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A Novel Interface-Gate Structure for SOI Power MOSFET to Reduce Specific On-Resistance
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作者 胡盛东 金晶晶 +6 位作者 陈银晖 蒋玉宇 程琨 周建林 刘江涛 黄蕊 姚胜杰 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 2015年第9期171-173,共3页
A novel silicon-on-insulator (SOI) power metM-oxide-semiconductor field effect transistor with an interface-gate (IG SOI) structure is proposed, in which the trench polysificon gate extends into the buried oxide l... A novel silicon-on-insulator (SOI) power metM-oxide-semiconductor field effect transistor with an interface-gate (IG SOI) structure is proposed, in which the trench polysificon gate extends into the buried oxide layer (BOX) at the source side and an IG is formed. Firstly, the IG offers an extra accumulation channel for the carriers. Secondly, the subsidiary depletion effect of the IG results in a higher impurity doping for the drift region. A low specific on-resistance is therefore obtained under the condition of a slightly enhanced breakdown voltage for the IG SOI. The influences of structure parameters on the device performances are investigated. Compared with the conventional trench gate SOI and lateral planar gate SOI, the specific on-resistances of the IG SOI are reduced by 36.66% and 25.32% with the breakdown voltages enhanced by 2.28% and 10.83% at the same SOI layer of 3 μm, BOX of 1 μm, and half-cell pitch of 5.5 μm, respectively. 展开更多
关键词 soi IG A Novel Interface-Gate Structure for soi power MOSFET to Reduce Specific On-Resistance MOSFET
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埋氧层固定界面电荷对RESURF SOI功率器件击穿特性的影响 被引量:3
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作者 郭宇锋 李琦 +3 位作者 罗小蓉 杨寿国 李肇基 张波 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2004年第2期181-184,共4页
 通过求解具有界面电荷边界条件的二维泊松方程,建立了埋氧层固定界面电荷Qf对RESURFSOI功率器件二维电场和电势分布影响的解析模型。解析结果与半导体器件模拟器MEDICI数值分析结果相吻合。在此基础上,分别研究了Qf对RESURFSOI功率器...  通过求解具有界面电荷边界条件的二维泊松方程,建立了埋氧层固定界面电荷Qf对RESURFSOI功率器件二维电场和电势分布影响的解析模型。解析结果与半导体器件模拟器MEDICI数值分析结果相吻合。在此基础上,分别研究了Qf对RESURFSOI功率器件横向和纵向击穿特性的影响规律。在横向,讨论了不同硅膜厚度、氧层厚度和漂移区长度情况下Qf对表面电场分布的影响;在纵向,通过分析硅膜内的场和势的分布,提出了临界埋氧层固定界面电荷密度的概念,这是导致器件发生失效的最低界面电荷密度。 展开更多
关键词 埋氧层 固定界面电荷 RESURF soi 功率器件 击穿
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SOI专用集成电路的静态电流监测和失效分析 被引量:8
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作者 刘迪 陆坚 +1 位作者 梁海莲 顾晓峰 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2013年第1期97-101,共5页
