精密工作台伺服控制系统研究

随着精密工作台运动速度和精度的进一步提高，对工作台的控制系统的要求也越来越高。本文针对微器件装配系统中粗动精密工作台的控制，研究了直流力矩电机的脉宽调制(PWM)驱动方法，控制系统通过引入速度和电枢电压负反馈，较好地解决了精密工作台低速爬行、死区和机械谐振等问题，满足了系统对运动快速性、低速平衡性和高精度的要求，最高调速比可达1294，工作台重复精度达±1μm。