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Laser-induced porous graphene on Polyimide/PDMS composites andits kirigami-inspired strain sensor 被引量:2
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作者 Hao Wang Zifeng Zhao +1 位作者 Panpan Liu Xiaogang Guo 《Theoretical & Applied Mechanics Letters》 CSCD 2021年第2期110-114,共5页
The laser-induced porous graphene(LIG)prepared in a straightforward fabrication method is presented,and its applications in stretchable strain sensors to detect the applied strain are also explored.The LIGformed on th... The laser-induced porous graphene(LIG)prepared in a straightforward fabrication method is presented,and its applications in stretchable strain sensors to detect the applied strain are also explored.The LIGformed on the polyimide/polydimethylsiloxane(PI/PDMS)composite exhibits a naturally high stretchabil-ity(over 30%),bypassing the transfer printing process compared to the one prepared by laser scribing onPI films.The PI/PDMS composite with LIG shows tunable mechanical and electronic performances withdifferent PI particle concentrations in PDMS.The good cyclic stability and almost linear response of theprepared LIG’s resistance with respect to tensile strain provide its access to wearable electronics.To im-prove the PDMS/PI composite stretchability,we designed and optimized a kirigami-inspired strain sensorwith LIG on the top surface,dramatically increasing the maximum strain value that in linear response toapplied strain from 3%to 79%. 展开更多
关键词 Laser-induced porous graphene polyimide(pi)/pdms composite kirigami-inspired strain sensor
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Effect of Woven Structure and Ratios of Warp and Weft Density on Water Permeability and Thickness of Woven Polyimide Vascular Grafts 被引量:1
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作者 CHEN Xiaoying GUAN Guoping +2 位作者 MA Yanxue MENG Fenye LI Yuling 《Journal of Donghua University(English Edition)》 EI CAS 2020年第1期60-65,共6页
Textile vascular grafts are often used to treat the cardiovascular diseases.Scholars continue to search for new materials for the development of vascular grafts with excellent properties,polyimide(PI)fiber is a materi... Textile vascular grafts are often used to treat the cardiovascular diseases.Scholars continue to search for new materials for the development of vascular grafts with excellent properties,polyimide(PI)fiber is a material suitable for making vascular grafts with high strength,radiation resistance and stable property,as well as non-cytotoxic and satisfying blood compatibility.This study investigated the tensile strength and hydrolytic degradation properties of PI,polyester(PET)and nylon(PA).The results suggested that the PI is suitable for preparing vascular grafts.And influences of different weaves and