期刊文献+
共找到30篇文章
< 1 2 >
每页显示 20 50 100
Field-assisted tunneling enabled pressure-sensitive composites/sensors for smart concrete structures 被引量:2
1
作者 Baoguo Han 《功能材料信息》 2013年第5期10-20,共11页
Spiky spherical nickel powder with sharp nano-tips on its surface is a kind of excellent fillers for developing pressure-sensitive cement-based composites/sensors for traffic detection,structural health monitoring,and... Spiky spherical nickel powder with sharp nano-tips on its surface is a kind of excellent fillers for developing pressure-sensitive cement-based composites/sensors for traffic detection,structural health monitoring,and border and military security.The sharp nano-tips on the surface of spiky spherical nickel particles can induce field emission and tunneling effects,which leads to the ultrahigh pressure-sensitive responses of the cement-based composites.In this paper,we systematically introduce research on nanotip-induced ultrahigh pressure-sensitive cement-based composites/sensors,with attentions to their pressure-sensitive property and sensing mechanism,pressure-sensitive characteristic model,and smart structure system for traffic detection. 展开更多
关键词 材料科学 功能材料 市场 价格
下载PDF
柔性电容式压力传感器性能优化的研究进展 被引量:1
2
作者 党新玉 段沐荣 +2 位作者 吴蓓 孙润军 王秋实 《印染》 CAS 北大核心 2024年第4期72-77,共6页
柔性电容式压力传感器具有低能耗、高灵敏度、高稳定性等优点,在可穿戴设备、电子皮肤等柔性电子领域受到广泛关注。概述了以复合介电层和微结构设计为代表的柔性电容式压力传感器灵敏度提升方法,并介绍了柔性电容式压力传感器在追求高... 柔性电容式压力传感器具有低能耗、高灵敏度、高稳定性等优点,在可穿戴设备、电子皮肤等柔性电子领域受到广泛关注。概述了以复合介电层和微结构设计为代表的柔性电容式压力传感器灵敏度提升方法,并介绍了柔性电容式压力传感器在追求高灵敏度和宽检测范围方面通常采用的多级复合结构、复合机制和混合响应策略,最后对柔性电容式压力传感器发展趋势进行了展望。 展开更多
关键词 电容式压力传感器 结构设计 性能优化 灵敏度 研究进展
下载PDF
压敏结构对柔性传感器性能增强的仿真分析
3
作者 魏国 廖宁波 章城 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2024年第3期26-30,共5页
在压阻层引入压敏结构是提高压阻传感器灵敏度的有效方法,但是压敏结构的形变在实际实验中难以直接观察,使得微结构的形变、电阻变化等机制尚不明确。为此,采用有限元仿真分析软件,模拟不同载荷大小和不同敏感结构对石墨烯基柔性传感器... 在压阻层引入压敏结构是提高压阻传感器灵敏度的有效方法,但是压敏结构的形变在实际实验中难以直接观察,使得微结构的形变、电阻变化等机制尚不明确。为此,采用有限元仿真分析软件,模拟不同载荷大小和不同敏感结构对石墨烯基柔性传感器压敏结构的作用机制,揭示了压敏结构对传感器形变、电阻变化的影响。结果显示,方柱和圆柱压敏结构的传感器形变程度小,但电阻和应力变化区域大,而金字塔和半圆球压敏结构的传感器形变程度较大,但电阻和应力变化区域较小。 展开更多
关键词 柔性 压阻传感器 压敏结构 有限元分析
下载PDF
基于三浦折纸电容式压力传感器的仿真与优化
4
作者 孙鸿 李木军 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2024年第10期120-123,共4页
