等离子体聚合掺有苯环的超薄有机硅膜

用化学气相沉积方法制备了超薄有机硅膜。研究了等离子体聚合工艺过程中 ,工艺条件对膜的特性和沉积速率的影响。结果表明 :沉积掺有苯环的有机硅膜增强了膜的强度和耐腐蚀性能。