ratios of warp and weft density on the water permeability,thickness and porosity of PI vascular grafts were analyzed.Vascular grafts with six weaves and two ratios of warp and weft density were designed and prepared.The surface morphology,permeability and thickness were characterized to optimize the structure of the vascular grafts.The results showed that the wall thickness of all the samples is less than 100μm except for the sample with the ratio 2∶3 and 1/3 twill pattern.Permeability is mainly determined by the weave and the ratio of warp and weft density.The samples in plain weave have the lowest water permeability compared with other samples. 展开更多
关键词 polyimide(pi) VASCULAR GRAFTS permeability thickness POROSITY
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Formation and Characterization of Pd,Pt and Pd-Pt Alloy Films on Polyimide by Catalyst-Enhanced Chemical Vapor Deposition
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作者 周锦兰 俞开潮 《Journal of Wuhan University of Technology(Materials Science)》 SCIE EI CAS 2007年第1期161-164,共4页
Platinum, palladium and their alloy films on polyimide were formed by catalyst-enhanced chemical vapor deposition (CVD) in the carrier gas (N2, O2) at 220-300℃ under reduced pressure and normal pressure. The depo... Platinum, palladium and their alloy films on polyimide were formed by catalyst-enhanced chemical vapor deposition (CVD) in the carrier gas (N2, O2) at 220-300℃ under reduced pressure and normal pressure. The deposition of palladium complexes [ Pd((η3-allyl)(hfac) and Pd(hfac)2 ] gives pure palladium film, while the deposition of platinum needs the enhancement of palladium complex by mixing precursor platinum complex Pt(COD)Me2 and palladium complex in the same chamber. The co-deposition of Pd and Pt metals was used for the deposition of alloy films. During the CVD of palladium-platinum alloy, the Pd/Pt atomic ratios vary under different co-deposition conditions. These metal films were characterized by XPS and SEM, and show a good adhesive property. 展开更多
关键词 polyimide pi catalyst-enhanced chemical vapor deposition (CECVD) platinum metal film palladium-platinum alloy film
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Characterization of Oxygen Plasma Modified Polyimide Fibers Interfacial Adhesion Performance by Single Fiber Fragmentation Test
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作者 DU Xiaodong JIANG Jinhua +1 位作者 CHEN Nanliang LIU Yanping 《Journal of Donghua University(English Edition)》 EI CAS 2018年第5期361-364,共4页