柔性电容式压力传感器的灵敏度通常随压力的增加而衰减,这可能会影响其在具有环境压力情况下的应用。基于三浦折纸结构的柔性电容式压力传感器由于其特殊的折叠方式,可以同时改变电极之间的距离和正对面积来提高电容的相对变化率。本文... 柔性电容式压力传感器的灵敏度通常随压力的增加而衰减,这可能会影响其在具有环境压力情况下的应用。基于三浦折纸结构的柔性电容式压力传感器由于其特殊的折叠方式,可以同时改变电极之间的距离和正对面积来提高电容的相对变化率。本文通过有限元仿真验证了三浦折纸电容式压力传感器的灵敏度随压力的增加而增大的变化规律。此外,仿真了不同初始二面角和厚度的三浦折纸传感器在不同压力下的电容变化情况,从结构上进行性能优化。 展开更多
关键词 柔性电容压力传感器 三浦折纸结构 灵敏度 有限元仿真
下载PDF
Multifunctional high-performance pressure/proximity/temperature sensors enabled by hybrid resistive-supercapacitive response
5
作者 Huijun Kong Zhongqian Song +6 位作者 Meichun Ding Changxiang Shao Jiahui Yu Baolei Wang Weiyan Li Chenwei Li Li Niu 《Nano Research》 SCIE EI CSCD 2024年第6期5604-5613,共10页
The issue of sensitivity attenuation in high-pressure region has been a persistent concern for pressure-sensitive electronic skins.In order to tackle such trade-off between sensitivity and linear range,herein,a hybrid... The issue of sensitivity attenuation in high-pressure region has been a persistent concern for pressure-sensitive electronic skins.In order to tackle such trade-off between sensitivity and linear range,herein,a hybrid piezoresistive-supercapacitive(HRSC)strategy is proposed via introducing a piezoresistive porous aerogel layer between the charge collecting electrodes and iontronic films of the pressure sensors.Surprisingly,the HRSC-induced impedance regulation and supercapacitive behavior contribute to significant mitigation in sensitivity attenuation,achieving high sensitivity across wide linear range(44.58 kPa^(−1)from 0 to 3 kPa and 23.6 kPa^(−1)from 3 to 12 kPa).The HRSC pressure sensor exhibits a low detection limit of 1 Pa,fast responsiveness(~130 ms),and excellent cycling stability,allowing to detect tiny pressure of air flow,finger bending,and human respiration.Meanwhile,the HRSC sensor exhibits exceptional perception capabilities for proximity and temperature,broadening its application scenarios in prosthetic perception and electronic skin.The proposed HRSC strategy may boost the ongoing research on structural design of high-performance and multimodal electronic sensors. 展开更多
关键词 multimodal sensor pressure sensor high sensitivity MXene/poly(3 4-ethylenedioxythiophene):poly(styrenesulfonate)(PEDOT:PSS)aerogel structural design
原文传递
双膜结构FBG土压力传感器优化设计及灵敏度分析
6