静态电流测试是一种高灵敏度、低成本的集成电路失效分析技术,在集成电路故障检测、可靠性测试及筛选中的应用日益普遍。针对某绝缘体上硅专用集成电路在老炼和热冲击实验后出现的静态电流测试失效现象,结合样品伏安特性、光发射显微镜... 静态电流测试是一种高灵敏度、低成本的集成电路失效分析技术,在集成电路故障检测、可靠性测试及筛选中的应用日益普遍。针对某绝缘体上硅专用集成电路在老炼和热冲击实验后出现的静态电流测试失效现象,结合样品伏安特性、光发射显微镜和扫描电子显微镜等电学和物理失效分析手段,确定了栅氧化层中物理缺陷的存在、位置及类型;结合栅氧化层经时介质击穿原理分析,揭示了样品的主要失效机理,并分析了经时介质击穿失效的根源,为改进工艺、提高电路可靠性提供了依据。 展开更多
关键词 静态电流 绝缘体上硅 光发射显微镜 扫描电子显微镜 失效分析 经时介质击穿
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SOI LDMOS晶体管耐压结构的研究 被引量:4
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作者 吴秀龙 陈军宁 +2 位作者 孟坚 高珊 柯导明 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2005年第3期27-31,共5页
SOI 技术已经成功的应用到功率集成电路中,而击穿电压是功率器件一个重要的参数。本文对SOI LDMOS 的击穿电压进行了分析,介绍了目前国内外几种典型的提高击穿电压的结构,较为详细的分析了RESURF 原理的应用。
关键词 击穿电压 soi LDMOS 功率器件
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应用于移动手机的SOI线性射频功率放大器的设计 被引量:3
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作者 林俊明 郑耀华 +1 位作者 郑瑞青 章国豪 《电子技术应用》 北大核心 2015年第9期60-62,共3页
主要研究采用IBM公司SOI 0.18μm CMOS工艺设计应用于1.95 GHz WCDMA发射机的全集成线性功率放大器的设计方法。电路采用三级AB类放大器级联结构,模拟结果显示,在工作电压为2.5 V的情况下,CMOS射频功率放大器工作稳定,1 d B压缩点输出... 主要研究采用IBM公司SOI 0.18μm CMOS工艺设计应用于1.95 GHz WCDMA发射机的全集成线性功率放大器的设计方法。电路采用三级AB类放大器级联结构,模拟结果显示,在工作电压为2.5 V的情况下,CMOS射频功率放大器工作稳定,1 d B压缩点输出功率约为30 d Bm,增益约为28 d B,最大功率增加效率(PAE)约为42%。 展开更多
关键词 WCDMA CMOS soi 线性功率放大器 PAE
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SOI LDMOS功率器件的研究与制备 被引量:1
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作者 程新红 杨文伟 +3 位作者 宋朝瑞 俞跃辉 姜丽娟 王芳 《微处理机》 2007年第2期11-13,共3页
根据REUSRF原理,对器件参数进行优化。采用与常规CMOS工艺兼容的技术,在SIMOX片上制备了薄膜SOI LDMOS功率器件。器件呈现良好的电学性能:漏极偏压5V时,泄漏电流仅为1nA;当漂移区长度为4μm时,关态击穿电压达到50V,开态击穿电压大于20V... 根据REUSRF原理,对器件参数进行优化。采用与常规CMOS工艺兼容的技术,在SIMOX片上制备了薄膜SOI LDMOS功率器件。器件呈现良好的电学性能:漏极偏压5V时,泄漏电流仅为1nA;当漂移区长度为4μm时,关态击穿电压达到50V,开态击穿电压大于20V;器件的输出曲线在饱和区光滑,未呈现翘曲现象,说明体接触有效地抑制了部分耗尽器件的浮体效应。这种SOI LDMOS结构非常适合高温环境下功率电子方面的应用开发。 展开更多
关键词 soi材料 功率器件 LDMOS功率
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SOI动态阈值MOS研究进展 被引量:7
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作者 毕津顺 海潮和 韩郑生 《电子器件》 EI CAS 2005年第3期551-555,558,共6页
随着器件尺寸的不断缩小,传统MOS器件遇到工作电压和阈值电压难以等比例缩小的难题,以至于降低电路性能,而工作在低压低功耗领域的SOIDTMOS可以有效地解决这个问题。本文介绍了四种类型的SOIDTMOS器件,其中着重论述了栅体直接连接DTMOS... 随着器件尺寸的不断缩小,传统MOS器件遇到工作电压和阈值电压难以等比例缩小的难题,以至于降低电路性能,而工作在低压低功耗领域的SOIDTMOS可以有效地解决这个问题。本文介绍了四种类型的SOIDTMOS器件,其中着重论述了栅体直接连接DTMOS、双栅DTMOS和栅体肖特基接触DTMOS的工作原理和性能,具体分析了优化器件性能的五种方案,探讨了SOIDTMOS存在的优势和不足。最后指出,具有出色性能的SOIDTMOS必将在未来的移动通讯和SOC等低压低功耗电路中占有一席之地。 展开更多