The application of polyimide( PI) fibers in the field of composite materials has been limited because of their smooth surface and chemical inertness. In order to overcome these problems,oxygen plasma was used to modif... The application of polyimide( PI) fibers in the field of composite materials has been limited because of their smooth surface and chemical inertness. In order to overcome these problems,oxygen plasma was used to modify the surface of fibers. The single fiber fragmentation test( SFFT) was used to characterize the interfacial adhesion performance of PI fiber as a simple and accurate analysis method. It was found that the interfacial shear strength between the fiber and resin after oxygen plasma modification was increased by 54% compared to the untreated fiber. Meanwhile, the surface micromorphology,chemical composition, wettability of fibers and the interface morphology at the fiber fracture were analyzed by field emission scanning electron microscope( FESEM), X-ray photoelectron spectroscopy( XPS),contact angle measurement and polarizing microscope,respectively. All of these results demonstrated that the single fiber fragmentation test for analyzing the interfacial adhesion of PI fibers was effective. 展开更多
关键词 single fiber FRAGMENTATION test(SFFT) polyimide(pi)fibers OXYGEN plasma treatment INTERFACIAL SHEAR strength
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Research of Trap and Electron Density Distributions in the Interface of Polyimide/Al2O3 Nanocomposite Films Based on IDC and SAXS
5
作者 Yuan-Yuan Liu Jing-Hua Yin +4 位作者 Xiao-Xu Liu Duo Sun Ming-Hua Chen Zhong-Hua Wu Bo Su 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 2017年第4期116-119,共4页
The distributions of traps and electron density in the interfaces between polyimide (PI) matrix and Al2O3 nanoparticles are researched using the isothermal decay current and the small-angle x-ray scattering (SAXS)... The distributions of traps and electron density in the interfaces between polyimide (PI) matrix and Al2O3 nanoparticles are researched using the isothermal decay current and the small-angle x-ray scattering (SAXS) tests. According to the electron density distribution for quasi two-phase mixture doped by spherical nanoparticles, the electron densities in the interfaces of PI/Al2O3 nanocomposite films are evaluated. The trap level density and carrier mobility in the interface are studied. The experimental results show that the distribution and the change rate of the electron density in the three layers of interface are different, indicating different trap distributions in the interface layers. There is a maximum trap level density in the second layer, where the maximum trap level density for the nanocomposite film doped by 25 wt% is 1.054 × 10^22 eV·m^-3 at 1.324eV, resulting in the carrier mobility reducing. In addition, both the thickness and the electron density of the nanocomposite film interface increase with the addition of the doped Al2O3 contents. Through the study on the trap level distribution in the interface, it is possible to further analyze the insulation mechanism and to improve the performance of nano-dielectric materials. 展开更多
