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MgO/α-Al_2O_3单晶衬底上磁控溅射Pt外延薄膜微结构观测分析
被引量:
1
1
作者
张祎杨
朱华星
+4 位作者
姬洪
王瑞雪
张婷
李鲁涛
邱晓燕
《科学通报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第9期1008-1015,共8页
采用射频磁控溅射方法在Mg O和α-Al_2O_3单晶基片上沉积制备Pt外延薄膜,研究了衬底晶格结构和沉积氛围对薄膜外延生长晶向和表面形貌的影响.实验研究表明,Pt薄膜外延生长晶向主要受衬底表面晶格结构的影响,沉积氛围主要影响薄膜表面形...
采用射频磁控溅射方法在Mg O和α-Al_2O_3单晶基片上沉积制备Pt外延薄膜,研究了衬底晶格结构和沉积氛围对薄膜外延生长晶向和表面形貌的影响.实验研究表明,Pt薄膜外延生长晶向主要受衬底表面晶格结构的影响,沉积氛围主要影响薄膜表面形貌.X射线衍射分析证明了Pt(100)//Mg O(100),Pt(111)//Mg O(111),Pt(111)//α-Al_2O_3(0001)和Pt(111)//α-Al_2O_3(01 12)的晶面外延关系.扫描电子显微镜观测发现15%氧分压氛围沉积在Mg O(111)和α-Al_2O_3(01 12)衬底上的Pt(111)外延薄膜以三角形晶粒密排堆叠形成平整致密的膜面,但膜内存在旋转畴缺陷;而15%氧分压氛围沉积在Mg O(100)衬底上的Pt(100)外延薄膜无旋转畴缺陷,但薄膜表面出现大小不一的微孔.
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关键词
pt外延薄膜
MgO/α-Al2O3单晶衬底
微结构
原文传递
题名
MgO/α-Al_2O_3单晶衬底上磁控溅射Pt外延薄膜微结构观测分析
被引量:
1
1
作者
张祎杨
朱华星
姬洪
王瑞雪
张婷
李鲁涛
邱晓燕
机构
西南大学物理科学与技术学院
电子科技大学能源科学与工程学院
出处
《科学通报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第9期1008-1015,共8页
基金
国家自然科学基金(11274257)
重庆市自然科学基金(cstc2014jcyj A40029)
中央高校基本科研业务费专项(XDJK2014B043)资助
文摘
采用射频磁控溅射方法在Mg O和α-Al_2O_3单晶基片上沉积制备Pt外延薄膜,研究了衬底晶格结构和沉积氛围对薄膜外延生长晶向和表面形貌的影响.实验研究表明,Pt薄膜外延生长晶向主要受衬底表面晶格结构的影响,沉积氛围主要影响薄膜表面形貌.X射线衍射分析证明了Pt(100)//Mg O(100),Pt(111)//Mg O(111),Pt(111)//α-Al_2O_3(0001)和Pt(111)//α-Al_2O_3(01 12)的晶面外延关系.扫描电子显微镜观测发现15%氧分压氛围沉积在Mg O(111)和α-Al_2O_3(01 12)衬底上的Pt(111)外延薄膜以三角形晶粒密排堆叠形成平整致密的膜面,但膜内存在旋转畴缺陷;而15%氧分压氛围沉积在Mg O(100)衬底上的Pt(100)外延薄膜无旋转畴缺陷,但薄膜表面出现大小不一的微孔.
关键词
pt外延薄膜
MgO/α-Al2O3单晶衬底
微结构
Keywords
epitaxial
pt
thin film
MgO /α-Al2O3 single-crystal substrate
microstructure
分类号
O484.1 [理学—固体物理]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
MgO/α-Al_2O_3单晶衬底上磁控溅射Pt外延薄膜微结构观测分析
张祎杨
朱华星
姬洪
王瑞雪
张婷
李鲁涛
邱晓燕
《科学通报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016
1
原文传递
已选择
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参考文献
引证文献
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