于低真空测量的研究

研究了将压敏电阻用于低真空的测量，包括规管和电路，研制成了新型DL-4型真空计。该计测量范围为102～105Pa，性能好，价格便宜。介绍了该真空计的原理、结构与特性。

如何制作低温环境条件下使用的电阻应变式传感器

阐述制作在低温环境条件下应用的电阻应变式传感器（如压力、位移传感器等）应注意的问题。

测量低真空系统压强的U型管油压强计

本文介绍了一种测量范围为１ｍｍＨｇ—２０ｍｍＨｇ，测量精度为０．１ｍｍＨｇ的低真空测量装置及其使用条件和方法。有效地代替了以水银为媒质的旋转式麦氏真空计。

极低压强传感器的设计和研制

为了测量极高真空的压强 ,尤其是航天飞机的极高真空分子屏后宇宙空间的压强 ,本文作者研制了一种类似静电鞍场规的极低压强传感器 (XHVS型 )。XHVS型极低压强传感器的压强测量范围为 1× 1 0 - 4～ 1× 1 0 - 1 0 Pa,它具有灵敏度高、电极尺寸小、吸放气率低、功耗低等特点。作者计算了 XHVS型极低压强传感器模型的电场分布以及电子、离子的运动轨迹 ;利用蒙特卡罗方法对 XHVS型极低压强传感器的灵敏度常数等特性参量进行了模拟计算 ;对 XHVS1型极低压强传感器做出了样管 ,并在现有条件下进行了测试。实验测定在典型工作参量下 ,XHVS型的灵敏度为 6Pa- 1 。

VG-1高灵敏真空控制仪的研制

本文介绍了应用扩散硅压力传感器研制的 VG-

燃气轮机轴向力测试技术研究

介绍了燃气轮机高、低压压气机转子轴向力测量传感器的设计、标定及轴向力测试方法。

YZ-111型压阻真空计的研制

介绍了一种基于扩散硅传感器的低真空测量仪表YZ-111型压阻真空计。仪表由传感器单元、信号调理单元、A/D采集单元、中央处理单元、按键和显示单元等组成。该仪器采用进口扩散硅压阻式传感器。信号被调理后由高精度数字采集系统采集、分析,直接输出数字信号。配以温度补偿技术,保证它的高精度。通过用高精度真空计校准,并与之比较,其测量结果达到预期。