基于垂直位移扫描的三维表面轮廓测量仪

该测量仪在测量过程中以保持杠杆处于平衡位置为前提,X-Y向、Z向工作台分别采用衍射光栅为标准器,X-Y向工作台采用直线电机和压电陶瓷分别进行粗、细两级定位。本文论述了仪器的整体结构、测量原理、工作台的定位控制以及衍射光栅干涉信号的处理。