关键词 soi 低压低功耗 DTMOS 超大规模集成电路
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复合埋层上的薄层SOI-LDMOS功率器件 被引量:1
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作者 阳小明 蔡育 +2 位作者 李天倩 王军 卿朝进 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2012年第12期42-45,共4页
为了提高SOI-LDMOS功率器件击穿电压及相关性能,针对薄层SOI-LDMOS功率器件提出了一种新结构,在新结构中引入了复合埋层,它由p埋层与Si3N4绝缘介质埋层构成。复合埋层不仅改善了比导通电阻与耐压的关系,而且还缓解了自热效应。仿真结果... 为了提高SOI-LDMOS功率器件击穿电压及相关性能,针对薄层SOI-LDMOS功率器件提出了一种新结构,在新结构中引入了复合埋层,它由p埋层与Si3N4绝缘介质埋层构成。复合埋层不仅改善了比导通电阻与耐压的关系,而且还缓解了自热效应。仿真结果表明,在漂移区长度为57 m时,新结构耐压达到了1052 V,与CamSemiSOI相当,而比导通电阻与表面最高温度分别比CamSemi SOI降低了233.05.mm2和64 K。 展开更多
关键词 soi-LDMOS功率器件 复合埋层 击穿电压
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适用于数模混合集成的SOI MOSFET的失真分析 被引量:1
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作者 张国艳 廖怀林 +3 位作者 黄如 Mansun CHAN 张兴 王阳元 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第2期232-235,共4页
本文较为详细地分析了SOIMOSFET的失真行为 .利用幂级数方法对不同结构包括部分耗尽PD、全耗尽FD和体接触BC的SOI器件的谐波失真进行了对比性的实验研究 .同时 ,在实验分析的基础上提出了描述失真行为的连续的SOIMOSFET失真模型 .该模... 本文较为详细地分析了SOIMOSFET的失真行为 .利用幂级数方法对不同结构包括部分耗尽PD、全耗尽FD和体接触BC的SOI器件的谐波失真进行了对比性的实验研究 .同时 ,在实验分析的基础上提出了描述失真行为的连续的SOIMOSFET失真模型 .该模型通过引入平滑函数和主要的影响失真的物理机制 ,使得模拟计算结果能够与实验结果较好的吻合 .本文所得到的结果可用于低失真的数模混合电路的设计 ,并对低失真电路的优化提供指导方向 . 展开更多
关键词 场效应晶体管 数模混合集成 失真分析 soi MOSFET
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考虑到纵向掺杂分布影响的SOI功率器件完全耐压模型
10
作者 花婷婷 郭宇锋 于映 《南京邮电大学学报(自然科学版)》 北大核心 2014年第3期85-89,共5页
首先将任意纵向掺杂的漂移区等效为均匀掺杂的漂移区,然后基于二维泊松方程获得了SOI功率器件在全耗尽和不全耗尽情况下表面电场和击穿电压的完整解析表达式。借助此模型对漂移区纵向均匀掺杂、高斯掺杂、线性掺杂和二阶掺杂SOI二极管... 首先将任意纵向掺杂的漂移区等效为均匀掺杂的漂移区,然后基于二维泊松方程获得了SOI功率器件在全耗尽和不全耗尽情况下表面电场和击穿电压的完整解析表达式。借助此模型对漂移区纵向均匀掺杂、高斯掺杂、线性掺杂和二阶掺杂SOI二极管的表面场势分布和击穿电压进行了研究,解析结果和仿真结果吻合较好,验证了模型的准确性。最后在满足最优表面电场和完全耗尽条件下,得到器件优化的广义RESURF判据。 展开更多
关键词 绝缘体上硅 功率器件 击穿电压 模型
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一种半绝缘键合SOI新型BCD结构
11
作者 谭开洲 杨谟华 +4 位作者 徐世六 刘玉奎 李肇基 刘勇 冯建 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第5期763-767,共5页
提出了一种采用半绝缘SOI的新型BCD结构,该结构把高压大电流VDMOS,CMOS和双极器件同时可靠地集成在一起,其特点是集成了垂直导电的VDMOS.这种结构在汽车电子、抗辐射、强电磁脉冲环境等领域有较好的潜在应用.BCD样品芯片垂直导电VDMOS... 提出了一种采用半绝缘SOI的新型BCD结构,该结构把高压大电流VDMOS,CMOS和双极器件同时可靠地集成在一起,其特点是集成了垂直导电的VDMOS.这种结构在汽车电子、抗辐射、强电磁脉冲环境等领域有较好的潜在应用.BCD样品芯片垂直导电VDMOS击穿电压为160V,导通电阻为0·3Ω,比导通电阻为26mΩ·cm2;npn,pMOS,nMOS击穿电压分别为50,35,30V;npn管β为120,ft为700MHz. 展开更多
关键词 BCD 半绝缘S01 VDMOS 功率集成电路
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SOI功率器件的新进展
