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一种基于MEMS反射镜的平视显示器
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作者 闫思齐 姜苈峰 《河南科技》 2018年第7期54-55,共2页
MEMS反射镜由1mm的反射镜板和四个静电斥力致动器构成.MEMS反射镜使用表面微加工工艺PolyMUMPs制造而成, 包括四个致动器的MEMS反射镜的整体尺寸是3.5mm×3.5mm, 体积非常小.每个执行器可以通过改变施加的电压单独控制.在操作中, ... MEMS反射镜由1mm的反射镜板和四个静电斥力致动器构成.MEMS反射镜使用表面微加工工艺PolyMUMPs制造而成, 包括四个致动器的MEMS反射镜的整体尺寸是3.5mm×3.5mm, 体积非常小.每个执行器可以通过改变施加的电压单独控制.在操作中, 改变一个或两个执行器的电压会使镜片朝所需的方向倾斜. 展开更多
关键词 平视显示器 MEMS反射镜 polymumps
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