关键词 AI pi Research of Trap and Electron Density Distributions in the Interface of polyimide/Al2O3 Nanocomposite Films Based on IDC and SAXS IDC Al
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基于MEMS技术的集成压力-湿度传感器 被引量:1
6
作者 陈果 刘正波 +1 位作者 王韬 张万里 《电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第1期21-28,共8页
设计了一种高灵敏度的集成压力和湿度传感单元的芯片。压力传感单元基于SOI和蛇形电阻结构。室温下,传感器在载压范围为3~129 kPa内灵敏度为0.026 mV/kPa,与有限元仿真基本吻合。传感器在25~120℃范围内的热灵敏度漂移为0.004‰FS/℃,... 设计了一种高灵敏度的集成压力和湿度传感单元的芯片。压力传感单元基于SOI和蛇形电阻结构。室温下,传感器在载压范围为3~129 kPa内灵敏度为0.026 mV/kPa,与有限元仿真基本吻合。传感器在25~120℃范围内的热灵敏度漂移为0.004‰FS/℃,热零点漂移为0.25%FS/℃。湿度传感单元采用的叉指电极和电容式结构,引入含氟PI作湿度敏感膜。设计Mo电阻加热结构加快传感器降湿过程,缩短降湿时间近32%。在10%~90%RH的湿度范围,含氟PI湿度传感器的灵敏度为0.121 pF/%RH,略低于无氟PI器件。含氟基团的引入,使得传感器的湿滞较无氟PI降低16%。“电容-湿度”曲线呈指数分布,相关系数R^(2)=0.996。测试结果发现,湿度传感单元和压力传感单元拥有良好的独立工作性能。 展开更多
关键词 电容式湿度传感器 惠斯通电桥 MEMS工艺 聚酰亚胺(pi) 压力传感器
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聚酰亚胺纳米纤维滤膜的制备及性能分析
7
作者 张海霞 张芳铖 贾琳 《河南工程学院学报(自然科学版)》 2024年第1期1-6,共6页
为探究亚胺化温度对聚酰亚胺(PI)纳米纤维性能的影响,将二胺单体4,4-二氨基二苯醚(ODA)和二酐单体均苯四甲酸酐(PMDA)溶于N,N-二甲基乙酰胺(DMAc)中,配制不同质量分数的聚酰胺酸(PAA)溶液,通过静电纺丝制成PAA纳米纤维滤膜,随后经过不... 为探究亚胺化温度对聚酰亚胺(PI)纳米纤维性能的影响,将二胺单体4,4-二氨基二苯醚(ODA)和二酐单体均苯四甲酸酐(PMDA)溶于N,N-二甲基乙酰胺(DMAc)中,配制不同质量分数的聚酰胺酸(PAA)溶液,通过静电纺丝制成PAA纳米纤维滤膜,随后经过不同温度亚胺化处理形成PI纳米纤维滤膜,研究滤膜的微观形态、过滤性能、透气性能和透湿性能等。结果表明:PAA溶液质量分数为30%时,其纳米纤维形态最好;亚胺化温度为200℃时,滤膜的过滤效率为95.86%,阻力压降为610.56 Pa,过滤性能平衡关系最好,此时最大强度为3.24MPa,透气率为98.19 mm/s;亚胺化温度为190℃时,水接触角为95.26°,润湿性能最好;透湿性能随着亚胺化温度的升高而降低。 展开更多
关键词 聚酰亚胺(pi) 亚胺化 静电纺丝 过滤性能 纳米纤维
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聚酰亚胺薄膜在柔性太阳能电池器件中的研究与应用进展 被引量:1
8
作者 何志斌 任茜 +3 位作者 职欣心 张燕 于海峰 刘金刚 《绝缘材料》 CAS 北大核心 2024年第2期10-18,共9页
本文综述了柔性太阳能电池器件用聚酰亚胺(PI)薄膜衬底材料的研究现状及未来发展趋势。首先从柔性电池器件的基本构造以及对衬底材料的性能需求和相应PI柔性衬底的研究与应用状况等角度进行了阐述。然后重点综述了应用于基板型柔性太阳... 本文综述了柔性太阳能电池器件用聚酰亚胺(PI)薄膜衬底材料的研究现状及未来发展趋势。首先从柔性电池器件的基本构造以及对衬底材料的性能需求和相应PI柔性衬底的研究与应用状况等角度进行了阐述。然后重点综述了应用于基板型柔性太阳能电池的耐高温PI薄膜以及应用于覆板型柔性太阳能电池的无色透明PI薄膜的研究与应用进展。最后对先进柔性太阳能电池用PI薄膜衬底材料的未来发展趋势进行了展望。 展开更多
关键词 柔性太阳能电池 基板 覆板 聚酰亚胺 热性能 光学性能
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基于PI衬底的柔性MEMS电容式触觉力传感器设计与制作 被引量:4
9
作者 肖素艳 车录锋 +1 位作者 李昕欣 王跃林 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第2期280-283,共4页
论述了一种可应用于机器人或医学修补技术的触觉传感器及其在旋涂的柔性聚酰亚胺衬底的新制作方法。该传感器是由多层无机和有机薄膜组成的柔性薄膜结构。结合传感器结构特点及各结构层材料的加工性能,进行工艺优化整合。尤其首次在载... 论述了一种可应用于机器人或医学修补技术的触觉传感器及其在旋涂的柔性聚酰亚胺衬底的新制作方法。该传感器是由多层无机和有机薄膜组成的柔性薄膜结构。结合传感器结构特点及各结构层材料的加工性能,进行工艺优化整合。尤其首次在载体硅片与PI衬底之间引进PDMS分离层,使得柔性器件的分离工艺大大简化。最后得到一种简单、低廉且与常规MEMS技术兼容的工艺。所制的传感器结构轻薄,可挠性好,且能贴附在任意形状的物体表面同时实现法向力和切向力的测量。 展开更多
关键词 柔性MEMS 触觉传感器 聚酰亚胺(pi) 聚二甲基硅氧烷(pdms)
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柔性聚酰亚胺(PI)衬底上ITO薄膜的生长及其透明导电性能影响机制研究 被引量:8
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作者 赵佳明 边继明 +3 位作者 孙景昌 张东 梁红伟 骆英民 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第S4期644-647,共4页
