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Comparison of different plasma chambers in microwave ion source for the intense neutron tube 被引量:1
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作者 JING Shi-Wei, LIU Lin-Mao (Physics Department, Northeast Normal University, Changchun 130024) 《Nuclear Science and Techniques》 SCIE CAS CSCD 2003年第1期83-85,共3页
The microwave absorption efficiency, which is relevant to magnet field and its distribution, is a major parameter of the microwave ion source (MWIS) for the intense neutron tube. Based on previous work, the relations ... The microwave absorption efficiency, which is relevant to magnet field and its distribution, is a major parameter of the microwave ion source (MWIS) for the intense neutron tube. Based on previous work, the relations between microwave absorption efficiency and plasma chamber structure and thickness of the microwave introduction window are studied. The microwave absorption efficiency reaches to 100% when plasma chamber is 100mm long and the window thickness is 30mm. The microwave absorption efficiency as a function of pressure is also presented. 展开更多
关键词 等离子体 微波离子谱 微波吸收功率 MWIS 高密度中子管
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Numerical simulation of plasma-assisted combustion of methane-air mixtures in combustion chamber 被引量:3
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作者 Jun DENG Liming HE +1 位作者 Xingjian LIU Yi CHEN 《Plasma Science and Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2018年第12期75-85,共11页
A two-dimensional mathematical model was developed to investigate the effects of dielectric barrier discharge (DBD) plasma on CH4-air mixtures combustion at atmospheric pressure. Considering the physical and chemica... A two-dimensional mathematical model was developed to investigate the effects of dielectric barrier discharge (DBD) plasma on CH4-air mixtures combustion at atmospheric pressure. Considering the physical and chemical processes of plasma-assisted combustion (PAC), plasma discharge, heat transfer and turbulent were simultaneously coupled into simulation of PAC. This coupling model consists of DBD kinetic model and methane combustion model. By comparing simulations and the original reference's results, a high-accuracy of this model was validated. In addition, the effects of PAC actuation parameters on combustion characteristics were studied. Numerical simulations show that with an inlet airflow velocity of 10 m s-1, a CH4-air mixtures' equivalence ratio of 0.5, an applied voltage of 10 kV, a frequency of 1200 kHz, compared to conventional combustion (CC), the highest flame temperature rises by 32 K; outlet temperature distribution coefficient drops by 2.3%; the maximum net reaction rate of CH4 and H20 increase by 11.22% and 12.80% respectively; the maximum CO emission index decreases by 14.61%; the mixing region turbulence mixing time reduces by 89 ms. 展开更多