作者 邢广志 陈博智 吴文婧 《应用科学学报》 CAS CSCD 北大核心 2024年第2期248-261,共14页
为实现桩基础结构安全及其服役状态的监测和有效评估,提出一种双膜结构土压力传感器,以光纤布拉格光栅(fiber Bragg grating,FBG)为传感元件,通过保护结构中增加的温度补偿膜,实现温度作用与外部荷载作用的彻底分离。基于双膜结构土压... 为实现桩基础结构安全及其服役状态的监测和有效评估,提出一种双膜结构土压力传感器,以光纤布拉格光栅(fiber Bragg grating,FBG)为传感元件,通过保护结构中增加的温度补偿膜,实现温度作用与外部荷载作用的彻底分离。基于双膜结构土压力传感器的工作原理,讨论了传感器压力灵敏度系数特性。结合有限元分析和实验研究,对灵敏度系数的影响参数展开了系统分析。数值分析结果表明,膜片厚度对压力敏感度系数的影响最大,结构半径和膜片厚度可选取为20 mm和1.8 mm;实验结果表明,在0-2 MPa范围内,压力灵敏度系数达3.32 pm/kPa。 展开更多
关键词 光纤布拉格光栅 双膜结构 土压力传感器 灵敏度分析
下载PDF
Multi-attribute wearable pressure sensor based on multilayered modulation with high constant sensitivity over a wide range 被引量:4
7
作者 Ning Li Song Gao +3 位作者 Yang Li Jianwen Liu Wenhao Song Guozhen Shen 《Nano Research》 SCIE EI CSCD 2023年第5期7583-7592,共10页
Flexible pressure sensors capable of monitoring diverse physiological signals and body movements have garnered tremendous attention in wearable electronic devices.Thereinto,high constant sensitivity over a wide pressu... Flexible pressure sensors capable of monitoring diverse physiological signals and body movements have garnered tremendous attention in wearable electronic devices.Thereinto,high constant sensitivity over a wide pressure range combined with breathability,biocompatibility,biodegradability is pivotal for manufacturing of reliable pressure sensors in practical sensing applications.In this work,inspired by the multilayered structure of skin epidermis,we propose and demonstrate a multi-attribute wearable piezoresistive pressure sensor consisting of multilayered gradient conductive poly(ε-caprolactone)nanofiber membranes composites.In response to externally applied pressure,a layer-by-layer current path is activated inside the multilayered membranes composites,leading to the most salient sensing performance of high constant sensitivity of 33.955 kPa^(−1) within the pressure range of 0–80 kPa.The proposed pressure sensor also exhibits a fast response–relaxation time,a low detection limit,excellent stability,which can be successfully used to measure human physiological signals.Lastly,an integrated sensor array system that can locate objects’positions is constructed and applied to simulate sitting posture monitoring.These results indicate that the proposed pressure sensor holds great potential in health monitoring and wearable electronic devices. 展开更多
