微硅型扭摆式静电力平衡加速度计的设计分析

】文中详细提出了微硅型扭摆式静电力平衡加速度计设计的基本理论，根据加速度计的性能指标，应用该理论可以确定加速度计的结构参数；测量电路的回路增益、再平衡电压等电气参数。