关键词 dielectric barrier discharge plasma-assisted combustion combustion chamber numerical simulation
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Lifetime and shelf life of sealed tritium-filled plasma focus chambers with gas generator
3
作者 B.D.Lemeshko А.К.Dulatov +4 位作者 Yu V.Mikhailov I.A.Prokuratov A.N.Selifanov T.S.Fatiev V.G.Andreev 《Matter and Radiation at Extremes》 SCIE EI CAS 2017年第6期303-308,共6页
The paper describes the operation features of plasma focus chambers using deuteriumetritium mixture.Handling tritium requires the use of sealed,vacuum-tight plasma focus chambers.In these chambers,there is an accumula... The paper describes the operation features of plasma focus chambers using deuteriumetritium mixture.Handling tritium requires the use of sealed,vacuum-tight plasma focus chambers.In these chambers,there is an accumulation of the impurity gases released from the inside surfaces of the electrodes and the insulator while moving plasma current sheath inside chambers interacting with b-electrons generated due to the decay of tritium.Decay of tritium is also accompanied by the accumulation of helium.Impurities lead to a decreased yield of neutron emission from plasma focus chambers,especially for long term operation.The paper presents an option of absorption type gas generator in the chamber based on porous titanium,which allows to significantly increase the lifetime and shelf life of tritium chambers.It also shows the results of experiments on the comparison of the operation of sealed plasma focus chambers with and without the gas generator. 展开更多
关键词 plasma focus Neutron yield Tritium-filled plasma focus chambers
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Expansion Characteristics of a Plasma Jet in the Stepped-Wall Chamber Filled with Water
4
作者 Yi Liu Yonggang Yu Shanshan Mang 《World Journal of Engineering and Technology》 2019年第2期293-301,共9页
The interaction mechanism between the plasma and liquid is a key problem for the electrothermal chemical launch technology. To investigate this problem, a simulated experiment for the expansion process of a plasma jet... The interaction mechanism between the plasma and liquid is a key problem for the electrothermal chemical launch technology. To investigate this problem, a simulated experiment for the expansion process of a plasma jet in the working fluid is carried on. Based on this experiment, a