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作者 李文宏 罗晋生 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2000年第2期152-159,共8页
回顾了应用于 SOI功率集成电路的 SOI功率器件的发展背景 ,论述了 SOI功率器件的开发现状 ,以及作为 SOI功率器件基础的 SOI材料制备技术和耐压结构研究的最新进展。同时指出了在 SOI功率器件研究中需要解决的问题 。
关键词 硅-绝缘体 功率器件 功率集成电路
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SOI横向功率器件横向耐压技术的研究进展
13
作者 郭宇锋 李曼 +3 位作者 杨可萌 夏晓娟 吉新村 张长春 《南京邮电大学学报(自然科学版)》 北大核心 2015年第5期11-19,共9页
SOI横向功率器件是SOI功率集成电路的核心元件。文中对近年来SOI横向功率器件的横向耐压技术进行了归类和综述,讨论了RESURF技术、场板技术、U形漂移区技术、横向超级结技术和漂移区电荷密度线性化技术等5种常见技术及其衍生技术的工作... SOI横向功率器件是SOI功率集成电路的核心元件。文中对近年来SOI横向功率器件的横向耐压技术进行了归类和综述,讨论了RESURF技术、场板技术、U形漂移区技术、横向超级结技术和漂移区电荷密度线性化技术等5种常见技术及其衍生技术的工作机理、性能指标和制造方法,从耐压能力、BFOM优值和工艺复杂度等3个方面对不同耐压技术的优点和缺点进行了比较。结果表明各种新技术的采用可以有效缓和击穿电压和导通电阻的矛盾关系,但同时也带来了工艺复杂度的增加。因此,如何在性能和成本之间取得折中仍然是SOI横向功率器件设计需要关注的焦点。 展开更多
关键词 绝缘体上硅 横向功率器件 击穿电压 导通电阻
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SOI和pHEMT双刀五掷开关对比设计与实现 被引量:1
14
作者 张志浩 黄亮 +1 位作者 余凯 章国豪 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2015年第3期246-252,共7页
采用0.32μm CMOS-SOI工艺和D-mode 0.5μm GaAs pHEMT工艺设计了同一款双刀五掷射频开关,CMOS-SOI开关的设计应用了负压偏置电路和堆叠管子技术实现,GaAs pHEMT版本采用直流电压悬浮技术和三栅管与前馈电容技术实现。在0.9 GHz和1.9 GH... 采用0.32μm CMOS-SOI工艺和D-mode 0.5μm GaAs pHEMT工艺设计了同一款双刀五掷射频开关,CMOS-SOI开关的设计应用了负压偏置电路和堆叠管子技术实现,GaAs pHEMT版本采用直流电压悬浮技术和三栅管与前馈电容技术实现。在0.9 GHz和1.9 GHz时,SOI和pHEMT开关的插入损耗分别为0.41dB/0.65dB和0.27dB/0.52dB,隔离度分别为26.9dB/25.7dB和24.1dB/31.3dB。两个版本在输入功率为28dBm且频率为1.9GHz时,二次、三次谐波均小于-49dBm。 展开更多
关键词 双刀五掷射频开关 绝缘硅 高电子迁移率晶体管 插入损耗 隔离度 功率处理能力
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高压高速SOI-LIGBT的研制 被引量:2
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作者 杨健 张正 +1 位作者 李肇基 李学宁 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 1999年第5期366-369,共4页
采用数值模拟分析了双降场层SOI-LIGBT击穿电压与SOI层厚度和隔离SiO2层厚度的关系,分析了阳极短路面积比对器件正向压降、关断时间和正向转折电压的影响,并利用硅直接键合(SDB)技术研制出580V的阳极短路SOI-LIGBT。
关键词 横向绝缘棚 双极晶体管 智能功率IC soi-LIGBT
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带绝缘槽的SOI RESURF LDMOS的栅电荷分析
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作者 侯俊芳 侯德华 《天津职业院校联合学报》 2006年第5期41-44,共4页
栅电荷提供关于功率MOSFET的电容、驱动需求和开关功耗等信息,是衡量MOSFET性能的主要指标。基于Won-So Son等人提出的SOI基绝缘槽结构LDMOS(TR-LDMOS)的RESURF条件[1],建立器件的栅电荷分析模型,发现TR-LDMOS所需Qgd比普通RESURF LDMOS... 栅电荷提供关于功率MOSFET的电容、驱动需求和开关功耗等信息,是衡量MOSFET性能的主要指标。基于Won-So Son等人提出的SOI基绝缘槽结构LDMOS(TR-LDMOS)的RESURF条件[1],建立器件的栅电荷分析模型,发现TR-LDMOS所需Qgd比普通RESURF LDMOS(LR-LDMOS)少13.85%,所需Qg比LR-LD-MOS少17.65%;完成对密勒电容充电的时间TR-LDMOS要比LR-LDMOS少用50ns。在TR-LDMOS模型基础上,结合仿真对沟道区不同时刻载流子分布的描述,更细致地阐述了功率器件在开启过程中的状态变化;并且应用比较分析的方法,解释无源器件对TR-LDMOS开启的时间和功耗所产生的影响。在降低功率器件开启功耗的原则下,得到有助于器件设计的应用性结论。 展开更多