关键词 wearable pressure sensors multilayer structure high constant sensitivity MULTI-ATTRIBUTE physiological signals monitoring
原文传递
高灵敏度网状石墨烯微弱压力传感器的研究
8
作者 谢凌东 杨朔 +4 位作者 周宏辉 翁东雷 赵铁林 蒋科若 徐帆 《微电子学》 CAS 北大核心 2023年第4期735-740,共6页
为了改善微弱压力传感器的灵敏度,利用微结构来产生压阻效应的方法,制备出一种性能优异的压力传感器。研究了三种不同结构的石墨烯压力传感器,并设计和研究了石墨烯压力传感器的版图结构、工艺制备流程和材料表征。最后,对三种不同结构... 为了改善微弱压力传感器的灵敏度,利用微结构来产生压阻效应的方法,制备出一种性能优异的压力传感器。研究了三种不同结构的石墨烯压力传感器,并设计和研究了石墨烯压力传感器的版图结构、工艺制备流程和材料表征。最后,对三种不同结构的石墨烯压力传感器进行了灵敏度测试。实验结果表明,网状结构的石墨烯压力传感器具有较高的灵敏度,在低压强下(0~200 Pa)的灵敏度可达到0.303 kPa^(-1),最低可检测到24.5 Pa的压强。该网状结构的石墨烯压力传感器是一种可以感知微弱压力变化的高性能压力传感器。 展开更多
关键词 石墨烯 压力传感器 网状结构 灵敏度
下载PDF
SOI压阻式压力传感器敏感结构的优化设计 被引量:11
9
作者 李旺旺 梁庭 +3 位作者 张迪雅 张瑞 姚宗 贾平岗 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2016年第6期15-18,共4页
为提高SOI压阻式压力传感器的灵敏度,对传感器敏感结构的弹性膜片和压敏电阻的形状、尺寸等结构参数进行了优化设计。利用COMSOL Multiphysics多物理场耦合分析软件对优化后的敏感结构进行了静力学仿真与分析,完成了敏感芯片的制备和加... 为提高SOI压阻式压力传感器的灵敏度,对传感器敏感结构的弹性膜片和压敏电阻的形状、尺寸等结构参数进行了优化设计。利用COMSOL Multiphysics多物理场耦合分析软件对优化后的敏感结构进行了静力学仿真与分析,完成了敏感芯片的制备和加压测试,测试结果表明:优化后的传感器输出灵敏度为5.98 m V/(V·bar),较原结构输出灵敏度提高了1倍,非线性误差小于0.096%。 展开更多
关键词 SOI压阻式压力传感器 敏感结构 COMSOL Multiphysics分析 优化设计
下载PDF
谐振式SAW压力传感器敏感元件研究与设计 被引量:9
10
作者 何鹏举 戴冠中 +1 位作者 陈明 徐苛杰 《传感技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第2期374-378,共5页
量程和温度特性是传感器的两个主要指标,SAW压力传感器的量程由基片材料的结构尺寸决定,温度效应一般采用双端对谐振器来消除,目前关于两个谐振器的位置确定还没有一个确定的方法。通过力学分析得出了圆形石英膜片的半径、厚度、和最大... 量程和温度特性是传感器的两个主要指标,SAW压力传感器的量程由基片材料的结构尺寸决定,温度效应一般采用双端对谐振器来消除,目前关于两个谐振器的位置确定还没有一个确定的方法。通过力学分析得出了圆形石英膜片的半径、厚度、和最大载荷的关系;对石英圆形膜片的应力应变关系进行了有限元数值计算,得出了正负应力在圆形石英膜片的分界点,为设计SAW谐振式压力传感器的物理结构和合理的安排谐振器的位置提供了依据。 展开更多
关键词 SAW压力传感器 敏感片结构 谐振器位置 有限元
下载PDF
基于SOI的E型结构MEMS高温压力传感器的设计 被引量:5
11
作者 李鑫 梁庭 +3 位作者 赵丹 姚宗 雷程 李旺旺 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2018年第5期1-4,共4页
文中设计了一种基于SOI材料的E型结构MEMS压阻式高温压力敏感芯片。E型结构与传统的C型膜结构相比解决了由于过载压力所导致的传感器灵敏度与线性输出无法同时满足工程需求的问题。在设计方面,先通过经典薄板理论得到敏感C型膜的优化参... 文中设计了一种基于SOI材料的E型结构MEMS压阻式高温压力敏感芯片。E型结构与传统的C型膜结构相比解决了由于过载压力所导致的传感器灵敏度与线性输出无法同时满足工程需求的问题。在设计方面,先通过经典薄板理论得到敏感C型膜的优化参数,再结合ansys workbench有限元分析软件进而得到E型结构的大小并模拟E型结构的力学性能;设计电阻的形状以及排列位置并通过仿真分析得到最佳的电阻布置,介绍了E型结构MEMS压力传感器的加工工艺,设计的传感器满量程输出为993 mV,可实现对量程8 MPa压力的测量。 展开更多