two-dimensional axisymmetric unsteady theoretical model is established to reveal the plasma-liquid interaction flow field pattern. The results show that a typical Taylor cavity forms as the plasma jet expands in liquid. The induction effect of the stepped-wall structure enhances the radial expansion of the plasma jet. An arc-shaped pressure wave is generated at the front of the plasma jet and then evolves into the plane wave. A high-pressure area forms at the head of the plasma jet and then moves downstream. There is a strong plasma-liquid turbulent mixing at the interface, especially near the steps and the nozzle exit area. 展开更多
关键词 ELECTROTHERMAL Chemical LAUNCH plasma Jet Stepped-Wall chamber plasma-Liquid Interaction
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供体血浆回冲LRS室防止CD4+和CD8+T淋巴细胞减少的研究
5
作者 李繁海 陈晓文 +5 位作者 周林枫 黄杰庭 李晓帆 钟笔 肖媚 梁华钦 《中国输血杂志》 CAS 2024年第9期1058-1062,1072,共6页
目的探讨Trima Accel自动化采血系统最后回输时使用供体血浆回冲白细胞减少系统(LRS)室对预防CD4+、CD8+T淋巴细胞减少效果。方法本实验设计了纵向随访和横断面研究。我们选择CD4+计数<200个细胞/μL、CD8+计数<125个细胞/μL作... 目的探讨Trima Accel自动化采血系统最后回输时使用供体血浆回冲白细胞减少系统(LRS)室对预防CD4+、CD8+T淋巴细胞减少效果。方法本实验设计了纵向随访和横断面研究。我们选择CD4+计数<200个细胞/μL、CD8+计数<125个细胞/μL作为缺乏的判断标准。对18名初次单采血小板献血者进行随访,并于最近300 d内献血者第0次、3~6次、7~14次献血前检测淋巴细胞计数。以170名未献过血的健康献血者为对照组。按回输模式调整为使用供体血浆回冲的时间(2021年10月)为分界点,将88名最近365 d内(中位献血次数17.5次以上)主要使用自动化采血系统采集捐献单采血小板的既往频繁献血者分为3组并获血液样本:A、B、C各组开始捐献单采血小板的时间分别为2019年10月前、2019年10月至2021年9月、2021年10月后。对血液样本进行分析,以获取包含CD4+、CD8+T淋巴细胞在内的血细胞计数。通过对比分析,随访组不同献血次数时检测指标和对照组与A、B、C各组检测指标有无统计学差异,从而推断供体血浆回冲白细胞减少系统(LRS)室对预防CD4+、CD8+T淋巴细胞减少效果。结果调整回输模式后,18名初次献血者转化的频繁单采献血者,在第5、11次(中位献血次数)献血时没有出现CD4+和CD8+T淋巴细胞减少的情况,且上述指标与其0次献血时无统计学差异。既往频繁献血者中,B、C组CD4+、CD8+T淋巴细胞计数均高于判断标准值,与对照组没有统计学差异。A组CD4+T淋巴细胞正常,仅A组1人CD8+T淋巴细胞低于125个细胞/μL,其累计捐献单采血小板281次,其所在的组在回输模式调整前2~21年(中位数为5年)已经开始献血。A组CD4+、CD8+T淋巴细胞计数与对照组差异明显,其CD4+、CD8+T淋巴细胞计数中位数(A组/对照组)分别为359/521、257/372,P<0.001。A组0%(0/35)CD4+计数<200个细胞/μL,2.85%(1/35)的献血者CD8+<125个细胞/μL,远低于John M.Gansner和Mahboubeh Rahmani研究发现的频繁单采献血者CD4+、CD8+T细胞缺乏的比例。研究表明,回输模式调整后捐献单采血小板不但没有使献血者T淋巴细胞进一步降低,反而频繁献血者T淋巴细胞得到进一步恢复。这表明回输模式调整后献血者献血时可能没有CD4+、CD8+T淋巴细胞的损失,或者只有少量损失且献血者即使频繁捐献单采血小板也可以恢复。结论Trima Accel自动化采血系统使用供体血浆回冲白细胞减少系统(LRS)室对预防CD4+、CD8+T淋巴细胞减少有很好的效果。 展开更多
关键词 供体血浆回冲 白细胞减少系统(LRS)室 预防CD4+T/CD8+T淋巴细胞
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真空灭弧室新型清洁工艺的研究
6
作者 陈勇 李春香 +2 位作者 杨顺 许英琴 温浩然 《今日自动化》 2024年第7期118-120,共3页
文章针对真空灭弧室用拨片焊接波纹管,使用传统酸洗工艺无法清洁,提出激光和等离子清洁两种新型清洁工艺,并通过相关试验验证,最终解决了拨片焊接波纹管清洁问题。
关键词 真空灭弧室波纹管清洁 激光清洁技术 等离子清洁技术
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Characteristics of Single Cathode Cascaded Bias Voltage Arc Plasma 被引量:2
7
作者 欧巍 邓柏权 +6 位作者 曾宪俊 芶富均 薛晓艳 张卫卫 曹小岗 杨党校 曹智 《Plasma Science and Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2016年第6期627-633,共7页
