三氯氢硅精馏节能技术研究进展

概括了多晶硅生产中三氯氢硅节能精馏提纯技术的研究现状。介绍了多效精馏、热泵精馏、反应精馏、热耦合精馏、以及复合工艺在三氯氢硅精馏节能降耗方面的应用技术。并讨论了三氯氢硅精馏节能技术的发展趋势,指出采用多种精馏节能综合应用是我国多晶硅生产中三氯氢硅精馏提纯的方向。