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扭摆式微硅型加速度计
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作者 茅盘松 《电子器件》 CAS 1996年第3期159-164,共6页
本文介绍了一种扭摆式微硅型加速度计的工作原理,制作方法和测试电路。
关键词 扭摆式 微硅 加速度计
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