BAIRD Ps-6真空型电感耦合等离子发射光谱仪的故障分析与对策

对Ｐｓ－６型光谱仪作了简介的基础上，从联锁保护电路入手，选择了射频（ＲＦ）发生器。相检测电路、气路、真空系统、光路准直监视系统、光电倍增管和高压电路等八例有代表性、已排除的故障实例深入进行分析研究，提出了排除故障的思路与办法。