采用直流磁控溅射法在聚酰亚胺(PI)柔性衬底上生长氧化铟锡(ITO)薄膜,采用XP-2探针台阶仪、X射线衍射(XRD)、霍尔测试仪、紫外-可见分光光度计等对ITO薄膜进行结构和光电性能表征。结果表明溅射功率和沉积气压是影响磁控溅射法生长ITO... 采用直流磁控溅射法在聚酰亚胺(PI)柔性衬底上生长氧化铟锡(ITO)薄膜,采用XP-2探针台阶仪、X射线衍射(XRD)、霍尔测试仪、紫外-可见分光光度计等对ITO薄膜进行结构和光电性能表征。结果表明溅射功率和沉积气压是影响磁控溅射法生长ITO薄膜透明导电性能的主要因素,实验系统研究了溅射功率和沉积气压对ITO薄膜透明导电性能的影响机制。在优化的工艺条件下(溅射功率100W和沉积气压0.4Pa),制备了在可见光区平均透射率达86%、电阻率为3.1×10-4Ω.cm的光电性能优良的ITO透明导电薄膜。 展开更多
关键词 磁控溅射 聚酰亚胺(pi) 柔性衬底 ITO透明导电膜
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ZrW_2O_8粉体及ZrW_2O_8/PI杂化薄膜的制备研究 被引量:1
11
作者 杨娟 杨永森 +3 位作者 徐祥宁 刘芹芹 孙秀娟 程晓农 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2008年第A01期626-629,共4页
以分步固相法制备了ZrW_2O_8粉体,以旋涂法制备出ZrW_2O_8/聚酰亚胺(PI)杂化薄膜,采用X射线衍射(XRD)对所得粉体的结构及性能进行表征,以傅里叶红外光谱(FT-IR)、热重-差热分析(TG-DSC)和扫描电子显微镜(SEM)研究了所得薄膜的结构、热... 以分步固相法制备了ZrW_2O_8粉体,以旋涂法制备出ZrW_2O_8/聚酰亚胺(PI)杂化薄膜,采用X射线衍射(XRD)对所得粉体的结构及性能进行表征,以傅里叶红外光谱(FT-IR)、热重-差热分析(TG-DSC)和扫描电子显微镜(SEM)研究了所得薄膜的结构、热稳定性及表面形貌。结果表明:采用分步固相法在1220℃制得高纯度ZrW_2O_8粉体,其在室温~500℃温度区间内平均热膨胀系数为-6.31×10^(-6)K^(-1),ZrW_2O_8颗粒不会影响PI薄膜的结构和热稳定性,同时偶联剂的使用有助于提高ZrW_2O_8粉体在PI基体中的分散性。 展开更多
关键词 ZrW2O8粉体 ZrW2O8/聚酰亚胺(pi)杂化薄膜 热稳定性 分散性
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基于聚酰亚胺的柔性湿度传感器制备及研究
12
作者 张海力 谢光忠 +1 位作者 刘太君 代静 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2024年第4期11-18,47,共9页
文中以聚酰胺酸(PAA)为前驱体,通过热处理工艺可得聚酰亚胺(PI)薄膜,添加氧化石墨烯(GO)合成PI/GO复合薄膜及后续电极制备得到基于聚酰亚胺的平行板电容式柔性湿度传感器。在此基础上深入研究了叉指电极式和平行板式构型、PAA旋涂转速、... 文中以聚酰胺酸(PAA)为前驱体,通过热处理工艺可得聚酰亚胺(PI)薄膜,添加氧化石墨烯(GO)合成PI/GO复合薄膜及后续电极制备得到基于聚酰亚胺的平行板电容式柔性湿度传感器。在此基础上深入研究了叉指电极式和平行板式构型、PAA旋涂转速、PAA酰亚胺化温度、GO喷涂量对湿度传感器性能的影响,最终得到的湿度传感器具有良好重复性、快速的响应恢复时间,最大湿滞仅为3.8%RH,且具有优异的柔性性能,在可穿戴柔性电子器件领域具有广泛的应用前景。 展开更多
关键词 柔性 湿度传感器 聚酰亚胺(pi) 氧化石墨烯(GO) pi/GO复合薄膜 平行板电容结构 湿敏特性
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聚酰亚胺(PI)LB膜中长链单轴取向排列的AFM研究 被引量:1
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作者 顾宁 杨晓敏 +2 位作者 鲁武 陆祖宏 韦钰 《应用科学学报》 CAS CSCD 1995年第2期229-234,共6页
采用AFM来研究聚酰亚胺(PI)Langmuir-Blodgett(LB)膜中长链取向排列的技术条件,首先获得了清晰的,稳定性很好的PILB单/双层膜的AFM图像,并对PILB膜中分子水平的微结构进行了分析。随后比较... 采用AFM来研究聚酰亚胺(PI)Langmuir-Blodgett(LB)膜中长链取向排列的技术条件,首先获得了清晰的,稳定性很好的PILB单/双层膜的AFM图像,并对PILB膜中分子水平的微结构进行了分析。随后比较了形成PILB膜的两种亚胺化工艺,即溶液亚胺化方法和热亚胺化方法对大面积内分子取向排列的影响,为进一步改善工艺条件以尽早将其投入实用奠定了初步基础。 展开更多
关键词 聚酰亚胺 定向层 LB膜 取向排列 分子取向
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聚酰亚胺PI/SiC复合薄膜材料的制备及特性 被引量:2
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作者 王铎 翟宝清 《铸造技术》 CAS 北大核心 2007年第5期698-701,共4页
用化学合成法制备用于电子封装中的聚酰亚胺基复合介电材料,并通过透射电镜、红外光谱仪对复合薄膜材料组织观察、结构表征。结果表明,聚酰亚胺基复合材料实际是一种共聚物,属于分子杂化复合材料,是纳米碳化硅小分子均匀分散在大分子聚... 用化学合成法制备用于电子封装中的聚酰亚胺基复合介电材料,并通过透射电镜、红外光谱仪对复合薄膜材料组织观察、结构表征。结果表明,聚酰亚胺基复合材料实际是一种共聚物,属于分子杂化复合材料,是纳米碳化硅小分子均匀分散在大分子聚合物基体中的复合材料体系,介电常数较低,平均值为ε=2.3,最低迭ε=2.0,吸水性也较低。 展开更多
关键词 聚酰亚胺pi/SiC复合材料 薄膜 低介电常数
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Enhanced photoelectrochemical water splitting with a donor-acceptor polyimide