关键词 灵敏度 E型结构 压力传感器 有限元分析 线性输出 加工工艺
下载PDF
基于正弦机构力放大原理的高灵敏度光纤光栅压力传感器 被引量:4
12
作者 王俊杰 姜德生 +3 位作者 谢官模 梁宇飞 李军向 黄俊斌 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第7期783-786,共4页
基于正弦机构力放大原理,设计研究了基于平面圆形薄板结构的新型高灵敏度光纤光栅压力传感器,研究表明,传感器的压力灵敏度可高达0.04711(pm/Pa),比裸光纤增敏了14989倍,可应用于超低量程压力的传感测量,而该封装结构易于传感FBG多路复... 基于正弦机构力放大原理,设计研究了基于平面圆形薄板结构的新型高灵敏度光纤光栅压力传感器,研究表明,传感器的压力灵敏度可高达0.04711(pm/Pa),比裸光纤增敏了14989倍,可应用于超低量程压力的传感测量,而该封装结构易于传感FBG多路复用,组成传感器阵列。 展开更多
关键词 光纤传感器 光纤光栅 压力测量 正弦力放大机构 结构增敏
下载PDF
高量程压阻式加速度计在高温环境下的失效研究 被引量:3
13
作者 李建义 朱杰 王静 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2015年第4期4-7,10,共5页
针对高量程压阻式加速度传感器在高温环境下的失效问题,分析了高温对高量程加速度计的影响,得出的失效模式为:高温导致固支梁的翘曲或变形;温度变化引起压敏电阻的变化进而导致传感器输出漂移甚至输出失效;测量电路板在高温下变得扭曲... 针对高量程压阻式加速度传感器在高温环境下的失效问题,分析了高温对高量程加速度计的影响,得出的失效模式为:高温导致固支梁的翘曲或变形;温度变化引起压敏电阻的变化进而导致传感器输出漂移甚至输出失效;测量电路板在高温下变得扭曲或者导电层的分离。然后,利用ANSYS对固支梁和电路板进行仿真,得出各模块在200℃的温度冲击下结构的动态响应,并通过高温步进应力试验进行验证,得出传感器的工作极限为150℃,破坏极限为160℃。 展开更多
关键词 高量程加速度计 高温 压敏电阻 传感器结构 固支梁 失效研究
下载PDF
MEMS氮化钛谐振式压力传感器研究 被引量:3
14
作者 杨川 郭灿 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2010年第1期36-38,共3页
提出了一种基于TiN双谐振梁结构的MEMS谐振式压力传感器,利用TiN谐振梁的谐振频率与被测压力的关系进行压力测量。针对传感器的敏感结构建立了数学模型,通过理论分析和ANSYS有限元软件的模拟,得出了谐振梁长度的变化范围和谐振梁的结构... 提出了一种基于TiN双谐振梁结构的MEMS谐振式压力传感器,利用TiN谐振梁的谐振频率与被测压力的关系进行压力测量。针对传感器的敏感结构建立了数学模型,通过理论分析和ANSYS有限元软件的模拟,得出了谐振梁长度的变化范围和谐振梁的结构参数,并确定了TiN谐振梁在矩形压力膜上方的最佳位置。这对传感器的结构设计具有重要的指导意义。 展开更多
关键词 微机电系统 氮化钛 敏感结构 位置优化 谐振式压力传感器
下载PDF
一种改进型梁-岛-膜压力传感器的研究与设计 被引量:4
15
作者 郝建红 范宗皓 李艺 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2019年第4期10-14,19,共6页
研究了一种量程为800kPa的改进型梁-岛-膜结构MEMS压阻式压力传感器,通过与常见的C型和E型结构进行仿真对比,证明这种改进型结构的传感器灵敏度得到了很大提高。采用Intel liSuite仿真分析最大等效应力、挠度和输出电压,得出在中心膜尺... 研究了一种量程为800kPa的改进型梁-岛-膜结构MEMS压阻式压力传感器,通过与常见的C型和E型结构进行仿真对比,证明这种改进型结构的传感器灵敏度得到了很大提高。采用Intel liSuite仿真分析最大等效应力、挠度和输出电压,得出在中心膜尺寸为2.6mm×2.6mm×60μm,梁尺寸为400μm×200μm×60μm,岛尺寸为1.3mm×1.3mm×370μm的情况下,该结构具有较高的线性度和灵敏度,同时进行了制版与加工流程定义。为了实现结构的优化,设计了压敏电阻的尺寸和阻值,通过对改进型结构的仿真,确定了获得最大电压输出时压敏电阻的尺寸;并分析比较了同一硅杯尺寸下3种结构不同压力下的最大等效应力、挠度和输出电压分布图,得出改进型结构灵敏度最佳。 展开更多
关键词 压阻式压力传感器 压敏电阻 IntelliSuite 改进型梁-岛-膜结构 MEMS 灵敏度
下载PDF
膜片式光纤光栅压力传感器的灵敏度分析 被引量:7
16
作者 罗裴 《机电工程技术》 2011年第5期65-66,78,共3页