关键词 栅电荷 开关功耗 绝缘槽 soi LDMOS RESURF
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一种SOI CMOS/LDMOS单片智能功率集成电路
17
作者 谭开洲 石红 +4 位作者 杨国渝 胡刚毅 蒲大勇 冯健 毛儒炎 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2004年第2期164-167,共4页
 介绍了一种单片智能功率硅集成电路的设计和制造工艺,该电路包括工作于9V低压的常规CMOS管和两个最高耐压为80V、电流通过能力大于3A的LDMOS管。电路采用SOI介质隔离CMOS/LDMOS工艺,芯片面积约50mm2。基于一种简单的二维模型,认为,在...  介绍了一种单片智能功率硅集成电路的设计和制造工艺,该电路包括工作于9V低压的常规CMOS管和两个最高耐压为80V、电流通过能力大于3A的LDMOS管。电路采用SOI介质隔离CMOS/LDMOS工艺,芯片面积约50mm2。基于一种简单的二维模型,认为,在功率集成中,纵向导电的VDMOS管由于其导通电阻有一个自限制特点,因此并不特别适合智能功率集成。 展开更多
关键词 智能功率集成电路 soi CMOS LDMOS VDMOS
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两级非平衡超结SOILDMOS高压器件
18
作者 王文廉 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2014年第1期97-100,共4页
针对SOI功率集成电路,提出一种具有两级非平衡超结的SOI LDMOS高压器件。新结构通过调节超结的掺杂浓度,在漂移区形成两级超结结构。在器件反向耐压时,源端的超结n区被快速耗尽,过剩的p型电荷可以降低源端的峰值电场,同时提高漂移区中... 针对SOI功率集成电路,提出一种具有两级非平衡超结的SOI LDMOS高压器件。新结构通过调节超结的掺杂浓度,在漂移区形成两级超结结构。在器件反向耐压时,源端的超结n区被快速耗尽,过剩的p型电荷可以降低源端的峰值电场,同时提高漂移区中部的电场;而漏端的超结p区被快速耗尽,过剩的n区与n型外延层共同提供补偿电荷,这种阶梯分布的电荷补偿进一步优化了横向电场分布。这种两级非平衡超结结构缓解了横向超结器件中的衬底辅助耗尽效应,可提高器件的耐压。三维器件仿真结果表明,在漂移区长度为15μm时,该器件的耐压达到300V,较常规的超结器件和具有缓冲层的超结器件分别提高122%和23%。 展开更多
关键词 超结 LDMOS soi 功率集成电路
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0.18μm射频SOI LDMOS功率器件的研究
19
作者 廖小平 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2006年第1期30-32,共3页
在提出0.18μm射频SOI LDMOS功率器件研究方法的基础上,对工艺进行了设计,并制备了栅宽为1 200μm,栅长为0.7μm,漏的注入区与栅的距离为1.5μm的0.18μm射频SOILDMOS功率器件。对器件进行了测试和模拟,在工作频率为3 GHz,直流偏置电压... 在提出0.18μm射频SOI LDMOS功率器件研究方法的基础上,对工艺进行了设计,并制备了栅宽为1 200μm,栅长为0.7μm,漏的注入区与栅的距离为1.5μm的0.18μm射频SOILDMOS功率器件。对器件进行了测试和模拟,在工作频率为3 GHz,直流偏置电压VDS为3 V,VGS为1.5 V,输入功率Pin为5 dBm时,Pout、增益和PAE分别为15 dBm1、0 dB和35%。 展开更多
关键词 射频 soi LDMOS 功率器件
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适合基站放大器应用的图形化SOILDMOSFET的设计与分析
20
作者 程新红 王洪涛 +3 位作者 宋朝瑞 俞跃辉 袁凯 许仲德 《温州师范学院学报》 2006年第2期20-24,共5页
设计了一种新型图形化SOI(patterned-Silicon-On-Insulator)LDMOSFET(lateraldouble-diffusedMOSFETs)结构,埋氧层在沟道下方是间断的.工艺和性能模拟分析表明,此结构具有SOI器件低泄漏电流和低输出电容的特性,而且能抑制自加热效应和... 设计了一种新型图形化SOI(patterned-Silicon-On-Insulator)LDMOSFET(lateraldouble-diffusedMOSFETs)结构,埋氧层在沟道下方是间断的.工艺和性能模拟分析表明,此结构具有SOI器件低泄漏电流和低输出电容的特性,而且能抑制自加热效应和浮体效应.当漂移区长度为3μm时,开态击穿电压可达到30V、关态电压为71V、截止频率6.2GHz、最大振荡频率20GHz,2GHz时、栅偏压3V时的输出功率为0.8W/mm、功率增益为28dB.这些电学参数适合2G、60V无线通讯基站功率放大器的要求. 展开更多
关键词 图形化soi LDMOSFET 功率放大器 基站
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