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一种新型的Pt-LaF_3混合膜MISFET结构溶解氧传感器
被引量:
1
1
作者
那兴波
牛文成
+1 位作者
李华伟
谢建湘
《传感技术学报》
CAS
CSCD
2001年第2期85-90,共6页
基于碳糊成膜 (carbonpastefilmforming)方法 ,我们研制了一种MISFET结构的Pt LaF3 混合膜全固态溶解氧传感器 .对传感器的器件结构以及Pt LaF3 敏感膜的敏感机制和响应特性进行了分析 ,并实际测试了器件特性 .给出了在不同工作点和不...
基于碳糊成膜 (carbonpastefilmforming)方法 ,我们研制了一种MISFET结构的Pt LaF3 混合膜全固态溶解氧传感器 .对传感器的器件结构以及Pt LaF3 敏感膜的敏感机制和响应特性进行了分析 ,并实际测试了器件特性 .给出了在不同工作点和不同温度条件下器件的输出电压对溶解氧浓度变化的响应曲线 .实验结果表明 ,我们所提出的器件可以用于测量溶解氧含量 .
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关键词
混合膜
MISFET
结构
溶解氧传感器
下载PDF
职称材料
基于FET结构的Pt-LaF_3混合膜溶解氧传感器
2
作者
那兴波
牛文成
+1 位作者
李华伟
谢建湘
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001年第9期1202-1206,共5页
研制了一种基于 FET结构的 Pt- L a F3混合膜全固态溶解氧传感器 .对 Pt- L a F3敏感膜的敏感机制以及传感器的器件结构和响应特性进行了分析 ,并实际测试了器件特性 。
关键词
FET结构
混合膜
溶解氧传感器
下载PDF
职称材料
题名
一种新型的Pt-LaF_3混合膜MISFET结构溶解氧传感器
被引量:
1
1
作者
那兴波
牛文成
李华伟
谢建湘
机构
南开大学信息技术科学学院微电子学系
出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
2001年第2期85-90,共6页
基金
国家自然科学基金!(6 9476 0 36 )
天津市自然科学基金!(94140 70 0 7)
文摘
基于碳糊成膜 (carbonpastefilmforming)方法 ,我们研制了一种MISFET结构的Pt LaF3 混合膜全固态溶解氧传感器 .对传感器的器件结构以及Pt LaF3 敏感膜的敏感机制和响应特性进行了分析 ,并实际测试了器件特性 .给出了在不同工作点和不同温度条件下器件的输出电压对溶解氧浓度变化的响应曲线 .实验结果表明 ,我们所提出的器件可以用于测量溶解氧含量 .
关键词
混合膜
MISFET
结构
溶解氧传感器
Keywords
MISFET structure
\ Pt LaF\-
3
mixture
film
dissolved oxygen sensor
分类号
TP212.2 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
基于FET结构的Pt-LaF_3混合膜溶解氧传感器
2
作者
那兴波
牛文成
李华伟
谢建湘
机构
南开大学信息技术科学学院
出处
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001年第9期1202-1206,共5页
基金
国家自然科学基金 (批准号 :6 9476 0 36 )
天津市自然科学基金 (批准号 :9414 0 70 0 7)资助项目~~
文摘
研制了一种基于 FET结构的 Pt- L a F3混合膜全固态溶解氧传感器 .对 Pt- L a F3敏感膜的敏感机制以及传感器的器件结构和响应特性进行了分析 ,并实际测试了器件特性 。
关键词
FET结构
混合膜
溶解氧传感器
Keywords
FET structure
pt-laf 3 mixture film
dissolved oxygen sensor
分类号
TP212.2 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
一种新型的Pt-LaF_3混合膜MISFET结构溶解氧传感器
那兴波
牛文成
李华伟
谢建湘
《传感技术学报》
CAS
CSCD
2001
1
下载PDF
职称材料
2
基于FET结构的Pt-LaF_3混合膜溶解氧传感器
那兴波
牛文成
李华伟
谢建湘
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001
0
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职称材料
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