在理论推导光纤光栅压力传感器的灵敏度的基础上,采用结构增敏方法,设计并研制出了一种实用型高灵敏度的膜片式光纤光栅压力传感器,并用液压法对传感器的灵敏度进行了实验研究。实验结果表明,该高灵敏度膜片式光纤光栅压力传感器的反射... 在理论推导光纤光栅压力传感器的灵敏度的基础上,采用结构增敏方法,设计并研制出了一种实用型高灵敏度的膜片式光纤光栅压力传感器,并用液压法对传感器的灵敏度进行了实验研究。实验结果表明,该高灵敏度膜片式光纤光栅压力传感器的反射波长移动量与膜片载荷(或水柱高度)成正比,其线性度达到0.9999,压力灵敏度系数为-0.023/MPa;实测压力灵敏度为0.03pm/Pa,理论压力灵敏度为0.0301pm/Pa,与实测压力灵敏度非常接近,二者的相对误差仅为0.33%。 展开更多
关键词 光纤光栅 压力传感器 结构增敏 灵敏度
下载PDF
一种无源无线SAW压力传感器结构设计 被引量:9
17
作者 刘文辉 李平 文玉梅 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2007年第4期770-773,共4页
根据无源无线SAW压力传感器的敏感特点,提出了一种具有较高灵敏度的压力传感器结构设计.传感器的受力敏感部分采用简支梁结构,通过分析找到梁的最大应变点,在梁的上下两侧最大应变区域中心对称分布了两个相同的单端口SAW谐振器.由两个SA... 根据无源无线SAW压力传感器的敏感特点,提出了一种具有较高灵敏度的压力传感器结构设计.传感器的受力敏感部分采用简支梁结构,通过分析找到梁的最大应变点,在梁的上下两侧最大应变区域中心对称分布了两个相同的单端口SAW谐振器.由两个SAW谐振器组成差动式测量结构,具有较高的灵敏度,并减少了温度对测量结果的影响,对迟滞效应带来的误差有一定的补偿作用. 展开更多
关键词 SAW压力传感器 结构设计 差动式频率测量 灵敏度
下载PDF
硅谐振式压力传感器敏感结构设计与仿真 被引量:8
18
作者 平文 孔德义 单建华 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2017年第3期1-4,8,共5页
根据双端固支梁的谐振频率求解,以及方形膜片在压力下形变和应力的理论分析,设计了一个基于梁-膜结构硅谐振式压力传感器敏感结构的模型。对该模型进行ANSYS仿真,得到它在1个大气压下的总形变和应力分布,以及前六阶的振动模态。比较方... 根据双端固支梁的谐振频率求解,以及方形膜片在压力下形变和应力的理论分析,设计了一个基于梁-膜结构硅谐振式压力传感器敏感结构的模型。对该模型进行ANSYS仿真,得到它在1个大气压下的总形变和应力分布,以及前六阶的振动模态。比较方形膜片和长方形膜片下敏感结构的仿真结果,得出相同面积下长方形膜片的灵敏度更高,检测时非线性误差更小。通过对不同厚度硅梁与硅膜下敏感结构的仿真,最终设定硅膜与硅梁的厚度分别为50μm和10μm。该传感器主要用于航空仪器仪表中对大气压的高精度检测。 展开更多
关键词 谐振式压力传感器 敏感结构 谐振梁 硅膜 模态仿真 灵敏度
下载PDF
一种新型单晶硅SOI高温压力传感器 被引量:3
19
作者 李育刚 姚素英 +3 位作者 张生才 赵毅强 张为 张维新 《传感技术学报》 CAS CSCD 2002年第4期322-325,共4页
单晶硅 SOI高温压力传感器是一种新型高性能高温压力传感器。它与扩散硅压力传感器相比有较高的工作温度 ,与多晶硅高温压力传感器相比有更高的工作灵敏度。这主要得益于它采用了单晶硅膜的 SOI结构。本文给出了这种压力传感器的工艺生... 单晶硅 SOI高温压力传感器是一种新型高性能高温压力传感器。它与扩散硅压力传感器相比有较高的工作温度 ,与多晶硅高温压力传感器相比有更高的工作灵敏度。这主要得益于它采用了单晶硅膜的 SOI结构。本文给出了这种压力传感器的工艺生产过程 ,并相对深入地讨论了各向异性腐蚀硅杯和静电封接这两道工序。介绍了此种压力传感器的工作原理。最后给出了测试结果及结论。 展开更多
关键词 单晶硅SOI结构 灵敏度 高温压力传感器
下载PDF
基于微纳结构的柔性压力传感器设计与制备 被引量:7
20
作者 侯丽娟 秦会斌 +1 位作者 胡炜薇 秦晋 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2022年第7期73-76,共4页
设计了一种柔性压力传感器的制备方法,通过对柔性材料的性能分析,选择导电银浆作为传感器的导电层。为了增强传感器的导电性能,介电层材料采用聚氨酯和炭黑的复合材料。同时,为提升传感器的灵敏度,在介电层中采用微结构设计,利用丝网印... 设计了一种柔性压力传感器的制备方法,通过对柔性材料的性能分析,选择导电银浆作为传感器的导电层。为了增强传感器的导电性能,介电层材料采用聚氨酯和炭黑的复合材料。同时,为提升传感器的灵敏度,在介电层中采用微结构设计,利用丝网印刷工艺将柔性材料印刷至柔性基底表面。最后,根据电极阵列点的设计封装得到柔性压力传感器。通过测试数据分析得出,相同的压力作用下,具有微结构的传感器发生的形变量更大,灵敏度更高,稳定性能良好。该设计的压力传感器具有成本低、制备工艺简单等特点,并且灵敏度性能有所提升,在智能穿戴和医疗检测等领域有广阔的应用前景。 展开更多
关键词 柔性压力传感器 微结构 灵敏度 导电层 介电层
下载PDF
上一页 1 2 下一页 到第
使用帮助 返回顶部