A single cathode with a cascaded bias voltage arc plasma source has been developed with a new quartz cathode chamber,instead of the previous copper chambers,to provide better diagnostic observation and access to the p... A single cathode with a cascaded bias voltage arc plasma source has been developed with a new quartz cathode chamber,instead of the previous copper chambers,to provide better diagnostic observation and access to the plasma optical emission.The cathode chamber cooling scheme is also modified to be naturally cooled only by light emission without cooling water to improve the optical thin performance in the optical path.A single-parameter physical model has been developed to describe the power dissipated in the cascaded bias voltage arc discharge argon plasmas,which have been investigated by utilizing optical emission spectroscopy(OES) and Langmuir probe.In the experiments,discharge currents from 50 A to 100 A,argon flow rates from 800 sccm to 2000 sccm and magnetic fields of 0.1 T and 0.2 T were chosen.The results show:(a) the relationship between the averaged resistivity and the averaged current density exhibits an empirical scaling law as η∝ j^(-0.63369) and the power dissipated in the arc has a strong relation with the filling factor;(b) through the quartz,the argon ions optical emission lines have been easily observed and are dominating with wavelengths between 340 nm and 520 nm,which are the emissions of Ar^+-434.81 nm and Ar^+-442.60 nm line,and theintensities are increasing with the arc current and decreasing with the inlet argon flow rate;and(c) the electron density and temperature can reach 2.0 × 10^19 m^-3 and 0.48 eV,respectively,under the conditions of an arc current of 90 A and a magnetic field of 0.2 T.The half-width of the ne radial profile is approximatively equal to a few Larmor radii of electrons and can be regarded as the diameter of the plasma jet in the experiments. 展开更多
关键词 plasma source cascaded arc quartz chamber single cathode
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Numerical Investigation of Flow Fields in Inductively Coupled Plasma Wind Tunnels
8
作者 喻明浩 Yusuke TAKAHASHI +3 位作者 Hisashi KIHARA Ken-ichi ABE Kazuhiko YAMADA Takashi ABE 《Plasma Science and Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2014年第10期930-940,共11页