15
作者 Hongyu QU Xiaoyu XU +5 位作者 Longfei HONG Xintie WANG Yifei ZAN Huiyan ZHANG Xiao ZHANG Sheng CHU 《Frontiers in Energy》 SCIE EI CSCD 2024年第4期463-473,共11页
Polyimide(PI)has emerged as a promising organic photocatalyst owing to its distinct advantages of high visible-light response,facile synthesis,molecularly tunable donor-acceptor structure,and excellent physicochemical... Polyimide(PI)has emerged as a promising organic photocatalyst owing to its distinct advantages of high visible-light response,facile synthesis,molecularly tunable donor-acceptor structure,and excellent physicochemical stability.However,the synthesis of high-quality PI photoelectrode remains a challenge,and photoelectrochemical(PEC)water splitting for PI has been less studied.Herein,the synthesis of uniform PI photoelectrode films via a simple spin-coating method was reported,and their PEC properties were investigated using melamine as donor and various anhydrides as acceptors.The influence of the conjugate size of aromatic unit(phenyl,biphenyl,naphthalene,perylene)of electron acceptor on PEC performance were studied,where naphthalene-based PI photoelectrode exhibited the highest photocurrent response.This is resulted from the unification of widerange light absorption,efficient charge separation and transport,and strong photooxidation capacity.This paper expands the material library of polymer films for PEC applications and contributes to the rational design of efficient polymer photoelectrodes. 展开更多
关键词 polyimide(pi)film PHOTOELECTROCHEMISTRY band structure engineering aromatic unit
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Molecular design of recyclable thermosetting polyimide and its composite with excellent mechanical and tribological properties
16
作者 Xiaoyue WANG Zenghui YANG +3 位作者 Tingmei WANG Qihua WANG Xinrui ZHANG Song LI 《Friction》 SCIE EI CAS CSCD 2024年第3期452-461,共10页
Recyclability of thermosetting polymers and their composites is a challenge for alleviating environmental pollution and resource waste.In this study,solvent-recyclable thermosetting polyimide(PI)and its composite were... Recyclability of thermosetting polymers and their composites is a challenge for alleviating environmental pollution and resource waste.In this study,solvent-recyclable thermosetting polyimide(PI)and its composite were successfully synthesized.The tensile strength,elongation at break,and Young’s modulus of PI are 108.70±7.29 MPa,19.35%±3.89%,and 2336.42±128.00 MPa,respectively.The addition of reduced graphene oxide(RGO)not only enhances the mechanical properties of PI but also endows it with excellent tribological properties.The PI illustrates a high recycling efficiency of 94.15%,but the recycled composite exhibits inferior mechanical properties.The recycling and utilization of PI and its composite are realized through imine bonds(-C=N),which provides new guidance for solving the problem of environmental pollution and resource waste and is potential application in the field of sustainable tribology. 展开更多