Numerical simulations of 10 kW and 110 kW inductively coupled plasma (ICP) wind tunnels were carried out to study physical properties of the flow inside the ICP torch and vacuum chamber with air as tile working gas.... Numerical simulations of 10 kW and 110 kW inductively coupled plasma (ICP) wind tunnels were carried out to study physical properties of the flow inside the ICP torch and vacuum chamber with air as tile working gas. Two-dimensional compressible axisymmetric Navier- Stokes (N-S) equations that took into account 11 species and 49 chemical reactions of air, were solved. A heat source model was used to describe the heating phenomenon instead of solving the electromagnetic equations. In the vacuum chamber, a four-temperature model was coupled with N-S equations. Numerical results for tile 10 kW ICP wind tunnel are presented and discussed in detail as a representative case. It was found that the plasma flow in the vacuum chamber tended to be in local thermoehemical equilibrium. To study the influence of operation conditions on the flow field, simulations were carried out for different chamber pressures and/or input powers. The computational results for the above two ICP wind tunnels were compared with corresponding experimental data. The computational and experimental results agree well, therefore the flow fields of ICP wind tunnels can be clearly understood. 展开更多
关键词 inductively coupled plasma Joule heating vacuum chamber chemical reactions
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等离子清洗机的腔体设计 被引量:1
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作者 庞克俭 《电子工业专用设备》 2023年第2期10-12,34,共4页
介绍了等离子的产生机理及等离子清洗技术的原理;给出一种等离子清洗机的腔体,其特点是工艺气体从左向右水平流动,每个带有小孔的腔体极板可以灵活配置成悬浮极、阳极和阴极;选取合适的工艺条件后,获得了良好的清洗效果。
关键词 等离子体 腔体 清洗 极板
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点火器冷却气流对点火过程影响的实验研究
10
作者 李佳豪 张志波 +2 位作者 吴云 陈一 苗慧丰 《推进技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第11期138-147,共10页
为提高多通道等离子体点火器的工作可靠性和使用寿命,解决放电引起的瞬时高温和工作环境长时间高温引发的点火器端部烧蚀问题,本文基于嵌入式多通道等离子体点火器和强制对流换热的冷却方式,设计研制了冷却型多通道等离子体点火器,并建... 为提高多通道等离子体点火器的工作可靠性和使用寿命,解决放电引起的瞬时高温和工作环境长时间高温引发的点火器端部烧蚀问题,本文基于嵌入式多通道等离子体点火器和强制对流换热的冷却方式,设计研制了冷却型多通道等离子体点火器,并建立了单头部旋流喷雾基础燃烧室实验系统,开展了冷却型多通道等离子体点火器点火特性实验研究。利用CH*自发光信号诊断系统结合数值图像处理方法分析了放电通道数、冷却气流流量和来流流量对点火过程的影响,并比较了不同条件下的贫油点火边界。结果表明:冷却气流增大了贫油点火极限当量比和点火延迟时间。在400SLM来流、50SLM冷却气流条件下,多通道等离子体点火器的点火极限当量比为0.304,点火延迟时间为37.4ms,均大于无冷却气流工况。相较于单通道点火器,多通道等离子体点火器能显著拓宽贫油点火边界,且受冷却气流影响较小。在400SLM来流且无冷却气流条件下,多通道等离子体点火器可以拓展点火边界3.2%,而在50SLM冷却气流下拓宽效果达到3.7%。 展开更多
关键词 多通道等离子体点火器 冷却气流 基础燃烧室 点火过程 点火边界
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基于ICP-RIE工艺和共晶键合技术的微引擎
11
作者 周鑫 赖丽燕 李以贵 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2023年第9期1481-1487,共7页
针对便携式设备的电源存在能量密度不够、电池寿命短、回收利用困难以及难以实现小型化等问题,设计了一种氢气作为燃料的微型往复式引擎来替代小型电源,其整体设计尺寸为52 mm×43 mm×4 mm。利用绝缘体上硅(SOI)基板制作了微... 针对便携式设备的电源存在能量密度不够、电池寿命短、回收利用困难以及难以实现小型化等问题,设计了一种氢气作为燃料的微型往复式引擎来替代小型电源,其整体设计尺寸为52 mm×43 mm×4 mm。利用绝缘体上硅(SOI)基板制作了微型往复式引擎的零部件,包括上下盖板、燃烧室、活塞、弹簧和点火装置等;利用电感耦合等离子体-反应离子刻蚀(ICPRIE)得到垂直度接近90°的硅燃烧室、活塞等部件;利用Au-Si共晶键合等关键工艺,保证了上、下盖板与燃烧室等部件之间的气密性。为了验证微引擎的的可行性,搭建了一套测量燃烧压及活塞往复运动的实验装置,测得最大燃烧压约为50 kPa,活塞最大行程长度为1.6 mm,因此其具有广阔的应用前景。 展开更多
关键词 微型往复式引擎 燃烧室 电感耦合等离子体-反应离子刻蚀(ICP-RIE) 共晶键合 燃烧压 活塞
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等离子体点火密闭爆发器中火药燃速特性的研究 被引量:10
12
作者 李海元 栗保明 +3 位作者 李鸿志 宁广炯 王争论 杨春霞 《爆炸与冲击》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第2期145-150,共6页
等离子体与火药的作用规律是影响电热化学发射中能量利用效率的关键因素。研制了采用等离子体点火的密闭爆发器实验系统,对单基药在等离子体作用下的燃烧特性进行了研究。结果表明:等离子体点火可以显著缩短火药的点火延滞时间;实现有... 等离子体与火药的作用规律是影响电热化学发射中能量利用效率的关键因素。研制了采用等离子体点火的密闭爆发器实验系统,对单基药在等离子体作用下的燃烧特性进行了研究。结果表明:等离子体点火可以显著缩短火药的点火延滞时间;实现有效点火的电能的最低阈值低于0.05kJ/g;输入电能可以显著增加火药的燃速。等离子体对所用单基药燃速的增强效果仅体现在电脉冲注入期间,但是随着电能输入的增加,逐渐显示出等离子体注入期后火药燃速增强的趋势。 展开更多
关键词 等离子体点火 爆炸力学 密闭爆发器 电热化学发射 火药 测控系统 脉冲功率源
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离子推力器放电腔内等离子体流动规律的全粒子模型 被引量:8
13
作者 孙安邦 毛根旺 +2 位作者 夏广庆 陈茂林 邢鹏涛 《推进技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第1期143-149,共7页
为了详细描述等离子体在放电腔内的产生、演化过程,建立了放电腔内部等离子体流动的二维轴对称全粒子数值模型。在考虑壁面二次电子发射影响的前提下,模拟得到了稳态后放电腔内电磁场、电子与离子数密度,电流密度等一系列参数分布,且与... 为了详细描述等离子体在放电腔内的产生、演化过程,建立了放电腔内部等离子体流动的二维轴对称全粒子数值模型。在考虑壁面二次电子发射影响的前提下,模拟得到了稳态后放电腔内电磁场、电子与离子数密度,电流密度等一系列参数分布,且与相关实验数据进行了比较,吻合较好。模型得到了实验中难以观测到的放电腔内等离子体的产生、演化过程以及稳态下的分布规律,合理解释了放电腔工作的基本原理。 展开更多
关键词 离子推力器 放电腔 等离子体 粒子 数值模拟
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基于化学平衡的等离子体助燃计算与分析 被引量:4
14
作者 郭向阳 何立明 +1 位作者 兰宇丹 陈灯 《空军工程大学学报(自然科学版)》 CSCD 北大核心 2007年第6期8-11,共4页
研究了非平衡等离子体助燃的机理,并用最小Gibbs自由能理论对注入粒子后甲烷的燃烧进行了计算。对注入不同量粒子后燃烧温度和燃烧产物的分析证明,等离子体所具有的化学动力学特性可以加快反应的进行,增加燃烧温度和降低燃烧污染物的排... 研究了非平衡等离子体助燃的机理,并用最小Gibbs自由能理论对注入粒子后甲烷的燃烧进行了计算。对注入不同量粒子后燃烧温度和燃烧产物的分析证明,等离子体所具有的化学动力学特性可以加快反应的进行,增加燃烧温度和降低燃烧污染物的排出,从而验证了等离子体在航空发动机燃烧室中助燃的可行性。 展开更多
关键词 燃烧室 等离子体助燃 Gibbs自由能
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端视电感耦合等离子体光谱法测定高纯水中微量铜和铁 被引量:6
15
作者 辛仁轩 赵玉珍 薛进敏 《分析化学》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1996年第6期653-657,共5页
本文报道了用高灵敏度的电感耦合等离子体光谱法(ICP-AES)同时测定高纯水中微量铜和铁。光谱仪配有端视等离子体炬和旋流雾室进样装置。方法快速、简便,测定水中铜和铁的检出限分别为0.0007mg/L和0.0005mg/L。本法已用于反应堆... 本文报道了用高灵敏度的电感耦合等离子体光谱法(ICP-AES)同时测定高纯水中微量铜和铁。光谱仪配有端视等离子体炬和旋流雾室进样装置。方法快速、简便,测定水中铜和铁的检出限分别为0.0007mg/L和0.0005mg/L。本法已用于反应堆用高纯水的分析。 展开更多
关键词 端视等离子体炬 旋流雾室 ICP
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传统燃烧与等离子体助燃的燃烧室数值仿真 被引量:3
16
作者 刘兴建 何立明 +3 位作者 宋振兴 苏建勇 王景杰 于锦禄 《燃烧科学与技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第2期135-140,共6页
等离子体助燃技术是先进高性能航空发动机燃烧技术发展的新方向.为研究等离子体助燃对航空发动机燃烧室内燃料燃烧的强化效果,在燃烧室火焰筒头部设计附加等离子体激励的旋流器,并以航空煤油为燃料,对燃烧室内的速度、温度、压力与紊流... 等离子体助燃技术是先进高性能航空发动机燃烧技术发展的新方向.为研究等离子体助燃对航空发动机燃烧室内燃料燃烧的强化效果,在燃烧室火焰筒头部设计附加等离子体激励的旋流器,并以航空煤油为燃料,对燃烧室内的速度、温度、压力与紊流动能分布进行数值计算.结果表明,施加等离子体激励后,燃烧室内流场结构会得到较大改善,火焰筒回流区速度降低,主燃区燃气温度升高、压力梯度降低、紊流动能增大,燃烧室出口截面的速度、温度、压力与紊流动能分布更加均匀. 展开更多