关键词 thermosetting polyimide(pi) RECYCLABILITY dynamic covalent bonds friction and wear polymer composites
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静电纺丝法聚酰亚胺纤维膜研究进展 被引量:1
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作者 张乐乐 李佳柠 +6 位作者 龙映雪 徐杨 田战战 朱家强 孙昊 李婷 宇平 《产业用纺织品》 2024年第4期20-26,共7页
聚酰亚胺(PI)作为一种高性能聚合物,因具有力学性能优异、热稳定性高、耐化学、耐辐射等特性而广泛应用。静电纺丝可连续生产比表面积大、孔隙率高和形貌可控的纳/微米级纤维。综述了静电纺丝法制备的PI纤维膜在油水分离、空气过滤、电... 聚酰亚胺(PI)作为一种高性能聚合物,因具有力学性能优异、热稳定性高、耐化学、耐辐射等特性而广泛应用。静电纺丝可连续生产比表面积大、孔隙率高和形貌可控的纳/微米级纤维。综述了静电纺丝法制备的PI纤维膜在油水分离、空气过滤、电池隔膜、树脂增韧、传感器、隔热材料等领域的研究现状和最新研究进展,分析了其应用优势和不足,概述了未来PI纳米纤维膜发展面临的挑战。研究为进一步拓宽静电纺丝法PI纳米纤维膜的应用提供参考。 展开更多
关键词 聚酰亚胺(pi)纤维 静电纺丝 纤维膜 应用
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基于CMOS工艺的硅基PI湿度传感器的研制
18
作者 杨子健 韦波 +2 位作者 王敬松 崔千红 杨建红 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2009年第4期385-388,共4页
在国内外湿度传感器研究的基础上,基于Si CMOS工艺研制出了以聚酰亚胺(PI)为感湿介质的电容型相对湿度传感器。并对其结构进行了理论分析,仔细确定了湿度传感器的工艺步骤和版图设计。对其测量范围、湿滞和响应时间等特性参数进行了详... 在国内外湿度传感器研究的基础上,基于Si CMOS工艺研制出了以聚酰亚胺(PI)为感湿介质的电容型相对湿度传感器。并对其结构进行了理论分析,仔细确定了湿度传感器的工艺步骤和版图设计。对其测量范围、湿滞和响应时间等特性参数进行了详细的测试。通过实验结果与模拟结果的对比分析,给出了该实验中存在的问题和改进意见,以便在今后的研究中加强这方面的工作。 展开更多
关键词 湿度传感器 聚酰亚胺 平行板电容 CMOS工艺 响应时间
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纳米压印法制作亚波长结构PI减反射膜
19
作者 田丽 毛志强 +1 位作者 吴敏 王蔚 《哈尔滨工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第10期66-70,共5页
为提高柔性基底太阳能电池光电转化效率,减少表面反射损失,用Tracepro光学仿真软件模拟设计亚波长结构减反射膜尺寸参数,仿真结果表明亚波长结构薄膜在纳米柱高度72 nm,占空比为0.5,光栅周期在300~440 nm处,光通量增强效果最佳.采用纳... 为提高柔性基底太阳能电池光电转化效率,减少表面反射损失,用Tracepro光学仿真软件模拟设计亚波长结构减反射膜尺寸参数,仿真结果表明亚波长结构薄膜在纳米柱高度72 nm,占空比为0.5,光栅周期在300~440 nm处,光通量增强效果最佳.采用纳米压印技术,以多孔结构阳极氧化铝为模板,制作聚酰亚胺基底减反射膜.采用扫描电子显微镜和紫外-可见分光光度计研究了阳极氧化技术所制作的Al2O3模板及其纳米压印技术等工艺参数对PI薄膜透过率的影响.测试结果表明,在0.3 mol/L草酸溶液中,70 V恒压模式连续反应1 h条件下制备AAO模板,在280℃,800 kg压力条件下,热压印时间为10 min所得PI膜.在AM1.5大气质量条件下,UV-VIS透射光谱从440~1 000 nm区域,所制作的薄膜较原始PI膜的透过率提高2%~5%. 展开更多
关键词 亚波长结构 减反射膜 纳米压印 聚酰亚胺 阳极氧化
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Si-PI低温键合黏合剂的研制与性能测试
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作者 张彧 王文 +2 位作者 陈荣 赵小林 丁桂甫 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2012年第10期667-672,共6页
根据微机电系统(MEMS)在承压能力与化学稳定性方面的要求,在国外文献的基础上配制得到一种作为Si-聚酰亚胺(PI)低温键合黏合剂的芳香类热固性共聚酯(ATSP)。使用ATSP在不同条件下对Si-PI进行低温键合,确定了适合ATSP键合的温度和压力条... 根据微机电系统(MEMS)在承压能力与化学稳定性方面的要求,在国外文献的基础上配制得到一种作为Si-聚酰亚胺(PI)低温键合黏合剂的芳香类热固性共聚酯(ATSP)。使用ATSP在不同条件下对Si-PI进行低温键合,确定了适合ATSP键合的温度和压力条件,并对键合面的拉伸强度和化学性能进行测试。测试结果表明,Si-PI键合面的拉伸强度能够达到1.3 MPa以上,完全可以满足MEMS器件在承压能力方面的要求。同时,键合后的ATSP在丙酮、酒精、制冷剂R134a和1-甲基-2-吡咯烷酮等多种试剂中均具有良好的化学稳定性。 展开更多
关键词 低温键合 Si-聚酰亚胺(pi) 芳香类热固性共聚酯 拉伸强度 化学稳定性
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