关键词 传统燃烧 等离子体助燃 燃烧室 数值模拟
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氩气/空气ICP放电现象研究和基于H_β光谱展宽的微波干涉电子密度诊断方法 被引量:2
17
作者 魏小龙 徐浩军 +2 位作者 林敏 宋慧敏 陈茂才 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2016年第4期1170-1174,共5页
闭式腔体ICP是解决飞行器等离子体局部隐身的可行方案,其电子密度Ne在电磁波入射方向上的分布是影响其电磁波衰减效果的关键因素。对此,开展了在30.8cm×30.8cm×5.8cm石英腔体内的ICP放电实验,通过实验研究了空气/氩气ICP的E-... 闭式腔体ICP是解决飞行器等离子体局部隐身的可行方案,其电子密度Ne在电磁波入射方向上的分布是影响其电磁波衰减效果的关键因素。对此,开展了在30.8cm×30.8cm×5.8cm石英腔体内的ICP放电实验,通过实验研究了空气/氩气ICP的E-H模式跳变的物理现象,通过测量得到了空气/氩气环状ICP的宽度和覆盖面积比例随电源功率变化的规律,并给出了上述实验现象的理论解释。为了得到平面型ICP的电子密度在微波入射方向的分布,提出基于Hβ光谱展宽的微波干涉分布诊断法,分别对平面真空腔室内空气/氩气ICP的电子密度在电磁波入射方向上的分布进行了诊断,通过H_β(486.13nm)Stark展宽拟合和微波干涉过程分别获取电子密度分布函数的两项参数,得到了电子密度分布随放电功率变化的曲线。实验可得到电子密度范围为0.5×10^(11)~3.2×10^(11) cm^(-3)的环状ICP源,实验结果表明,ICP的电子密度受气体种类,射频功率影响较大,峰值电子密度接近ICP的中心位置,通过比较发现,氩气的电子密度较高,有效拟合区域较窄,空气的有效拟合区域较宽,覆盖面积较大。 展开更多
关键词 等离子体隐身 电感耦合等离子体 石英腔体 电子密度
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等离子焊箱真空控制系统研制 被引量:1
18
作者 张乃禄 李洋 +2 位作者 许道玉 李选锋 刘中磊 《真空》 CAS 2012年第1期25-27,共3页
在钛及钛合金熔炼生产中,真空等离子焊接是电极制备的重要工序,而真空等离子焊接的真空度对铸锭的质量影响很大。针对真空等离子焊箱真空控制系统的工艺和控制要求,研制基于工控机+PLC(S7-300)+INFICON PCG410-S真空计的集散控制系统,... 在钛及钛合金熔炼生产中,真空等离子焊接是电极制备的重要工序,而真空等离子焊接的真空度对铸锭的质量影响很大。针对真空等离子焊箱真空控制系统的工艺和控制要求,研制基于工控机+PLC(S7-300)+INFICON PCG410-S真空计的集散控制系统,实现了对真空泵组、电磁阀、真空压力和枪抽空进行实时监测与控制优化。生产实际应用表明,该系统在提高抽真空效率,降低漏率,确保高质量钛及钛合金电极生产方面效果显著,具有一定的应用前景。 展开更多
关键词 等离子焊箱 真空系统 控制系统 PLC
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等离子体气动效应对燃烧室流场的影响 被引量:16
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作者 兰宇丹 何立明 +3 位作者 王峰 杜宏亮 陈鑫 梁华 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第1期217-222,共6页
为了研究等离子体气动效应的内在机理,建立燃烧室助燃激励器中等离子体气动效应的数值仿真模型,通过求解电势方程和电荷密度方程,得到等离子体气动效应的体积力分布函数,将动量以源项的形式引入Navier-Stokes方程求解,对助燃激励器中等... 为了研究等离子体气动效应的内在机理,建立燃烧室助燃激励器中等离子体气动效应的数值仿真模型,通过求解电势方程和电荷密度方程,得到等离子体气动效应的体积力分布函数,将动量以源项的形式引入Navier-Stokes方程求解,对助燃激励器中等离子体气动效应诱导燃烧室空气流动进行了数值模拟,研究激励电压、气体流量和电荷密度对燃烧室中等离子体气动效应效果的影响。计算结果表明:在等离子体气动效应的作用下,燃烧室流场紊流度增大,速度分布不均匀;随着激励电压的升高,燃烧室轴向速度振荡幅度增大;等离子体气动效应对燃烧室流场的影响随着进口流速的增加不断减小;随着电荷密度的增加,火焰稳定器前后燃烧室流场轴向速度的振荡不断加剧。 展开更多
关键词 等离子体 气动效应 电场 流场 燃烧室 体积力
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刻蚀腔室内衬用抗等离子体腐蚀涂层的研究现状 被引量:1
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作者 张有茶 夏洋 +4 位作者 贾永昌 张庆钊 王文东 刘金虎 王聪瑜 《热喷涂技术》 2014年第3期19-23,共5页
干法刻蚀(等离子体刻蚀)技术产生的等离子体会对半导体制造工艺以及微电子IC制造工艺中的刻蚀腔室内衬产生腐蚀。本文综述了国内外腔室防等离子体腐蚀用材料的发展历程与现状,从耐等离子体刻蚀材料、悬浮液等离子喷涂技术和在线监测技... 干法刻蚀(等离子体刻蚀)技术产生的等离子体会对半导体制造工艺以及微电子IC制造工艺中的刻蚀腔室内衬产生腐蚀。本文综述了国内外腔室防等离子体腐蚀用材料的发展历程与现状,从耐等离子体刻蚀材料、悬浮液等离子喷涂技术和在线监测技术领域的发展展望了抗等离子体刻蚀涂层的未来发展趋势。 展开更多
关键词 等离子体刻蚀 腔室内衬 悬浮液等离子喷涂 在线监测
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